发光氮化物半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100364125C

    公开(公告)日:2008-01-23

    申请号:CN200510063803.2

    申请日:2005-04-07

    Inventor: 笔田麻佑子

    CPC classification number: H01L33/382 H01L33/20 H01L33/405

    Abstract: 提供了一种发光氮化物半导体器件,其包括:一衬底(1),覆盖所述衬底(1)的具有第一导电性的半导体层(2),覆盖具有所述第一导电性的所述半导体层(2)的发光层(3),覆盖所述发光层(3)的具有第二导电性的半导体层(4),以及至少覆盖具有所述第二导电性的所述半导体层的第二电极(5),其中,所述第二电极对主发光波长具有高反射率,并且所述发光器件使光主要在其侧面得到提取。

    氮化物半导体发光元件
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102931301A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210387555.7

    申请日:2012-07-02

    Inventor: 笔田麻佑子

    CPC classification number: H01L33/06 H01L33/007 H01L33/12 H01L33/20 H01L33/32

    Abstract: 一种氮化物半导体发光元件,其依次具备n型氮化物半导体层、下部发光层、上部发光层、p型氮化物半导体层。下部发光层由多个下部阱层和被下部阱层夹持且带隙比下部阱层大的下部势垒层交替层积而成。上部发光层由多个上部阱层和被上部阱层夹持且带隙比上部阱层大的上部势垒层交替层积而成。上部发光层的上部势垒层的厚度比下部发光层的下部势垒层的厚度薄。

    氮化物基半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1964090B

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN200610136638.3

    申请日:2006-10-27

    Inventor: 笔田麻佑子

    CPC classification number: H01L33/0079 H01L33/145 H01L33/32 H01L33/40

    Abstract: 本发明公开了一种氮化物基半导体器件及其制造方法,所述方法包括的步骤为:在蓝宝石衬底(1)上形成至少一个导电膜(2);在该导电膜上形成至少一个氮化物基半导体层(3-8);在蓝宝石衬底的自由表面上进行激光划线以形成沟槽或裂纹;以及,经由所述沟槽或裂纹,通过湿法蚀刻选择性地除去所述导电膜,从而除去所述蓝宝石衬底。可在衬底上形成至少一个导电膜作为该释放层或替代该释放层。

    半导体发光器件制造方法
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1921161A

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN200610121876.7

    申请日:2006-08-25

    Inventor: 笔田麻佑子

    Abstract: 本发明公开了一种半导体发光器件的制造方法,包含:形成包含外延生长在基底基板上并包含有源层的多层半导体膜的晶片的步骤(P1、P2)、通过光激发晶片中的有源层并至少在两个温度点测量有源层的发射强度而对有源层进行合格/不合格判断的步骤(P3、P6、P8)、以及使用包含在合格/不合格判断中被判断为质量良好的有源层的多层半导体膜形成发光器件结构的步骤(P4、P5、P7、P9-P13)。

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