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公开(公告)号：CN112185818A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011070446.3
申请日：2020-10-09
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L21/4763
Abstract: 一种ZnO薄膜的干法刻蚀方法，包括如下步骤：对ZnO薄膜进行清洗，吹干后待用；在ZnO薄膜表面旋涂一层光刻胶；通过掩模紫外曝光和丙酮清洗获得所需图案；对ICP刻蚀的刻蚀腔进行抽真空；向刻蚀腔内通入甲烷、氢气和氩气，气体流量分别为3 sccm、8 sccm和5sccm，调节真空腔压强为0.13Pa；对刻蚀腔进行预刻蚀；在刻蚀腔内载入ZnO薄膜，调节刻蚀温度为20摄氏度，射频功率设置为200 W，ICP功率设置为500W或1000W，进行刻蚀，完成后取出样品，使用丙酮超声清洗去除光刻胶，获得最终样品。本发明方法能够形成表面光滑，刻蚀界面清晰的ZnO刻蚀界面。
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公开(公告)号：CN108538927B
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201810286974.9
申请日：2018-03-30
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L31/02 , H01L31/0392 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种柔性日盲紫外探测器。所述柔性日盲紫外探测器，其特征在于：包括从下往上依次设置的透明基底、石墨烯网格层和ZnS量子点层，且所述石墨烯网格层是由石墨烯刻蚀后的石墨烯网格形成。本发明的有益效果在于：所述柔性日盲紫外探测器制备工艺简单、可实现柔性以及大面积应用。所制备的日盲紫外探测器，对日盲区内紫外光响应度高而对日盲区外响应度低，减少背景干扰影响。本发明还提供一种柔性日盲紫外探测器的制备方法。
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公开(公告)号：CN106086795B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201610377095.8
申请日：2016-05-31
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜，不仅拓展了ZnO‑GaN复合材料的制备方法，可以实现高于600nm的可见光吸收，而且和粉体相比，在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀，具有明显的可见光响应，带隙达到1.6eV。
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公开(公告)号：CN106711246A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710032833.X
申请日：2017-01-18
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/02327 , H01L31/1876
Abstract: 本发明公开了一种用于提高单层石墨烯对可见光吸收效率的光学结构。自上而下依次包括单层石墨烯、波导层、光学透明层以及棱镜。通过在棱镜表面涂覆两层电介质薄膜结构，能够使石墨烯与倏逝波充分相互作用，提高单层石墨烯的吸收效率，在可见光波段将单层石墨烯对电磁波的吸收率提高至100％。同时实现对单层石墨烯吸收特性的调控，拓展其在可调光谱选择性探测等领域的应用。
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公开(公告)号：CN106086795A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610377095.8
申请日：2016-05-31
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法，采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜，不仅拓展了ZnO‑GaN复合材料的制备方法，可以实现高于600nm的可见光吸收，而且和粉体相比，在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀，具有明显的可见光响应，带隙达到1.6eV。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105462577A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510843889.4
申请日：2015-11-27
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明提供了一种简单地合成氧化锌-氧化镁核壳量子点的方法。简要步骤如下：将70-75℃的乙酸锌乙醇溶液与0℃的氢氧化锂乙醇溶液混合，在53℃搅拌保持2分钟至30小时。随即在混合溶液中加入乙酸镁，溶解后在室温下静置1天。再加入3倍体积比的正庚烷，高速离心析出量子点后，加入体积比例4:1的正庚烷与乙醇混合溶液，溶解后再次离心，烘干，再次溶入乙醇溶液后，旋涂、喷涂或印刷在基片上，在200℃下烘干得到最终产物。本发明所采用的方法与现有的氧化锌量子点制备方法相比，具有成本低、工艺简单、不易团聚、紫外发光效率高、可直接应用于紫外发光器件上的优点，是一种优良的纳米紫外发光材料。
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公开(公告)号：CN104131352A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410340735.9
申请日：2014-07-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了大尺寸钙钛矿结构甲胺碘铅晶体的制备方法，将PbI2用HI溶液溶解，配制Pb2+-HI溶液；将HI溶液与CH3NH2溶液按摩尔比1:1混合，在0℃下反应2h，得到CH3NH2I溶液；将上述Pb2+-HI溶液与CH3NH2I溶液混合，其中CH3NH2I与Pb2+的摩尔比为（1～2）:1，于95℃下预热48～72h，得到过饱和溶液，过滤，得到CH3NH3PbI3晶体生长的母液；于95.5～96℃的水浴中预热12～24h，置于晶体生长容器中，程序降温至45℃后保持恒温，得到CH3NH3PbI3晶体。本发明工艺中HI溶液既参与原料合成，又是晶体生长的溶剂，具有合成工艺简单，副反应少的优点；生长装置简易，能生长出高质量、大尺寸的晶体。
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公开(公告)号：CN102311138B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110223849.1
申请日：2011-08-05
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 掺钕钆钪铝石榴石纳米粉体的制备方法，步骤为：a.配制Gd(NO3)3、Nd(NO3)3、Sc(NO3)3、Al(NO3)3溶液；b.称取NH4HCO3，用水溶解，在反应器内先加入体积占反应器1/10的碳酸氢铵溶液；c.将硝酸盐和碳酸氢铵同步、同速滴加到反应器内并对反应器内溶液进行充分的搅拌；d.反应器内得到白色糊状物，并进行离心沉淀，收集离心管底部沉淀，然后再将沉淀先后分散于乙醇溶液、水中，进行再次沉淀；e.收集经离心沉淀后的前驱物粉体，烘干并研磨；f.收集研磨后的粉体，放入马弗炉进行煅烧，获得目标粉体。合成原理及操作过程简单，烧结温度和烧结时间较短，降低了合成成本。
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公开(公告)号：CN204219627U
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201420667105.8
申请日：2014-11-11
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于光热效应的颈椎理疗仪。该颈椎光热理疗仪，由红外光源系统、长方体状集成与控制台、热风系统和支撑系统组成，所述红外光源系统与集成与控制台的上端面相连，所述热风系统与集成与控制台的侧面相连，所述支撑系统与集成与控制台的下端面相连。本实用新型所述颈椎光热理疗仪结构简单、操作方便、安全耐用，适用于家庭及办公场所。
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公开(公告)号：CN204178600U
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201420669646.4
申请日：2014-11-11
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于测量LED发光强度角度分布的实验装置。该实验装置由固定台、角度盘、转动组件、LED固定组件以及光电探测组件所组成，所述转动组件包括转轴，所述转轴的下端穿过角度盘与固定台的上端面相连，所述LED固定组件与转动组件的上端面相连，所述光电探测组件与转动组件的侧面相连。本实用新型所述用于测量LED发光强度角度分布的学生实验装置原理简单，成本低廉，结实耐用，能满足学生实验中对LED发光强度角度分布测量的实验要求。
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