芯片基板大压力倒装键合柔性加压机构

    公开(公告)号:CN110993520A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911313388.X

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种芯片基板大压力倒装键合柔性加压机构,解决了如何在加压初期进行柔性加压和对加压过程实施监控的问题。在活动横梁(304)的上顶面上设置有圆柱状凹形槽(307),在圆柱状凹形槽的槽底设置有压力传感器(308),在压力传感器顶端中部螺纹孔(309)中螺接有带台阶螺柱(310),在带台阶螺柱(310)的环形台阶上设置有叠簧(311),在叠簧上的带台阶螺柱(310)上套接有压力传导套筒(312),在圆柱状凹形槽的顶端设置有带中心孔凹槽顶盖(317),伺服压机下压输出轴(313)的轴端穿过带中心孔凹槽顶盖(的中心孔后与压力传导套筒(312)的顶端面顶接;满足不同规格芯片键合的工艺需求。

    芯片基板大压力倒装键合柔性加压机构

    公开(公告)号:CN110993520B

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN201911313388.X

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种芯片基板大压力倒装键合柔性加压机构,解决了如何在加压初期进行柔性加压和对加压过程实施监控的问题。在活动横梁(304)的上顶面上设置有圆柱状凹形槽(307),在圆柱状凹形槽的槽底设置有压力传感器(308),在压力传感器顶端中部螺纹孔(309)中螺接有带台阶螺柱(310),在带台阶螺柱(310)的环形台阶上设置有叠簧(311),在叠簧上的带台阶螺柱(310)上套接有压力传导套筒(312),在圆柱状凹形槽的顶端设置有带中心孔凹槽顶盖(317),伺服压机下压输出轴(313)的轴端穿过带中心孔凹槽顶盖(的中心孔后与压力传导套筒(312)的顶端面顶接;满足不同规格芯片键合的工艺需求。

    芯片基板大压力倒装键合柔性加压方法

    公开(公告)号:CN111009481B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201911313417.2

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种芯片基板大压力倒装键合柔性加压方法,解决了如何在加压初期进行柔性加压和对加压过程实施监控的问题。在活动横梁(304)的上顶面上设置有圆柱状凹形槽(307),在圆柱状凹形槽的槽底设置有压力传感器(308),在压力传感器顶端中部螺纹孔(309)中螺接有带台阶螺柱(310),在带台阶螺柱(310)的环形台阶上设置有叠簧(311),在叠簧上的带台阶螺柱(310)上套接有压力传导套筒(312),在圆柱状凹形槽的顶端设置有带中心孔凹槽顶盖(317),伺服压机下压输出轴(313)的轴端穿过带中心孔凹槽顶盖(的中心孔后与压力传导套筒(312)的顶端面顶接;满足不同规格芯片键合的工艺需求。

    一种三自由度物料盒抓取提升机器人

    公开(公告)号:CN115890635A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202310025470.2

    申请日:2023-01-09

    Abstract: 本发明属于桁架机器人技术领域,涉及一种三自由度物料盒抓取提升机器人,包括支撑立柱、X轴平移机构、Y轴平移机构、Z轴提升机构和抓取机构;X轴平移机构通过导轨滑块在水平方向沿X轴导轨左右移动,X轴导轨通过螺栓固定在支撑横梁上;Y轴平移机构滑动连接在X轴平移机构的悬臂梁上;Z轴提升机构固定连接在Y轴平移机构上;抓取机构固定连接在Z轴提升机构的一端,抓取机构可根据夹爪开合程度的不同兼容抓取不同尺寸的物料盒。本发明通过悬臂式横梁设计,极大地缩短了自动化仓库出入库口输送线和墙壁之间的距离,减少了占用空间,能够方便快捷的进行货物运输。

    一种多兼容性孔壁金属化印刷工作台

    公开(公告)号:CN119189495A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411342066.9

    申请日:2024-09-25

    Abstract: 本发明涉及多层陶瓷器件生产技术领域,尤其涉及一种多兼容性孔壁金属化印刷工作台,其中汇流板的顶部连接有盖板,盖板上设置有矩形通孔,矩形通孔通过十字交叉梁分隔为四个大面积真空区域;盖板上固定有外台,外台上设置小面积真空区域,每个小面积真空区域四周的外台顶面设有第一阵列吸附孔;外台顶面上设有定位销钉孔,定位销钉孔中设有弹簧定位销孔;外台上设有第二阵列吸附孔。当更换产品批次或者生瓷片孔壁金属化图形发生变更时,不再需要更换相应的支撑漏板,缩短更换工装时间及难度,降低加工成本及生产成本;提高了生产效率,能避免频繁更换支撑板对工作台造成磨损,进一步保证了不同产品间孔壁金属化均匀、质量稳定。

    用于芯片基板预焊后进行键合的大压力倒装键合机

    公开(公告)号:CN110931397B

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN201911313394.5

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种用于芯片基板预焊后进行键合的大压力倒装键合机,解决了大尺寸芯片高质量键合的技术问题。在四根导向柱(303)之间的压台基座(301)的台面上固定设置有工作台板(101),在伺服压机(314)正下方的工作台板上固定设置有圆柱状调平台基座(201),在半球形凹槽(202)中活动设置有半球形浮动调平台(203),在半球形浮动调平台(203)上设置有下压板治具(115),在下压板治具(115)上设置有预焊在一起的芯片与基板(324),在圆柱状调平台基座(201)一侧的工作台板上设置有平行移送导轨(102),在两个移送滑块之间设置有门形移送框架;定位精确,键合分阶段进行,实现过程容易。

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