静电电容式传感器
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104067099B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201280067775.X

    申请日:2012-12-21

    CPC classification number: G01L1/142 G01L1/144 G01L1/146

    Abstract: 静电电容式传感器(1)具备:聚合物制的电介质层(10);配置在电介质层(10)的正面侧的长条状的正面侧电极(01X~08X);配置在电介质层(10)的背面侧的长条状的背面侧电极(01Y~08Y);与正面侧电极连接的正面侧布线(01x~08x);与背面侧电极连接的背面侧布线(01y~08y);以及在正面侧电极与背面侧电极之间形成的多个检测部(A0101~A0808)。正面侧电极和背面侧电极分别具有:包含粘合剂和导电材料的长条状的电极主体(21、31);在电极主体(21、31)的长度方向上延伸且体积电阻率比电极主体(21、31)小的延长布线部(22、32),其中,正面侧布线和背面侧布线与电极主体(21、31)相比体积电阻率小。

    用于监测固体结构内的压力的集成电子设备

    公开(公告)号:CN105074411A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201480019015.0

    申请日:2014-03-27

    Inventor: A·帕加尼

    CPC classification number: G01L1/142 G01L1/144 G01L1/148 G01L1/26 G01L25/00

    Abstract: 本发明涉及一种在半导体材料芯片上的集成电子设备(400;400a;500、500’;600、600’;700、700’),用于检测与在固体结构内在预定方向(d)上施加的力(F)相关的压力。该设备包括:-集成元件(51),由与力的施加的方向(d)基本上正交的芯片的操作表面(52)限定;-第一传导性元件(53)和第二传导性元件(54),被容纳在集成元件(51)内并且被配置为面对操作表面;-测量模块(55),被容纳在集成元件内并且包括分别被连接到第一传导性元件(53)和第二传导性元件(54)的第一测量端子(56)和第二测量端子(57);-检测元件(58),被布置在预定方向(d)上以使得操作表面(52)被夹设在第一传导性元件(53)和第二传导性元件(54)与这一检测元件(58)之间;-绝缘层(59),适于涂覆至少操作表面以便使第一传导性元件(53)和第二传导性元件(54)电流绝缘。该设备包括至少被夹设在检测元件(58)和绝缘层(59)之间的介电材料的层(510、510’)。该介电材料的层在预定方向上的力(F)的施加之后是弹性地可变形的以便改变在检测元件(58)与上述第一传导性元件(53)和第二传导性元件(54)之间的电磁耦合。

    外力检测装置和外力检测传感器

    公开(公告)号:CN102840937A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201210212930.4

    申请日:2012-06-21

    CPC classification number: G01L1/144 G01L1/162 G01P15/097 G01P15/125

    Abstract: 本发明提供以简单的结构高精度地检测施加在压电板的外力的外力检测装置和外力检测传感器。在容器内单臂支撑晶体板。在晶体板的上表面和下表面分别形成有激励电极。在晶体板的下表面侧的前端部形成有与下表面侧的激励电极通过引出电极连接的可动电极,与该可动电极相对地在容器的底部设置有固定电极。将上表面侧的激励电极和固定电极与振荡电路连接。对晶体板施加外力弯曲时,可动电极与固定电极之间的电容改变,掌握该电容变化作为晶体板的振荡频率的变化。进而在晶体板中,通过使薄状部位的厚度与被激励电极夹着的电极形成部位的厚度相比小,能够抑制电极形成部位的弯曲,因此能够抑制由晶体板的弯曲引起的振荡频率的变化。

    静电电容式传感器
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100465598C

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN03825762.9

    申请日:2003-01-06

    CPC classification number: G06F3/0338 G01L1/144 G01L5/165

    Abstract: 本发明的静电电容式传感器在基板(20)上形成电容元件用电极(E1~E5)及接地的基准电极(E0)。在与这些电极(E0~E5)对置的位置上,伴随从外部操作的检测部件(30)在Z轴方向移动,配置在Z轴方向位移的位移电极(40)。位移电极(40)在与电容元件用电极(E1~E5)及基准电极(E0)之间,分别构成电容元件(C0~C5)。各电容元件(C1~C5)相对于从外部输入的信号成为分别与电容元件(C0)串联连接的关系,通过用具有磁滞特性的信号处理电路检测出检测部件(30)移动时的电容元件(C1-C5)的静电电容值的变化,能够识别检测部件(30)的位移。

    传感器驱动电路
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101275865A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810087033.9

    申请日:2008-03-27

    Inventor: 森本英夫

    CPC classification number: G01L5/165 G01L1/144

    Abstract: 一种传感器驱动电路,设有移位电路,该移位电路对于电极间距离按力和力矩的大小而变化从而静电电容各自变化的各电容元件,输出将成为高电平的期间限定于一个周期的预定期间且该成为高电平的期间相互偏移1个周期的时钟信号。另外,该传感器驱动电路还设有加法用信号输出部和减法用信号输出部,前者将具有对应于电容元件各自的静电电容的大小的占空比的加法用信号输出,后者将加法用信号输出部输出的加法用信号输入,并输出仅在包含加法用信号成为高电平的期间的周期使高电平与低电平反相的减法用信号。

    静电电容式应变传感器及其使用方法

    公开(公告)号:CN1157594C

    公开(公告)日:2004-07-14

    申请号:CN00801886.3

    申请日:2000-07-07

    Abstract: 一种静电电容式应变传感器,包括基板(119)和在基板上形成的两个交叉指型—对电极式电容器(209,209A)。该基板在具有平面(或曲面)的弹性体表面上,形成厚度大致一致、介电常数随变形变化的材料的电介质层膜(129)。该电容器由基板表面上的成对电极的交叉指型形成,该成对电极由多个线状导电体做成平行的线状电极形成。在该传感器中,在基板上形成一个电容器作为基准电容,将其用于另一个电容器的温度校正。为检测另一方向的变形,交叉指型中的指的方向大致互相垂直,或使线状电极相对平板中心呈同心圆形状。通过将电容器作为振荡电路的元件装入,可将变形值转换为电容和频率的变化,由于频率可精细抽出,故可容易地检测变形的细微变化。

    物理量传感器、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN109682993A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201811200076.3

    申请日:2018-10-16

    Inventor: 成濑敦纪

    Abstract: 提供具有较高的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备:作为支承基板的基部(2),设置有在一侧开口的腔室(21a);可动部(52),形成于腔室(21a)的开口侧,并能够沿第一方向位移;以及弹簧部(53、54),形成于腔室(21a)的开口侧,并与可动部(52)连接,弹簧部(53、54)的沿与第一方向交叉且基部(2)和可动部(52)重叠的方向即第二方向的长度(H1)小于可动部(52)的沿第二方向的长度(H2),并且大于弹簧部(53、54)的沿第一方向的长度(W)。

Patent Agency Ranking