一种基于兼容型温度传感器的晶闸管及其制备方法

    公开(公告)号:CN119835955A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411916526.4

    申请日:2024-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于兼容型温度传感器的晶闸管及其制备方法,包括:衬底、缓冲层、漂移层、基区、兼容型传感器、多个电极阵列和阴极。本发明采用了半导体器件作为兼容型温度传感器,半导体器件制成的兼容型温度传感器具有高线性度和灵敏度的优点;将兼容型温度传感器集成在晶闸管内部,提高了功率器件的集成度,使得晶闸管测温系统更加紧凑、高效。该技术能够实时监测晶闸管内部温度,确保测量结果的准确性和实时性,为晶闸管电力电子系统的稳定运行提供了有力保障。在集成了兼容型温度传感器后,晶闸管的基本工作特性并未受到影响,依然保持着优异的性能和可靠性。并且采用晶闸管终端作为隔离区域实现了工艺兼容,节约了工艺步骤。

    一种快开启型双向对称的静电保护器件

    公开(公告)号:CN119364862A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411918819.6

    申请日:2024-12-25

    Abstract: 本发明提供一种快开启型双向对称的静电保护器件,包括第一导电类型衬底,设置在第一导电类型衬底上方的1个以上的双向SCR结构单元,所述双向SCR结构单元包括依次并列非接触设置的三个静电泄放模块,静电泄放模块分别设有第一导电类型重掺杂区和第二导电类型重掺杂区,第二静电泄放模块的第一导电类型重掺杂区与第一静电泄放模块的第二导电类型重掺杂区能够构建静电泄放的第一方向导通路径,第三静电泄放模块的第一导电类型重掺杂区与所述第二静电泄放模块的第二导电类型重掺杂区能够构建与第一方向相反的第二方向导通路径,所述第一方向导通路径与所述第二方向导通路径的长度和导通路径均一致。本发明能够实现更快的导通开启速度。

    晶闸管缺陷单元的修复方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119947146A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510416717.2

    申请日:2025-04-03

    Abstract: 本申请公开了一种晶闸管缺陷单元的修复方法,包括:提供表面形成有晶闸管的晶圆,在晶闸管背离晶圆的第一表面覆盖功能层,功能层的材料包括低熔点金属材料,第一表面为晶闸管的具有阴极电极的一侧表面;对晶闸管进行目标条件下的测试,使晶闸管中的晶闸管缺陷单元发热,晶闸管缺陷单元为晶闸管中的至少一个晶闸管单元的阴极电极,功能层中接触晶闸管缺陷单元的部分与晶闸管缺陷单元合金化并产生凹陷,目标条件包括:晶闸管的阳极和阴极处于反偏状态下产生的漏电流达到预设值;去除晶闸管缺陷单元和剩余的功能层。本申请的部分功能层与晶闸管缺陷单元发生合金化,以物理剔除的方式即可完全去除其电极,避免了金属残留,提升了晶闸管的修复效果。

    一种耐高压防护器件以及制作方法

    公开(公告)号:CN114899218B

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202210466661.8

    申请日:2022-04-29

    Abstract: 本申请适用于半导体器件技术领域,提供了耐高压防护器件,包括衬底、掩埋层以及外延层,衬底、掩埋层以及外延层依次层叠设置;基于外延层,由外延层边缘任一点指向中心点方向依次设置有第一阱以及高压阱;并在第一阱上设置有第一有源区;高压阱具有三个封闭的环形空置区域,在三个环形空置区域分别设置有第二阱、第三阱以及第四阱;并在第二阱、第三阱以及第四阱上均设置第二有源区、第三有源区以及第四有源区;在高压阱上设置有第五阱,在第五阱设置有第五有源区定,从而解决了现有技术中SCR器件无法应用于超高耐压场合的技术问题。

    功率半导体器件及其制备方法
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119922929A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510374488.2

    申请日:2025-03-27

    Abstract: 本申请公开了一种功率半导体器件及其制备方法,该功率半导体器件包括中心区域和位于中心区域外周的外围区域,中心区域和外围区域均包括多个元胞结构,元胞结构和伪元胞结构均包括沿第一方向顺序设置的缓冲区和基区,中心区域还包括具有导电通道的伪元胞结构,伪元胞结构中缓冲区具有与基区的接触面以及沿第一方向与接触面相对的第一表面;至少部分导电通道嵌于缓冲区中的预定区域中,预定区域与接触面间隔,导电通道中嵌于预定区域中的部分由第二表面延伸至预定区域内部,预定区域用于在功率半导体器件承受设计的击穿电压的情况下形成击穿区域。本申请解决了相关技术中应用于功率半导体器件中的过压保护技术导致其击穿电压一致性较差的问题。

    高关断能力的功率半导体器件以及制备方法

    公开(公告)号:CN119922927A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510372595.1

    申请日:2025-03-27

    Abstract: 本发明涉及报半导体技术领域,公开一种高关断能力的功率半导体器件以及制备方法,所述器件包括:单元胞结构,包括:形成依次层叠的阳极结构、基区结构、阴极结构、门极结构,基区结构包括浮结区,该浮结区与基区结构的掺杂类型相反,浮结区包括上平台区、下平台区以及连接两平台区的波状区,浮结区采用局部辐照并通过金属挡板在基区结构中形成且用于将阳极结构与阴极结构之间路径上的电流分流至阴极结构与门极结构之间的区域及在该区域以动态雪崩方式促进载流子的重新分布。本发明可减小阴极结构外侧边缘处的基区横向压降,以达到阴极结构与门极结构快速换流的效果,有效防止因局部电流的汇聚出现重触发而导致器件击穿,有效提高器件的关断能力。

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