公开(公告)号：CN104364924B

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201380029622.0

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐久间仁志 ,  仓知克行 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

Abstract: 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。

公开(公告)号：CN104364923B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201380029575.X

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。

公开(公告)号：CN104835906B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201510069985.8

申请日：2015-02-10

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 广瀬维子 ,  会田康弘

IPC: H01L41/04 ,  H01L41/09 ,  G11B5/48 ,  B41J2/01

CPC classification number: H02N2/0075 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/55 ,  H01L41/042 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1873 ,  H02N2/14

Abstract: 本发明公开了一种压电装置、压电致动器、硬盘驱动器以及喷墨打印装置，所述压电装置具有包括压电体层和将该压电体层夹在其中的电极层的压电元件以及经由所述电极层向所述压电体层施加交流驱动电场的驱动电路，其特征在于：在将电场施加到极化达到饱和状态时，所述压电体层的极化率γ小于1×10‑9(C/(V·m))；所述驱动电路具有将驱动电场的最小值设定为大于所述压电体层的正的矫顽电场的单元，以及将驱动电场的最大值设定为小于(Pm’(极化的最大值)‑Pr’(准剩余极化))/(1×10‑9)的单元，其中，极化率γ＝(Pm(饱和极化)‑Pr(剩余极化))/Ed(施加电场的最大值)。

公开(公告)号：CN104641481A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048271.8

申请日：2013-08-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 前岛和彦 ,  仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  田中美知

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

CPC classification number: H01L41/04 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明所涉及的薄膜压电元件包括具有60nm以上且90nm以下的平均晶粒直径的铌酸钾钠基压电薄膜、以及配置成将该压电薄膜保持于其间的一对电极膜。

公开(公告)号：CN104576915A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410564550.6

申请日：2014-10-21

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 会田康弘 ,  太田龙 ,  田中美知 ,  千原宏 ,  佐久间仁志 ,  前岛和彦

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC classification number: H01L41/0805 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G01L1/16 ,  G01L9/008 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。