公开(公告)号：CN104696569B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201410730209.3

申请日：2014-12-04

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 加藤启介 ,  板藤宽 ,  三原由极 ,  广濑克宪 ,  三轮敏一 ,  西田成伸 ,  伊藤一寿

IPC: F16K27/00

Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为，在内部形成有流体的流路，在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外，流路块的结构为，将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置，以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于，流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

公开(公告)号：CN101936409B

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201010216247.9

申请日：2010-06-28

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 井上贵史 ,  加藤启介 ,  西田成伸 ,  三轮敏一

IPC: F16K11/22 ,  H01L21/02

Abstract: 提供能够缩小设有多个开闭阀的块的宽度且易于制造的供气单元。供气单元(11)的流路块(20)形成为呈长条状延伸的长方体形状，顶面(20a)搭载有多个呈直列式配置的开闭阀(50)。各开闭阀的各阀室(24)设于流路块的顶面。处理气体流路(22)与阀室(24)的大致中央连通并向背离流路块的顶面的方向延伸且于底面开口。载气流路(21)连接相邻的开闭阀的阀室，且包括侧面流路(25)，该侧面流路(25)沿流路块的长度方向交替地设于流路块的两侧面(20c)的一个侧面(20c)与另一个侧面(20c)上。侧面流路(25)由沿流路块的长度方向延伸的槽部和覆盖槽部的槽开口的盖部件构成。