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公开(公告)号：CN102933738A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180027644.4
申请日：2011-06-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B23K9/00 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3402
Abstract: 提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备：至少一个外周磁铁(3)，其包围标靶(2)的外周，并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第一永磁铁(4A)，其配置于标靶(2)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第二永磁铁(4B)，其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下，配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；以及磁性体(5)，其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。
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公开(公告)号：CN102310226A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110174897.6
申请日：2011-06-27
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 日本高周波钢业株式会社
CPC classification number: C23C14/0664 , B21D28/00 , B21D37/01 , B23D35/001 , B23P15/24 , Y10T83/9447
Abstract: 本发明提供实现了长寿命化的剪切用模具及其制造方法。本发明提供一种剪切用模具(1)，是包含一对基材并用于利用该基材来剪切配置于其间的板材的剪切用模具(1)，其特征在于，在所述基材中的至少一个表面中的至少曲面的区域、和从与所述板材(2)的表面相对的一侧的所述曲面的终端起沿着所述基材的面直到300μm的区域中，具备利用电弧离子镀法形成的硬质被膜，所述硬质被膜含有Al和选自Ti及Cr中的一种以上，并且膜厚为1μm以上、5μm以下，此外，在形成于所述曲面的区域、和从与所述板材(2)的表面相对的一侧的所述曲面的终端起沿着所述基材的面直到300μm的区域中的所述硬质被膜的表面，存在于长10mm的线段上的直径20μm以上的金属粒子的个数为2个以下。
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公开(公告)号：CN102023241A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010273558.9
申请日：2010-09-03
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/06761 , H01R13/03
Abstract: 本发明目的在于提供一种半导体检测装置用接触式探针，其是在探针与焊料接触时，防止作为焊料主要成分的锡粘着在探针的接触部，而将抗锡粘着性优异的非晶碳系导电性皮膜形成于基材表面而成的半导体检测装置用接触式探针。一种在导电性基材表面形成非晶碳系导电性皮膜而成的半导体检测装置用接触式探针，其特征在于，所述非晶碳系导电性皮膜具有如下外表面：在原子力显微镜下4μm2的扫描范围中，表面粗糙度(Ra)为6.0nm以下，均方根斜率(RΔq)为0.28以下，表面形态的凸部的前端曲率半径的平均值(R)为180nm以上。
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公开(公告)号：CN100584993C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200710137320.1
申请日：2007-07-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C30/005
Abstract: 提供一种使硬度、耐氧化性、还有韧性提高，耐磨耗性优异的硬质皮膜，以及采用该硬质皮膜形成的硬质皮膜被覆工具。其是被覆在工具的表面的硬质皮膜，其中，硬质皮膜的组成由Al1-a-b-cSiaMgbMc(BxCyNz)构成，M是从Nb、V、Zr、Cr、Ti、Cu及Y选择出的至少1种以上的元素，所述a、b、c、x、y、z是原子比时，满足0≤a≤0.35，0≤b≤0.2，0.03≤a+b≤0.5，0≤c≤0.1，且以原子比计，0.9≤Al+Si+Mg，0≤x≤0.2，0≤y≤0.4，0.5≤z≤1，x+y+z＝1。另外，一种采用硬质皮膜形成的硬质皮膜工具，其中，该硬质皮膜是前述记载的硬质皮膜。
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公开(公告)号：CN100419117C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200510005755.1
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/0063 , C23C14/0036 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/0647 , C23C14/0652 , C23C14/0664 , C23C14/0676 , C23C14/16 , C23C14/22 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C14/568 , C23C28/044 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/341 , C23C28/347 , C23C28/42 , C23C28/44 , C23C30/00 , Y10T428/24942 , Y10T428/24975 , Y10T428/26
Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101254674A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810081819.X
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/025
Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。
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公开(公告)号：CN101012545A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200610135654.0
申请日：2006-10-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/06 , C23C14/0664 , Y10T428/30
Abstract: 一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1－a－bAlaSib)(BxCyN1－x－y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1－a－b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1－a－bAlaSib)(BxCyN1－x－y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。
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公开(公告)号：CN107532280A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023831.8
申请日：2016-04-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor： 山本兼司 , 二井裕瑛 , 哲曼·福克斯-莱比诺比齐
Abstract: 一种形成于基材上，满足由下式(1)表示的组成的硬质皮膜。TiaCrbAlcZrdLe(BxCyNz)…(1)(式中，L是Si和Y之中的一种以上的元素，a、b、c、d、e、x、y、z满足0≤a≤0.30，0.10≤b≤0.30，0.40≤c≤0.70，0.03≤d≤0.20，0≤e≤0.10，0≤x≤0.15，0≤y≤0.10，0.80≤z≤1，a+b+c+d+e＝1，x+y+z＝1。)
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公开(公告)号：CN103476963B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280019375.1
申请日：2012-04-03
Applicant: 日本高周波钢业株式会社 , 株式会社神户制钢所
Abstract: 压力成形用金属模至少在向被成形体接触的成形面上形成有用来防止压力成形时的烧粘的保护膜。该保护膜通过PVD法形成，当将从其表面抽取的任意的选择区间划分为多个独立区间，设其划分数为N，设从选择区间的端部起第n个划分点的表面的倾斜为（dZn/dXn）时，通过下述数式计算的均方根RΔq是0.032以下。由此，能够使具有通过PVD法形成的保护膜的压力成形用金属模的耐烧粘性提高。
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公开(公告)号：CN103168113B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201180050474.1
申请日：2011-10-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C28/044 , C23C14/0641 , C23C28/42 , C23C28/44 , C23C30/005
Abstract: 本发明提供一种第1硬质皮膜形成部件，在基材上交替层叠A层和B层，A层满足组成为TiaCrbAlcSidYe(BuCvNw)(其中，a、b、c、d、e、u、v、w为特定量的原子比)，B层满足组成为TifCrgAlh(BxCyNz)(其中，f、g、h、x、y、z为特定量的原子比)，在设A层和B层的1组的层叠构造为1单位时，该1单位的厚度为10～50nm，且硬质皮膜的膜厚为1～5μm。另外，本发明还提供一种第2硬质皮膜形成部件，其隔着厚度为0.5μm以下的中间层或不隔着中间层而在所述B层上面层叠所述A层，A层的厚度为0.5～5.0μm，B层的厚度为0.05～3.0μm。
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