-
公开(公告)号：CN105102868A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480009481.0
申请日：2014-02-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/03 , F16K27/003 , F16K37/0025 , G01K13/02 , G01M3/002 , G05D23/22 , F16K37/005 , F16K27/00 , F16K31/002 , G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，其能够有效利用流体控制装置上的空间，通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。流体控制装置(1)具备彼此相邻的第1流体控制器(3)及第2流体控制器(4)，以及测定在第1流体控制器(3)内流动的流体的温度的热传感器(17)。流体控制装置(1)还具备安装在第2流体控制器(4)上，支承热传感器(17)的支承部件(19)。
-
公开(公告)号：CN113366251A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011998.9
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。
-
公开(公告)号：CN112955685A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980070752.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。
-
公开(公告)号：CN109791099B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
-
公开(公告)号：CN109312874B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201780039076.7
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111316026A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071444.0
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。
-
公开(公告)号：CN111201396A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880066457.9
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能准确且简便地诊断阀的动作异常。能探测动作异常的阀(V1)具备：磁铁(M1)，安装于随着阀(V1)的打开关闭动作进行滑动的阀杆(53)的按压适配器(52)附近；以及磁性传感器(M2)，安装于对隔膜(51)的周缘进行按压的按压适配器(52)的内侧的与阀杆(53)对置的面，检测与磁铁(M1)之间的距离变化。进而，异常判定单元将由磁性传感器(M2)检测出的异常诊断时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化与预先测量出的正常时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化进行对比，来判定异常的有无。
-
公开(公告)号：CN109563942B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780039064.4
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。
-
公开(公告)号：CN110914773A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201880032768.3
申请日：2018-05-15
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 在由流体控制器具等多个部件构成的半导体制造装置中，管理者能够直观地识别各部件。此外，能够容易理解地向管理者提供所识别的部件的信息。在管理者终端(3)和信息处理装置(2)被构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信的系统中，管理者终端(3)从信息处理装置(2)接收半导体制造装置(1)的部件信息。利用确定处理部(32)针对半导体制造装置(1)的拍摄图像确定构成半导体制造装置(1)的部件的位置时，利用合成处理部(33)针对拍摄图像生成使部件信息与所确定的部件的位置合成而成的合成图像，利用图像显示部(34)显示合成图像。另一方面，信息处理装置(2)参照部件信息存储部(2A)，由提取处理部(21)提取部件信息，对管理者终端(3)发送部件信息。
-
公开(公告)号：CN109791099A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780032276.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N9/26
CPC classification number: G01N9/26
Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
42
records
(took 0.027 seconds)
