真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统

    公开(公告)号:CN101111680A

    公开(公告)日:2008-01-23

    申请号:CN200680003883.5

    申请日:2006-04-07

    Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生,并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中,该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子,以通过转子的旋转吸入和排出气体,转子包括多级,且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元,以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值,并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。

    温度控制系统及综合温度控制系统

    公开(公告)号:CN112781432B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202011229583.7

    申请日:2020-11-06

    Abstract: 温度控制系统(200),其具备供第一热媒循环的第一循环回路(110);供第二热媒循环的第二循环回路(120);供第三热媒循环的第三循环回路(130),第一循环回路具备将第一热媒的温度调整成第一温度后排出的第一调整装置(11)以及第一流通部(114),第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度后排出的第二调整装置(21)以及第二流通部(124),第三循环回路具备:与第一流通部进行热交换的第三流通部(133);与第二流通部进行热交换的第四流通部(134)。温度控制系统还具备调整部(135),调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量及第二流通部与第四流通部之间交换的热量。

    干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置

    公开(公告)号:CN103711697B

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201310460434.5

    申请日:2013-09-30

    Abstract: 本发明提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置,在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1),泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4),控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能,第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值,第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。

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