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公开(公告)号：CN117008323B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202310948465.9
申请日：2023-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/10 , G10K11/162 , G02B7/18
Abstract: 一种具有可拆卸静音结构的高速旋转棱镜，它涉及一种高速旋转棱镜。本发明为了解决超精密测量过程中噪声导致测量精度受影响的问题。本发明包括电机、电机固定件、静音机构、联轴器、转轴、多面转镜和底板；电机固定件和静音机构固定设置在底板的上表面，且电机固定件位于静音机构内，电机固定安装在电机固定件上，电机的电机轴通过联轴器与转轴的一端同轴固定连接，且转轴位于静音机构外，多面转镜同轴固定套装在转轴上。本发明属于超精密测量环境控制技术领域。
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公开(公告)号：CN117629841A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311571307.2
申请日：2023-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于分形原理的多孔陶瓷渗透率预测方法，包括如下步骤，采用激光共聚焦显微镜对多孔陶瓷截面进行表征，并对测试区域的三维形貌进行高度值统计，获得均值与方差；通过高度阈值对三维形貌进行二值化处理，并对二值化结果计算多孔陶瓷截面分形维数；对该分形维数与高度关系，通过拟合获得剔除截面信息的孔隙面积分形维数；基于气体守恒方程、达西定律、泊肃叶定律等，得到渗透率与孔隙结构参数之间的映射关系，带入孔隙结构参数，获取不同位置处渗透率；通过求取不同位置处的渗透率得均值，获得多孔陶瓷的渗透率。本发明通过非接触式的方式测量渗透率，避免压降实验等对精密元器件造成的损伤。本发明可用于空气轴承的多孔节流件。
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公开(公告)号：CN117517333A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311423506.9
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。本发明通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；本发明使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强。
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公开(公告)号：CN117173044A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311085702.X
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/00 , G06T7/11 , G06T7/00 , G06V10/774
Abstract: 一种基于超像素聚类PCA的图像降噪算法，它涉及一种图像降噪算法。本发明为了解决目前许多基于PCA的降噪算法只考虑维间的能量变换而忽略维内的能量变换，降噪效果不足，由于暗场共焦图像的信噪比低、信号弱的特点，算法难以满足暗场共焦图像降噪的工程需求的问题。本发明通过SLIC方法对图像进行超像素分割，降低计算复杂度；通过噪声水平相关参数的自适应聚类收集相似图像块，从而获得良好的保留图像细节结构的能力；通过基于特征值的硬阈值维数选择去除噪声占优维，保留信号主导维；利用维内次优维纳滤波获得更好的降噪效果。本发明属于图像处理技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116977225A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311114227.4
申请日：2023-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种原位共焦显微二维图像畸变校正方法，它涉及一种二维图像畸变校正方法。本发明为了解决由于机械臂本身固有的振动，使共焦显微在成像过程中待测元件与显微测头之间发生相对位移，从而使显微成像带有振动畸变的问题。本发明的步骤包括步骤一、输入图像；步骤二、图像分块；步骤三、边缘提取；步骤四、振动拟合；步骤五、图像边缘去抖；步骤六、图像复原。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN118914200B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202411010369.0
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，相反阶涡旋光束产生模块用于产生混合涡旋光束，样品扫描模块用于利用混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到样品反射光束，螺旋变换模块用于对样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束，多阶探测模块用于对空间分离光束进行探测，得到扫描位置的涡旋二色性信号强度，当待测样品的扫描位置无缺陷时，涡旋二色性信号强度为0，当待测样品的扫描位置存在缺陷时，涡旋二色性信号强度不为0，且涡旋二色性信号强度的正负性与缺陷的左旋手性和右旋手性分别对应，从而可以探索三维集成电路层间缺陷的手性特性。
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公开(公告)号：CN117470847B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202311085660.X
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种暗场共焦显微图像反射信息去耦合方法，它涉及一种显微图像反射信息去耦合方法。本发明为了解决暗场共焦成像过程中，未被完全滤除的反射信号掺杂在散射信号中，导致获取图像亮度不均匀、背景噪声大，进而干扰亚表面缺陷观测的问题。本发明以明场图像作为先验，计算先验梯度模板，通过先验梯度模板提取出暗场散射信号，并滤除反射信息噪声。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN117517333B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202311423506.9
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。本发明通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；本发明使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强。
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公开(公告)号：CN117173459B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202311095794.X
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096
Abstract: 一种基于迁移学习的互连铟柱缺陷多分类方法，它涉及一种互连铟柱缺陷多分类方法。本发明为了解决焦平面连接像元的结构缺陷和高度异常缺陷检测的问题。本发明的步骤包括步骤1、生成缺陷数据；步骤2、建立迁移学习模型；步骤3、数据降维；步骤4、缺陷分类。本发明属于图像处理技术领域。
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