一种光学元件缺陷检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN113686903A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202111094288.X

    申请日:2021-09-17

    Abstract: 本发明公开了一种光学元件缺陷检测系统及检测方法,包括床身支撑模块、隔振模块、定位夹持模块、缺陷检测模块、缺陷分析模块、扫描运动模块和电气控制模块,每个模块完成相应的功能,具体工作步骤包括:开启设备及软件、系统初始化设置、设置系统参数、放置被测样品、设置测量参数、样品扫描测试、检测数据采集、缺陷类型分析、缺陷特性评价和结果输出系统关闭。本发明解决了人工检验可能由于某些人员原因导致的缺陷形貌误判和缺陷定位错误,降低了缺陷定位错误发生率,进一步提高了大口径光学元器件的缺陷检测准确率。

    一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法

    公开(公告)号:CN113211351A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202110530025.2

    申请日:2021-05-14

    Abstract: 本发明公开了一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法,所述装夹装置包括真空吸附基体、若干柔性支撑单元、双通道旋转接头、气管、顶圈、密封圈、自定心卡盘和高精度数控回转台;其中真空吸附基体通过自定心卡盘固定于高精度数控回转台上,其外侧壁均匀分布若干柔性支撑单元;真空吸附基体沿轴线方向设有通孔,通孔与柔性支撑单元之间的间隙形成真空吸附通道;通孔一端通过螺纹与双通道旋转接头的通道I连接;通孔的内壁上均匀布设有沿径向且与双通道旋转接头的通道II连接的放射性通孔。本发明通过“吸+撑”方式实现装夹,以解决现有深矢高非球面元件与装夹装置无法完全贴合、装夹精度低及存在装夹应力的问题。

    金属锡盘的位移补偿车削方法

    公开(公告)号:CN109676155B

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201910079068.6

    申请日:2019-01-28

    Abstract: 本发明提供一种高精度的大口径金属锡盘的位移补偿车削方法。金属锡盘的位移补偿车削方法,车刀在平移过程中增加竖直方向的位移,并通过位移补偿来实现车削结果的主动控制。本发明针对一般精度的平面研磨抛光设备,通过增加车刀在竖直方向的位移功能,实现车刀进给过程中的位移补偿,进而实现车削结果的主动控制,能通过2‑3次迭代实现盘面的高精度车削;低精度的平面研磨抛光设备可以达到和高精度设备同等的车削精度,并能够适应不同尺寸抛光盘的车削要求,车削原理简单,效率较高。

    抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法

    公开(公告)号:CN106736996B

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201710198817.8

    申请日:2017-03-29

    Abstract: 本发明提供一种抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法,抛光工具包括转接部件、工具底座、粘弹性柔性介质、柔性介质厚度调节螺钉、橡胶囊和设置于所述橡胶囊表面的抛光模层。抛光工具通过转接部件连接于数控机床,工具底座为圆环状。柔性介质厚度调节螺钉可活动地内嵌于所述工具底座,橡胶囊盖合于所述工具底座,使工具底座、柔性介质调节螺钉与橡胶囊之间形成密封腔,密封腔内填充满粘弹性柔性介质。非球面元件表面波纹去除方法通过改变抛光工具中的粘弹性柔性介质的种类和厚度,既能够使抛光工具与待加工非球面元件的表面相吻合,又能够对非球面表面波纹进行去除。

    光学超精密加工磨削液智能监测报警装置及方法

    公开(公告)号:CN109746836A

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201910143074.3

    申请日:2019-02-26

    Abstract: 本发明涉及光学超精密加工磨削液智能监测报警装置及方法,包括控制器,其内部预设有磨削试验台各工况下许用的磨削液的液位值、温度值、压力值及流量值;数据采集模块,其安装于磨削试验台中与控制器电性连接,并用于采集磨削试验台磨削液上述信号;报警输出模块,控制器电性连接报警输出模块,报警输出模块与磨削试验台的控制系统可转换电性连接或断开连接;控制器根据数据采集模块采集的磨削试验台磨削液的上述信号并与其内部预设许用值比对,低于或高于预设值,控制器均控制报警输出模块报警;加工工件时报警输出模块与磨削试验台的控制系统电性接通,磨削试验台的控制系统控制磨削试验台的主轴抬起远离加工工件表面,保护工件安全。

    小口径光学元件的装夹装置及其方法

    公开(公告)号:CN109333234A

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201811476382.X

    申请日:2018-12-03

    Abstract: 本发明提供一种稳定性好的小口径光学元件的装夹装置及其方法。小口径光学元件的装夹装置,包括基板、陶瓷环、之形连接板、挡块、调节螺钉、陪抛片和分离器,所述陪抛片的数量与元件的侧面数量相匹配;所述挡块的数量与所述陪抛片的数量一致;所述陪抛片平放在基板上;所述挡块侧面设置有调节螺钉,用于固定陪抛片与元件的相对位置;所述陶瓷环和分离器通过之形连接板连接在一起;所述分离器的中心开孔,用以放置所述挡块。本发明通过陪抛片将元件紧密联合,可以实现小口径元件的快速装夹,能够适应不同外形及尺寸的元件,稳定性好,改善了小口径元件加工精度控制难、效率低的问题。

    大口径非球面光学元件平面返修一维调节装置

    公开(公告)号:CN108673441A

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201810713421.7

    申请日:2018-07-03

    CPC classification number: B25H1/10

    Abstract: 本发明提供一种大口径非球面光学元件平面返修时,使该平面与水平面平行的一维调节装置。大口径非球面光学元件平面返修一维调节装置,包括一维调节组件、平台和元件固定安装组件;一维调节组件与平台的底面配合,包括底座、楔块调整机构和回转机构,楔块调整机构和回转机构分布在底座上相对的两边,楔块调整机构带动回转机构旋转,使平台绕回转机构旋转,与水平面形成一个夹角;元件固定安装组件与平台的上表面连接。本发明通过调整楔块与横梁的相对位置,使回转机构旋转,实现平台的一维调节,使得大口径非球面元件平面返修时平面在与进给方向垂直的方向保持水平,这样加工出来的平面才能满足面形要求,同时本发明结构简单,刚度高,调整精度高。

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