公开(公告)号：CN109072404B

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201780023714.6

申请日：2017-04-13

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 石渡宏平 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 一种蒸镀用金属掩模，对各掩模孔进行划分的蒸镀用金属掩模的要素由在第一方向上相互对置的2个第一掩模要素以及在第二方向上相互对置的2个第二掩模要素构成。在与第一方向正交的截面中，第一掩模要素的厚度的极小值与第二掩模要素的厚度的极大值之比为70％以上。在各掩模孔中，与第一方向正交的截面中的掩模孔的宽度为掩模孔宽度，第二掩模要素的厚度的极大值与从第一开口到第二开口之间的掩模孔宽度的最小值之比为41％以上。

公开(公告)号：CN107429380A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680013003.6

申请日：2016-06-29

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 三上菜穗子 ,  田村纯香 ,  寺田玲尔 ,  仓田真嗣 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B21B3/02 ,  B21B1/227 ,  B21B2261/04 ,  B32B15/015 ,  B32B15/04 ,  C23C14/042 ,  C23C16/042 ,  C23F1/28 ,  C23F1/40 ,  H01L51/0015

Abstract: 在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。

公开(公告)号：CN107406964A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680013004.0

申请日：2016-03-22

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  三上菜穗子 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/024 ,  C23C14/028 ,  C23C14/085 ,  C23C14/12 ,  C23C14/225 ,  C23F1/02 ,  C23F1/14 ,  C23F1/44 ,  G01N21/55 ,  G03F7/0002 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5271

Abstract: 本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面，入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2％以上。

公开(公告)号：CN117821896A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311802064.9

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子 ,  仓田真嗣 ,  武田宪太

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。

公开(公告)号：CN109440060A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201811311762.8

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  C25D1/10 ,  C23F1/02

Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。

公开(公告)号：CN109072404A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780023714.6

申请日：2017-04-13

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 石渡宏平 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 一种蒸镀用金属掩模，对各掩模孔进行划分的蒸镀用金属掩模的要素由在第一方向上相互对置的2个第一掩模要素以及在第二方向上相互对置的2个第二掩模要素构成。在与第一方向正交的截面中，第一掩模要素的厚度的极小值与第二掩模要素的厚度的极大值之比为70％以上。在各掩模孔中，与第一方向正交的截面中的掩模孔的宽度为掩模孔宽度，第二掩模要素的厚度的极大值与从第一开口到第二开口之间的掩模孔宽度的最小值之比为41％以上。

公开(公告)号：CN112639157B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN201980057322.0

申请日：2019-09-06

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 西刚广 ,  山本龙彦 ,  小林昭彦

IPC: C23C14/04

Abstract: 蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部，各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。

公开(公告)号：CN111201336A

公开(公告)日：2020-05-26

申请号：CN201880065736.3

申请日：2018-10-12

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 西刚广

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  G09F9/00 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 蒸镀掩模具备表面、作为表面的相反侧的面的背面、以及划分各掩模孔的内表面。各掩模孔在表面与背面之间贯通，各掩模孔具备在与表面对置的俯视下位于表面的大开口和位于大开口的内侧的小开口。各掩模孔的至少一部分具有将大开口与小开口相连的倒锥台筒状。各内表面具备从小开口朝向大开口扩展的阶梯面。

公开(公告)号：CN110117767A

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201910317040.1

申请日：2016-06-29

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 三上菜穗子 ,  田村纯香 ,  寺田玲尔 ,  仓田真嗣 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  H01L51/56

Abstract: 在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。

公开(公告)号：CN109440060B

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201811311762.8

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  C25D1/10 ,  C23F1/02

Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。