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公开(公告)号：CN100363763C
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200610006679.0
申请日：2006-02-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/1857 , B82Y20/00 , G02B5/3058
Abstract: 本发明提供一种在基板上具备多个金属线栅的光学元件的制造方法，其特征在于，通过LSP(Liquid Self-patterning Process)制作所述金属线栅。从而本发明提供一种更廉价且批量生产性高的偏振镜等光学元件的制造方法。
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公开(公告)号：CN1294015C
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200410044711.5
申请日：2004-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/055 , B41J2/045 , G01N35/10 , C12M1/00 , C03C15/00 , H01L21/316 , H01L21/306
CPC classification number: B01L3/0268 , B01L2200/0684 , B01L2400/0439 , B41J2/14016 , B41J2/14201 , B41J2202/09
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头，该液体喷出头至少包括容纳液体的容纳室，即储液器(22)、施加用于喷出液体的压力的加压室(6)、连结加压室(6)与储液器(22)的流路、和从加压室(6)中喷出液滴的喷孔(4)，前述流路的一部分由设在玻璃基板(7)上的微小通孔(10)形成，该微小通孔(10)的内径连续地减小或增大。由此，可以降低制造成本，不会发生与喷出的液体，即包含生物高分子的溶液产生反应的问题，而且可从各喷嘴中喷出一定量的液滴。
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公开(公告)号：CN102162872B
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201110041314.2
申请日：2011-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泽木大辅
CPC classification number: H04N9/3167 , G02B5/008 , G02B5/3058 , G03B21/2073
Abstract: 本发明提供偏光元件及投影仪。该偏光元件具有基板，以及排列于上述基板的多个栅格部，上述栅格部具有在该栅格部的长度方向上以比入射光的波长短的周期交替排列的凸部和凹部，上述凸部的排列周期在相邻的上述栅格之间不同。
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公开(公告)号：CN100480863C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200510075901.8
申请日：2005-06-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 提供一种可以以低成本实现比可见光波长还短的数量级的微细加工的技术。一种微细结构体的制造方法，包括：感光膜形成工序，在被加工体(100)的上侧形成感光膜；曝光工序，使比可见光波长小的波长的2束激光束(B1、B2)交叉来产生干涉光、通过照射该干涉光来曝光上述感光膜；显影工序，显影曝光后的上述感光膜、在上述感光膜上呈现与上述干涉光的图案对应的形状；蚀刻工序，以显影后的上述感光膜为蚀刻掩膜进行蚀刻来加工上述被加工体。
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公开(公告)号：CN101159181A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710163831.0
申请日：2007-09-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K3/182 , C23C18/1608 , C23C18/1893 , C23C18/2086 , C23C18/30 , H05K2201/09045 , H05K2201/09981 , H05K2203/0113 , Y10T428/24612 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种可形成精度良好的微细图形金属层的镀覆基板以及其制造方法。本发明的镀覆基板(100)的制造方法是通过化学镀法来形成金属层(33)的镀覆基板的制造方法，其包括：在基板(10)上形成一定图形的树脂成形体(22)的工序；在树脂成形体上形成催化剂层(31)的工序；通过将基板浸渍在化学镀液中，在催化剂层上析出金属从而形成金属层(33)的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1818725A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200610006679.0
申请日：2006-02-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/1857 , B82Y20/00 , G02B5/3058
Abstract: 本发明提供一种在基板上具备多个金属线栅的光学元件的制造方法，其特征在于，通过LSP(Liquid Self－patterning Process)制作所述金属线栅。从而本发明提供一种更廉价且批量生产性高的偏振镜等光学元件的制造方法。
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公开(公告)号：CN1249521C
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN03123132.2
申请日：2003-04-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G03F1/20 , C23C14/042 , C23C14/12 , Y10T428/24273
Abstract: 本发明的目的是制造一种高精细掩模。在基板(10)上形成有多个穿孔(20)并且它们各自的第1开口(22)和比第1开口(22)大的第2开口(24)之间相互连通而形成的多个穿孔(20)。在基板(10)的第1面(12)上形成对应于第1开口(22)的耐蚀刻膜(30)，在基板(10)的第1面(12)的相反面第2面(14)上，让上述多个穿孔的形成区域露出以使2个以上的上述第2开口的形成区域能连续露出。在各自的穿孔(20)的形成区域里，形成小穿孔(36)。从基板(10)的第1及第2面的两方，能进行具有结晶表面方向依赖性的蚀刻。
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公开(公告)号：CN1616179A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN200410092705.7
申请日：2004-11-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/08
CPC classification number: B23K26/0676 , B23K26/067 , B23K26/0853
Abstract: 本发明提供一种在批量生产方面性能出色的激光加工技术。激光加工装置(100)具有：产生光束的激光发生装置(10)、将光束(50)分成等间隔配置的多根光束(51)的分支装置(16、18)、将多根光束(51)以配置间隔的自然数倍的间距在对象体上进行相对移动的移动装置(30)、与多根光束(51)的该移动间距同步而控制该光束强度的控制装置(40)。
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公开(公告)号：CN102162872A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110041314.2
申请日：2011-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泽木大辅
CPC classification number: H04N9/3167 , G02B5/008 , G02B5/3058 , G03B21/2073
Abstract: 本发明提供偏光元件及投影仪。该偏光元件具有基板，以及排列于上述基板的多个栅格部，上述栅格部具有在该栅格部的长度方向上以比入射光的波长短的周期交替排列的凸部和凹部，上述凸部的排列周期在相邻的上述栅格之间不同。
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公开(公告)号：CN102122010A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201010623804.9
申请日：2010-12-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泽木大辅
IPC: G02B5/30 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/3025
Abstract: 本发明涉及偏光元件、偏光元件的制造方法、电子设备。偏光元件具备：基板；在所述基板上隔开一定间隔且排列成带状的多个反射层；形成于所述反射层上的电介体层；以及无机微粒子层，其形成在所述电介体层上，由无机微粒子形成，并且具有分别朝向邻接的一个所述反射层侧和邻接的另一个所述反射层侧的凸部，其中，所述无机微粒子具有所述反射层的排列方向上的微粒子径长大于与所述反射层的排列方向正交的方向上的微粒子径长的形状各向异性。
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