蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法

    公开(公告)号:CN106350768A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610561108.7

    申请日:2016-07-15

    CPC classification number: C23C14/042 C23C14/24

    Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备:掩模部(32),具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面,形成为片形状,而且,该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔,上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小;以及掩模框架(31),具有比上述掩模部高的刚性,并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分,在该部分通过接合部与掩模框架接合。

    蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模

    公开(公告)号:CN210711709U

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201921475540.X

    申请日:2019-09-06

    Abstract: 本实用新型涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部,各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。

    蒸镀用金属掩模
    23.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207619515U

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201720954355.3

    申请日:2017-08-02

    Inventor: 西刚广

    CPC classification number: C23C14/04

    Abstract: 蒸镀用金属掩模具备包括多个掩模孔的掩模区域,位于掩模区域的中央以外的位置的各掩模孔的连接部具有遍及掩模孔的整周地朝向掩模孔的内侧突出的形状,由作为掩模区域的中央附近的部分的第1部分、和作为掩模区域的端部附近的部分的第2部分构成。第1部分与掩模区域的背面之间的距离是第1台阶高度,端部区域中的第1台阶高度比中央区域中的第1台阶高度小。

    蒸镀用金属掩模
    24.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206828626U

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201720384313.0

    申请日:2017-04-13

    Abstract: 一种蒸镀用金属掩模,对各掩模孔进行划分的蒸镀用金属掩模的要素由在第一方向上相互对置的2个第一掩模要素以及在第二方向上相互对置的2个第二掩模要素构成。在与第一方向正交的截面中,第一掩模要素的厚度的极小值与第二掩模要素的厚度的极大值之比为70%以上。在各掩模孔中,与第一方向正交的截面中的掩模孔的宽度为掩模孔宽度,第二掩模要素的厚度的极大值与从第一开口到第二开口之间的掩模孔宽度的最小值之比为41%以上。

    蒸镀掩模
    25.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209210911U

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201821655523.X

    申请日:2018-10-12

    Inventor: 西刚广

    Abstract: 提供一种能够减小对于蒸镀粒子能够穿过掩模孔的蒸镀粒子的入射角度的限制的蒸镀掩模。蒸镀掩模(30)具备掩模表面(30F)、作为掩模表面(30F)的相反侧的面的掩模背面(30R)、以及在掩模表面(30F)与掩模背面(30R)之间贯通的多个掩模孔(31H)。掩模孔(31H)具备在与掩模表面(30F)对置的俯视下位于掩模表面(30F)的表面开口(HF)和位于表面开口(HF)的内侧的中央开口(HC)。掩模孔(31H)的一部分具有将表面开口(HF)与中央开口(HC)相连的倒锥台筒状。划分掩模孔(31H)的内表面具备从中央开口(HC)朝向表面开口(HF)扩展的阶梯面。

    蒸镀用金属掩模
    26.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205974646U

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201620749297.6

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 本实用新型提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模。具备:掩模部(32),具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面,形成为片形状,而且,该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔,上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小;以及掩模框架(31),具有比上述掩模部高的刚性,并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分,在该部分通过接合部与掩模框架接合。

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