流体供给控制装置
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104699128A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410737793.5

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性,并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块,沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向,也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

    流体控制阀
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101737552B

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN200910223602.2

    申请日:2009-11-16

    CPC classification number: F16K11/07 F16K31/082 Y10T137/8671

    Abstract: 本发明提供可缩短其在阀芯的轴线方向上的长度的流体控制阀。该流体控制阀包括可滑动地容纳在套筒部件(10)内的阀芯(20)和在滑动方向上对阀芯(20)施加推力的弹簧(23a、23b),还包括:沿阀芯的轴线方向延伸形成于阀芯(20)上的中间部(20c)(强磁体部分);夹着中间部(20c)相向配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上、相互之间形成沿轴线方向排列且彼此反向的磁场、并且在阀芯(20)的轴线方向上被形成为比中间部(20c)长的永磁体(50a、50b);相对于永磁体(50a、50b)配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上且通电后将产生穿过相向的永磁体(50a、50b)的磁场的线圈(40a、40b)。

    温度控制装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101295186A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200810089941.1

    申请日:2008-04-11

    CPC classification number: G05D23/19

    Abstract: 一种温度控制装置,通过在配置于被控对象附近的调温部(11)使流体循环来预期地控制被控对象的温度,其包括:加热流体并使流体在调温部(11)循环的加热通路(40);冷却流体并使流体在调温部(11)循环的冷却通路(20);使流体在调温部(11)循环而不通过加热通路(40)及冷却通路(20)的旁通路(30);以及对来自加热通路(40)、冷却通路(20)、旁通路(30)通过对它们进行汇流的汇流部(12)向调温部(11)输出流体的流量比进行调节的调节装置(44,24,34)。调节装置(44,24,34)位于加热通路(40),冷却通路(20),旁通路(30)的各下游侧且设置在汇流部(12)的上游侧。

    微型混合器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115193283A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210206477.X

    申请日:2022-03-02

    Abstract: 一种微型混合器(100),具备:第一流路板(40),其在表侧面通过非贯通槽形成有第一流路(51)和多个第一分割流路(53、55),在里侧面通过非贯通槽形成有第一合流流路,并使多个第一分割流路和第一合流流路连通;第一盖板(10A、10B、20、30),其覆盖第一流路板的表侧面;第二流路板(60),其在表侧面通过非贯通槽形成有第二合流流路(77),在里侧面通过非贯通槽形成有第二流路和多个第二分割流路,并使多个第二分割流路和第二合流流路连通;以及第二盖板(80、90A至90C),其覆盖第二流路板的里侧面。

    流体供给控制装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104699128B

    公开(公告)日:2020-03-03

    申请号:CN201410737793.5

    申请日:2014-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性,并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块,沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向,也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

    流体控制阀
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101737552A

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200910223602.2

    申请日:2009-11-16

    CPC classification number: F16K11/07 F16K31/082 Y10T137/8671

    Abstract: 本发明提供可缩短其在阀芯的轴线方向上的长度的流体控制阀。该流体控制阀包括可滑动地容纳在套筒部件(10)内的阀芯(20)和在滑动方向上对阀芯(20)施加推力的弹簧(23a、23b),还包括:沿阀芯的轴线方向延伸形成于阀芯(20)上的中间部(20c)(强磁体部分);夹着中间部(20c)相向配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上、相互之间形成沿轴线方向排列且彼此反向的磁场、并且在阀芯(20)的轴线方向上被形成为比中间部(20c)长的永磁体(50a、50b);相对于永磁体(50a、50b)配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上且通电后将产生穿过相向的永磁体(50a、50b)的磁场的线圈(40a、40b)。

    粉末供给装置、喷镀装置、粉末供给方法以及喷镀方法

    公开(公告)号:CN112930416B

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN201980069561.8

    申请日:2019-10-28

    Abstract: 本发明提供一种粉末供给装置,其用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末;以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部用于在气密状态下收纳上述粉末;以及送料器,其具有:连接部,其用于可装卸地连接上述盒部;补给口,其用于将与上述连接部连接的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器内;以及开闭阀,其用于开闭上述补给口,并且该送料器用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述送料器通过上述盒部连接于上述连接部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。

    流路块和流体供给控制装置

    公开(公告)号:CN104696569A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410730209.3

    申请日:2014-12-04

    CPC classification number: F16K27/00 F16K31/1225 H01L21/02

    Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

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