温度调节单元
    33.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113853513B

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202080037185.7

    申请日:2020-05-19

    Abstract: 本发明的温度调节单元(1)包括:温度调节单元本体(2);温度调节部(3),其设置在温度调节单元本体(2)的内部,对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温;以及薄膜测温电阻部(4),其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内,并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧,由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。

    熔融金属浴用部件
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115151677B

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202180015706.3

    申请日:2021-02-08

    Abstract: 本发明的熔融金属浴用部件(20)在基材(100)的表面形成有下层部(21),在该下层部(21)的表面形成有陶瓷热喷涂皮膜作为成为最表层的上层部(22),该陶瓷热喷涂皮膜以非氧化物陶瓷为主成分,分散含有氧化物陶瓷,并且含有5~35wt%的氧,可以长时间维持优异的耐熔融金属性和耐磨性。

    新型的钨系喷镀覆膜和用于获得其的喷镀用材料

    公开(公告)号:CN115244209B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202180019377.X

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 提供一种新型的钨系喷镀覆膜和用于获得该喷镀覆膜的喷镀材料,所述钨系喷镀覆膜适合作为使用卤素气体的等离子体蚀刻装置用构件等。一种喷镀覆膜和具有该喷镀覆膜的等离子体蚀刻装置用构件,所述喷镀覆膜的特征在于,其含有钨作为基质相,且含有包含硅和硼的氧化物作为分散相。一种喷镀用材料,其特征在于,其包含1~7重量%的硅、0.5~3重量%的硼,且包含钨和不可避免的杂质作为余量。一种喷镀该喷镀用材料来制造喷镀覆膜的方法。

    炉底辊
    36.
    发明公开
    炉底辊 审中-实审

    公开(公告)号:CN116137871A

    公开(公告)日:2023-05-19

    申请号:CN202180054200.3

    申请日:2021-08-24

    Abstract: 本发明的炉底辊100可以抑制积瘤,外表面具备致密且具有耐久性的皮膜,表面覆盖有由陶瓷喷涂皮膜构成的上层部30、以及位于上层部30的下层的由金属陶瓷喷涂皮膜构成的下层部20,该金属陶瓷喷涂皮膜由陶瓷和耐热合金形成,作为该上层部30的陶瓷喷涂皮膜以碳化铬为主要成分,分散含有氧化铬,并且含有5~35wt%的氧。

    新型的钨系喷镀覆膜和用于获得其的喷镀用材料

    公开(公告)号:CN115244209A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202180019377.X

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 提供一种新型的钨系喷镀覆膜和用于获得该喷镀覆膜的喷镀材料,所述钨系喷镀覆膜适合作为使用卤素气体的等离子体蚀刻装置用构件等。一种喷镀覆膜和具有该喷镀覆膜的等离子体蚀刻装置用构件,所述喷镀覆膜的特征在于,其含有钨作为基质相,且含有包含硅和硼的氧化物作为分散相。一种喷镀用材料,其特征在于,其包含1~7重量%的硅、0.5~3重量%的硼,且包含钨和不可避免的杂质作为余量。一种喷镀该喷镀用材料来制造喷镀覆膜的方法。

    表面改性部件的制造方法
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107849677B

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201680042893.3

    申请日:2016-06-27

    Abstract: 本发明提供一种表面改性部件的制造方法,该制造方法包括:在基材上形成喷涂覆膜的工序;对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序;以及对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。

Patent Agency Ranking