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公开(公告)号：CN106645197A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611233039.3
申请日：2016-12-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/94
CPC classification number: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，包括：箱体，其顶部设置有可供激光进入的入光口；设置在箱体内部的光学元件；其中，所述光学元件的镜框边缘上方相对设置有2个线光源；所述箱体一侧设置有光学显微成像装置；所述成像装置通过与其通信连接的上位机进而实现对光学元件表面颗粒物的在线检测。本发明提供一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，其能够通过光学元件与线光源，上位机与光学显微成像装置的配合，实现对光机装置中光学元件表面颗粒污染物的在线监测，并高效、高精度地实时提供光学元件表面洁净状态信息。本发明提供一种应用检测系统的方法。
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公开(公告)号：CN104941961B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510376011.4
申请日：2015-07-01
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种采用激光清洗金属管道的机器人，所述的机器人包括轮式小车、连接部件、机柜。轮式小车包含激光输出部件、摄像部件、吸尘机构；连接部件包含光纤、电缆、数据线、吸尘管；机柜包含激光器、光纤耦合器、电源驱动部件、水冷机、吸尘器、工业计算机。激光从激光器输出，经光纤耦合器耦合进光纤，通过光纤传输至轮式小车搭载的激光输出部件中的光纤准直系统后，再通过激光输出部件中的扫描振镜及旋转辅助部件从而输出可360°旋转的线形光斑。利用线形光斑360°旋转扫描金属管道内壁，达到清洗管道的目的。本发明用于对金属管道进行在线洁净处理，从而实现对金属管道的在线洁净维持。
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公开(公告)号：CN105750272A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610245993.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC classification number: B08B7/0007 , B08B7/0021 , B08B13/00
Abstract: 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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公开(公告)号：CN105261919A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510829943.X
申请日：2015-11-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: H01S3/042 , H01S3/0941 , H01S3/16
Abstract: 本发明提供一种渐变掺杂低温氦气冷却的掺镱钇铝石榴石叠片激光放大器，包括泵浦模块、耦合透镜模块、双色镜模块、增益介质模块，所述增益介质模块采用组合式薄片渐变掺杂激光增益介质，且与激光通光方向垂直正交放置，所述泵浦模块包括平面二极管阵列泵浦源一和平面二极管阵列泵浦源二，分别置于增益模块两侧对其端面泵浦。本发明利用组合式薄片渐变掺杂激光增益介质和变化掺杂包边介质、二极管端面泵浦、低温高压氦气主动冷却，有效地降低了放大自发辐射、阻止了寄生振荡的产生，提高了储能效率，同时减少了废热生成，匀滑了介质内的温度分布，进一步提高了热管理效果，有利于实现高重复频率、高能高功率和高光束质量的激光输出。
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公开(公告)号：CN103487362B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201310484490.2
申请日：2013-10-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N15/14
Abstract: 本发明提供了一种激光粒子测量探头。所述的激光粒子测量探头通过法兰盘固定在密闭容器或真空容器的坚固外壳上，法兰盘连同法兰盘上的窗口玻璃将密闭容器或真空容器与外部环境隔离，并将主要的光学器件、机械部件、电子学器件隔离在密闭容器或真空容器外，避免污染被测容器内部环境；激光光束经光束整形模块后成为分布均匀、厚度为0.5mm~1mm的线形激光光束。激光光束被悬浮颗粒物质散射，聚光透镜聚拢散射激光至光电转换器件受光表面，光电转换器件将收集到的光信号转变成电信号待用。本发明有效地解决了真空容器和密闭容器内部悬浮颗粒实时监测问题。本发明结构简单，使用方便，可广泛用于固体激光装置光传输通道内部环境的实时监测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104483098A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410672266.0
申请日：2014-11-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种晶体匹配角离线测量误差实时修正方法，应用激光自准直仪监测晶体匹配角测量过程中入射激光漂移角度，若激光漂移角度大于预设阈值0.4″则舍去该角漂过大的测量数据，应用自准直仪监测晶体测量过程中待测晶体发生的旋转角度偏差，将其中保留的旋转角度偏差代入进匹配角计算中。其显著效果是：通过自准直仪对测量过程中光路基准偏移和光学角漂进行实时修正，并在晶体匹配角测量过程中的对动态误差进行了修正，改变了过去只针对基准的静态误差修正情况，保证了晶体匹配角测量的精确性，可以最大程度消除大口径晶体离线测量系统中的动态测量误差。
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公开(公告)号：CN104316496A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410612152.7
申请日：2014-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/47
Abstract: 本发明提供了一种高功率激光器中的油脂污染物监测装置及其监测方法，所述装置中的激光发生装置通过2×2耦合器Ⅰ，将所发生的激光分成两路，一路作为信号光依次输入至2×2耦合器、1×4耦合器、镀膜微纳光纤阵列、4×1合束器、2×1合束器、信号光探测器，另一路作为参考光输入至用于检测参考光强度的参考光探测器。信号光探测器依次与放大器、差分器、AD转换器、锁相调制器、微型计算机电连接。本发明的监测装置及监测方法通过微纳光纤镀膜材料折射率改变，影响其表面倏逝波的传输特性。本发明精度较高、能够用于真空监测环境、二次污染少，能够满足对油脂类污染物监测的特殊要求，能够实现易集成、易扩展、灵敏度高、准分布及实时在线测量。
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公开(公告)号：CN103278128A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310185152.9
申请日：2013-05-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 西南科技大学
IPC: G01B21/22
Abstract: 本发明公开了一种快速的KDP晶体最佳匹配角精确测量方法，包括以下步骤：A1单点调谐曲线的快速测量；A2、晶体全口径的最佳匹配角计算方法；采用快速搜索策略，在最佳匹配角附近获取该测量点在不同角度下的相对转换效率，从而拟合该点的调谐曲线。采用各单点的相对转换效率总和最大规则求取晶体全口径的最佳匹配角。本发明的方法针对现有测量系统存在测量速度慢、计算晶体最佳匹配角存在误差等问题，实现了对KDP晶体最佳匹配角的快速、准确测量。
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公开(公告)号：CN102507596A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110365740.1
申请日：2011-11-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统。在该检测系统中，被监测的光学元件与激光器、导向镜、光电探头之间不做相对运动，仅依靠导向镜的二维转动实现对光学元件表面的逐点主动扫描，并在扫描过程中实时改变光束的焦点位置使其始终落在光学元件表面上。该系统能够满足高功率固体激光装置中强光辐照环境、高真空环境以及狭窄空间中的光学元件在线监测，本发明的系统结构简单，使用灵活，应用范围广泛。
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公开(公告)号：CN113720850B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202110822801.6
申请日：2021-07-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/88 , G01N21/64 , G01N21/01 , G06T3/4038
Abstract: 本发明公开了一种少量离散缺陷图像的精确拼接方法，包括构建缺陷检测装置；选取一光学元件的样品，找出一能激发荧光的点作为标记点；将样品安装在样品台上，表面分为数个成像区域，采用缺陷检测装置对样品扫描成像得到每个成像区域的子孔径散射图像与子孔径荧光图像；再图像拼接。本发明采用了散射成像与荧光成像双通道技术实现散射信号与荧光信号的同步、原位成像，充分利用散射图像特征点较多的特点，进行大视场全孔径图像拼接，解决了定位不准的问题，还提高了检测效率，尤其是对大尺寸光学元件的亚表面缺陷检测，可以使图像采集与图像处理同步进行，进一步节约时间成本，实现熔石英元件表面、亚表面缺陷的快速、高精度筛选表征。
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