公开(公告)号：CN101644895A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200910160590.3

申请日：2009-08-04

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 嶋田雅彦 ,  桥本和彦 ,  山口训史 ,  金淳信 ,  高田佳幸 ,  平冈崇志

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

Abstract: 本发明提供了一种化学增幅正性抗蚀剂组合物，其包含：包含由结构式(I)表示的结构单元的树脂，其中，R1代表氢原子、卤素原子、C1-C4烷基或C1-C4全氟化烷基；Z代表单键或-(CH2)k-CO-X4-，k代表1至4的整数；X1、X2、X3和X4各自独立地代表氧原子或硫原子；m代表1至3的整数；而n代表0至3的整数；以及产酸剂。

公开(公告)号：CN101261448A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810083427.7

申请日：2008-03-05

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  高田佳幸 ,  山本敏

IPC: G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C309/06 ,  C07C309/17 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/20 ,  C07D307/77 ,  C07D309/10 ,  C07D333/46 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)由式(I)表示的盐，(B)由式(II)表示的盐和(C)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中式(I)和式(II)中的Q1、A+、R22、Q3、Q4和A'+具有与权利要求和说明书中定义的相同含义。

公开(公告)号：CN101196687A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200710193315.2

申请日：2007-12-03

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  山本敏 ,  安藤信雄

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)式(Ⅰ)表示的盐；(B)式(Ⅱ)表示的盐；和(C)树脂，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，式(Ⅰ)中，R21表示可被取代的C1－C30烃基等，Q1和Q2各自独立表示氟原子等，且A+表示选自式(Ⅰa)表示的阳离子、式(Ⅰb)表示的阳离子和式(Ⅰc)表示的阳离子中的至少一种有机阳离子；式(Ⅰa)中，P1－P3各自独立地表示C1－C30烷基等；式(Ⅰb)中，P4和P5各自独立表示氢原子等；式(Ⅰc)中，P10－P21各自独立表示氢原子等，B表示硫或氧原子，且m表示0或1；式(Ⅱ)中，R22表示C1－C30烃基等，Q3和Q4各自独立表示氟原子等，并且A’+表示式(Ⅱa)表示的有机阳离子；式(Ⅱa)中，P6和P7各自独立表示C1－C12烷基等，P8表示氢原子，P9表示C1－C12烷基等。

公开(公告)号：CN1971421A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610149463.X

申请日：2006-11-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  原田由香子 ,  吉田勋

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1955846A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610142477.9

申请日：2006-10-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 吉田勋 ,  原田由香子 ,  山口训史

IPC: G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C25/18 ,  C07C309/17 ,  C07C2601/14 ,  C07C2602/42 ,  C07D333/46 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或双环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有2至6个碳原子的烯基、含有2至6个碳原子的烷氧基或含有1至4个碳原子的全氟烷基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示1至12的整数。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合 物。

公开(公告)号：CN1841200A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610077419.2

申请日：2006-03-28

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 吉田勋 ,  原田由香子 ,  山口训史 ,  安藤信雄

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C2603/74

Abstract: 本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表－CO－基团或－C(OH)－基团；环X代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是－C(OH)－基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是－CO－基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1－6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。

公开(公告)号：CN1673861A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510056001.9

申请日：2005-03-21

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 户石好治 ,  高田佳幸 ,  山口训史

IPC: G03F7/004 ,  C23F1/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：树脂，所述的树脂含有具有酸不稳定基团的结构单元且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液且通过酸的作用而变成在碱性水溶液中可溶的；酸生成剂；和式(C－1)的化合物，其中R1和R2各自独立地表示氢或含有1至4个碳原子的烷基，R3、R4和R5各自独立地表示氢或羟基。