芯片与基板对位及精调平的显微激光系统

    公开(公告)号:CN110752164B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN201911144659.3

    申请日:2019-11-20

    Abstract: 本发明公开了一种芯片与基板对位及精调平的显微激光系统,解决了如何将激光精定位与显微光学系统结合在一起实现键合精定位的问题。本发明是通过带有同轴光源的显微成像相机所发出的同轴光线分别经过芯片靶标反射镜和基板靶标反射镜反射后,返回到显微成像相机中成像,来实现芯片和基板的对位;用同一光路系统通过双路激光器分别在芯片上的三个靶标反射镜上形成三个定位激光点,从而获得芯片所在水平平面的准确位置,用同一光路系统通过双路激光器分别在基板上的三个靶标反射镜上形成三个定位激光点,从而获得基板所在水平平面的准确位置,从而完成对两个平面平行度的准确调整。

    一种生瓷片带框孔壁金属化的内外台机构

    公开(公告)号:CN115817000B

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310031572.5

    申请日:2023-01-10

    Abstract: 本发明涉及传感器的加工领域,尤其涉及一种生瓷片带框孔壁金属化的内外台机构,其包括外台组件和内台组件;外台组件包括底板和顶板,顶板中间开有中央通孔,顶板上设有第一负压孔;内台组件包括竖直升降机构,竖直升降机构的活动端连接有可伸入中央通孔中的内托台,内托台的顶面上设置有用于安装浆料收集盒的凹槽,内托台顶面分布有第二负压孔,内托台底部设置有风机接口,浆料收集盒底部开有风口;竖直升降机构上设置有升降传感器。粘贴生瓷片的金属框吸附至外台组件上,掩膜板吸附至内台组件上,内托台在竖直升降机构的带动下,能相对于外台组件实现独立升降,进而保证掩膜板能完全贴合生瓷片的下表面,对生瓷片起到承托作用,避免生瓷片形变。

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