公开(公告)号：CN107076547A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580052310.0

申请日：2015-09-29

Applicant: 统一半导体公司

Inventor： 马约·杜朗德热维涅 ,  菲利普·加斯塔尔多

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/9505 ,  G01B11/2441 ,  G01M11/331 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8874

Abstract: 本发明包括一种用于检验用于电学、光学或光电学的晶片(2)的方法，其中所述方法包括：使晶片(2)绕与所述晶片的主表面(S)垂直的对称轴转动；从至少一个光源(20)发射至少两对入射相干光束，以便形成包含具有不同条纹间距的干涉条纹的两个测量空间；收集由所述晶片的表面散射的光束；获取所收集的光并发射表示所收集的光的光强度随时间变化的电信号；检测所述信号中的频率分量，所述频率是缺陷通过相应测量空间的时间特征；基于为每一个测量空间确定的可见度来为每一个检测到的特征确定被称为缺陷可见度的参数；获得关于所述缺陷的尺寸的相应信息；交叉检查对于每一个测量空间获得的信息，以确定所述缺陷的大小。

公开(公告)号：CN106716112A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201580052315.3

申请日：2015-09-29

Applicant: 统一半导体公司

Inventor： 马约·杜朗德热维涅 ,  菲利普·加斯塔尔多

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/02034 ,  G01B2210/56 ,  G01M11/331 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明涉及一种用于检验用于电学、光学或光电学的晶片的方法，其包括：使晶片绕与所述晶片的主表面垂直的对称轴转动；从与干涉装置(30)耦接的光源(20)发射两条类准直入射光束，以在两条光束之间的交叉处形成包含干涉条纹的测量空间，所述干涉条纹横向于所述晶片的转动路径延伸并且在所述测量空间内具有可变的条纹间距，缺陷通过所述测量空间的时间特征取决于缺陷在所述测量空间中通过的位置处的条纹间距的值，所述晶片在光源的波长下至少部分透明，所述干涉装置(30)和所述晶片相对于彼此布置为使得所述测量空间在所述晶片的区域中延伸，所述区域的厚度小于所述晶片的厚度；收集由所述晶片的所述区域散射的光的至少一部分；捕获所收集的光并发射电信号，该电信号表示所收集的光的光强度随时间的变化；在所述信号中检测所述所收集的光的强度变化中的频率分量，所述频率是缺陷通过测量空间的时间特征；从所述缺陷通过的位置处的所述条纹间距的值，确定所述缺陷在所述径向方向和/或所述晶片的厚度中的位置。

公开(公告)号：CN106052594A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610304051.2

申请日：2016-05-10

Applicant: 河南师范大学

Inventor： 王芳 ,  杨琳琳 ,  宋艳 ,  孙云娟 ,  王明远 ,  刘玉芳

IPC: G01B11/26 ,  G01B9/02 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01B11/26 ,  G01B9/02003 ,  G01M11/331

Abstract: 本发明公开了一种含磁光光纤利用光纤光栅激光拍频测量旋光角的方法，首先磁光光纤在室温环境中电流设定值的条件下，980nm泵浦光源经过光纤谐振腔输出拍频信号，记录、存储此时的实验数据，经数字信号处理器进行处理，并通过理论计算值进行校正作为参考值，然后将磁光光纤处于室温环境中不同电流条件下，经频谱分析仪观察拍频信号的变化，并记录、存储相对应电流条件下的拍频信号，最终得到拍频信号与电流的对应关系并依据该拍频信号与电流的对应关系实现待测磁光光纤旋光角的测量。本发明测量过程简化，方便迅速，有效克服了传统旋光角测量方法中存在的繁琐流程。

公开(公告)号：CN102639966B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201080032395.3

申请日：2010-05-27

Applicant: 希里克萨有限公司

Inventor： 马哈茂德·法哈蒂罗山 ,  汤姆·理查德·帕克 ,  谢尔盖·沙塔林

IPC: G01D5/353

CPC classification number: G01H9/004 ,  E21B47/0002 ,  E21B47/101 ,  G01D5/35303 ,  G01D5/35306 ,  G01D5/35325 ,  G01D5/35335 ,  G01D5/35358 ,  G01D5/35364 ,  G01D5/35377 ,  G01D5/35383 ,  G01F1/66 ,  G01F1/661 ,  G01M11/331 ,  G01V1/40

Abstract: 描述了一种用于光纤系统的干涉仪装置及其使用方法。干涉仪包括光耦合器和光纤，光纤限定第一光路和第二光路。在第一光路和第二光路中传播的光被反射回光耦合器以产生干涉信号。第一、第二和第三干涉信号分量被引导朝向相应的第一、第二和第三光电探测器。第三光电探测器通过非互易的光学器件连接到光耦合器，并被配置成测量朝向输入光纤被引导回来的第三干涉信号分量的强度。也描述了在监测声扰动的应用中使用的方法以及校准方法。

公开(公告)号：CN100487405C

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN03825859.5

申请日：2003-02-06

Applicant: 埃科斯弗电光工程公司

Inventor： N·西尔

IPC: G01M11/00

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01M11/331 ,  G01M11/336

Abstract: 一种用于测量例如波导管的器件的偏振模色散(PMD)的设备，包括：宽带光源装置，用于使偏振宽带光穿过器件(14)；干涉仪(20)，用于分离和复合穿过所述器件的光以形成干涉图；偏振分离器(30)，用于接收来自所述干涉仪的所述光，并将该接收的光沿第一和第二正交偏振态分离；检测器(32X，32Y)，用于将所述第一和第二正交偏振态分别转换为相应的第一和第二电信号(PX(τ)，PY(τ))；以及处理器(36)，用于分别计算所述第一和第二电信号的差与和的模量，以产生互相关包络(EC(τ))和自相关包络(EA(τ))，并根据表达式确定偏振模色散，其中，σ2＝∫τ2E2C(τ)dτ/∫E2C(τ)dτ以及σ20＝∫τ2E2A(τ)dτ/∫E2A(τ)dτ，并且τ是干涉仪的两光路间的延迟差。

公开(公告)号：CN1652483A

公开(公告)日：2005-08-10

申请号：CN200510007351.6

申请日：2005-02-04

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 波格丹·沙弗兰耶切

IPC: H04B10/08 ,  H04B10/12

CPC classification number: G01M11/337 ,  G01M11/331 ,  G01M11/333 ,  G01M11/336

Abstract: 本发明提供了用于表征被测器件(DUT)的光学性能的方法和系统。如下对被测器件(DUT)的群时延进行测量：在不同频率对本地振荡器信号的测试部分和基准部分进行调制以产生调制边带，将本地振荡器信号的已调制测试部分提供给DUT，然后光学混合两个已调制信号。光学混合两个已调制信号将光频向下转变到电频。由DUT引起的相变通过测量本地振荡器信号测试部分的调制边带之间的相差来确定。可以不用光学混合而用电混合来实现频率转变。