测量探头
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106197206A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201510382532.0

    申请日:2015-07-02

    CPC classification number: G01B3/008 G01B5/0016 G01B5/012 G01B5/20 G01B11/007

    Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300),其包括:触针(306),其具有用于接触被测物体的接触部;轴运动机构(310),其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件;以及旋转运动机构(334),其具备旋转构件,该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动,其中,该测量探头包括:探头主体(302),其用于内置轴运动机构;以及探头模块(304),其被支承于探头主体,并用于内置旋转运动机构,并支承触针,探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此,在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。

    表面性状测量仪
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102749058A

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN201210117021.2

    申请日:2012-04-19

    Inventor: 中山树 土井太

    CPC classification number: G01B5/0016 G01B3/008 G01B5/016 G01B5/28

    Abstract: 本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中,测量臂(24)包括:第1测量臂(24A),其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上;以及第2测量臂(24B),其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端,在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B);装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括:标尺(27A),其配置在测量臂上;以及检测头,其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上;标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。

    具有用于平衡竖直移动构件重量的装置的坐标测量机

    公开(公告)号:CN101646918B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200780051082.0

    申请日:2007-12-14

    CPC classification number: G01B5/008 G01B5/0016

    Abstract: 一种具有用于平衡竖直移动构件重量的装置的坐标测量机(1),包括可以相对于托架(9)竖直移动的测量柱(10)和用于平衡柱(10)的重量的装置(17),所述装置设置有气压缸(18),该气压缸具有固定至柱(10)的衬套(19)和限制于支撑结构(12)的杆(22),杆通过弹性悬挂组件(37)由托架(9)承载,这使得在粘附的情况下杆(22)随着衬套(19)行进,而当弹性悬挂组件(37)的弹性作用超过活塞(21)与衬套(19)之间的摩擦力时,杆返回到平衡位置中,从而使粘滑现象被消除。

    试样的表面形状的测定方法及装置

    公开(公告)号:CN101784862A

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN200880104312.X

    申请日:2008-07-11

    Inventor: 水谷直树

    CPC classification number: G01B5/0016 G01B5/28

    Abstract: 本发明提供不对试样作用强的力而能够抑制探针的跳跃的试样的表面形状的测定方法及装置。在短时间内进行控制操作,该控制操作包括由传感器进行的被测定表面上的探针的垂直方向的位移的检测、基于探针的位移检测的探针的速度及加速度的计算、由探针的速度及加速度的至少一方的实时的监视进行的探针的跳跃的检测、对探针的针压产生装置的电流控制,仅在探针处于空中时,增大作用于探针的针压,在探针再接触试样之前使探针的针压返回原来的状态。

    坐标定位机器
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108885082A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201780022495.X

    申请日:2017-03-31

    Abstract: 提供了一种非笛卡尔坐标定位机器,包括用于将如测量探针等部件定位在该机器的工作容积内的可延伸支腿组件。该可延伸支腿组件包括当该可延伸支腿组件改变长度时相对于彼此移动的第一构件(63)和第二构件。该第一构件(63)包括形成用于伸出和缩回该可延伸支腿组件的线性马达(70)的一部分的磁体(72)的轴向布置、以及用于吸收使用中的这些磁体(72)的任何轴向热膨胀或收缩的至少一部分的至少一个弹性构件(76)。

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