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公开(公告)号：CN109791099B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN112888893A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201980069490.1
申请日：2019-10-03
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 流体供给系统1并列地排列有多条流体管线8，该流体管线8是流体控制器2和接头4通过配管6串联连接而成的，各流体管线8在从包含各流体管线8的排列方向Y的平面观察时，在与排列方向Y实质上正交的延设方向X上呈直线状延设，各流体控制器2使得连接配管6的连接面2a、2b朝向同一方向、且在排列方向Y上并排配置，配管6的直径Dp为连接面2a、2b在排列方向Y上的面宽度W以下，接头4的直径Dd1、Dd2为面宽度W以上，在排列方向Y上相邻的各配管6被定位于接头4在延设方向X上相互错开的位置。
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公开(公告)号：CN109312874B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201780039076.7
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111316026A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071444.0
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。
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公开(公告)号：CN111201396A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880066457.9
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能准确且简便地诊断阀的动作异常。能探测动作异常的阀(V1)具备：磁铁(M1)，安装于随着阀(V1)的打开关闭动作进行滑动的阀杆(53)的按压适配器(52)附近；以及磁性传感器(M2)，安装于对隔膜(51)的周缘进行按压的按压适配器(52)的内侧的与阀杆(53)对置的面，检测与磁铁(M1)之间的距离变化。进而，异常判定单元将由磁性传感器(M2)检测出的异常诊断时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化与预先测量出的正常时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111133239A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880062388.4
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。
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公开(公告)号：CN109563942B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780039064.4
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。
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公开(公告)号：CN109791099A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
CPC classification number: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
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