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公开(公告)号：CN108768203A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810907277.0
申请日：2018-08-08
Applicant: 清华大学
CPC classification number: H02N1/04 , B32B1/08 , B32B15/046 , B32B15/08 , B32B15/088 , B32B15/12 , B32B27/06 , B32B2262/04 , B32B2266/10 , B32B2266/14 , B32B2307/204
Abstract: 本发明涉及一种三维环状摩擦发电装置，属于发电技术领域。包括上盖板、N个旋转筒、动力输入轴、径向位置调节杆，旋转筒连接块和下盖板。动力输入轴插入上盖板和下盖板，旋转筒连接块固定在动力输入轴上，N个旋转筒为支撑结构，N个旋转筒围绕旋转筒连接块沿圆周均布，N个旋转筒通过径向位置调节杆与旋转筒连接块连接，动力输入轴将动力传递至旋转筒连接块，旋转筒连接块通过径向位置调节杆带动N个旋转筒在上盖板1和下盖板相互连接后形成的环状柱空间内沿圆周作周期性旋转运动。本发明装置，提升单位空间产生的电荷量，利用上径向摩擦平面和轴向圆周摩擦面，增加摩擦面积，进而提升摩擦产生的电荷量。而且本发明装置的结构紧凑，便携性好。
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公开(公告)号：CN105241599B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201510743907.1
申请日：2015-11-05
Applicant: 清华大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。
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公开(公告)号：CN107019617A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710206787.0
申请日：2017-03-31
Applicant: 清华大学
CPC classification number: A61H1/00 , A61B5/4023
Abstract: 本发明公开了一种坐位平衡康复训练机器人及其控制方法。包括座椅结构、滑槽四连杆传动结构、主轴传动结构、主轴倾斜角度传感器和曲柄转角传感器，座椅结构包括支撑扶手架、靠枕、靠背、支撑坐垫等，滑槽四连杆传动结构包括摇杆、减速机支架、曲柄、滑槽连杆、步进减速机和步进电机等，主轴传动结构主要包括传动主轴、主轴支座、挡圈、扭簧、主轴定位块等。通过主轴倾斜角度传感器记录和测量患者倾斜角度，实时反馈控制电机转速和转向，通过靠背、扶手等辅助系统推动患者，实现将患者扶正；通过角度传感器，实时反馈控制电机反转复位，通过摇杆与滑槽连杆脱开，将电机曲柄复归零点位置。
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公开(公告)号：CN106038178A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610529902.3
申请日：2016-07-06
Applicant: 清华大学
CPC classification number: A61H3/04 , A61H1/0262 , A61H3/02 , A61H2003/005 , A61H2003/007 , A61H2003/043 , A61H2003/046 , A61H2201/1207 , A61H2201/14 , A61H2201/1638 , A61H2201/1642 , A61H2201/165 , A61H2201/1657 , A61H2205/10 , B25J9/0006
Abstract: 本发明涉及一种截瘫康复外骨骼装置，该装置包括外骨骼和肘拐，其中外骨骼主要包括电源及控制电路模块和足底驱动模块，肘拐主要包括肘拐遥控器和肘拐管身。本发明的外骨骼装置采用足底轮式驱动，行走过程中双脚始终不离地，克服了关节驱动型外骨骼步态中的摆动相问题；辅以带有遥控器的肘拐辅助平衡，通过控制左右手按压按键的幅度及按压时间，实时掌控行走时的步长、步频、步速等步态参数。本发明的外骨骼装置以较为精简的结构实现截瘫康复的直立和交替行走两项要求。
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公开(公告)号：CN104046964B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410310128.8
申请日：2014-07-01
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/46
Abstract: 本发明涉及电磁感应加热领域，特别涉及一种热功率密度径向分布可调的电磁感应加热装置，该装置主要由加热基座、基本线圈、叠加线圈、线路切换装置等组成。基本线圈匝数、各匝高度、各匝间距均可调，叠加线圈位于基本线圈正下方，由多层多匝平面线圈串联而成，最上层线圈最内匝的末端与基本线圈最内匝的末端相连，各匝线圈的高度可调。线路切换装置使交流电路存在两种反复交替变换的子状态，子状态各自的持续时间可调节，各子状态热功率密度分布配合不同的权重叠加得到不同交流电路合状态在加热基座中产生的热功率密度分布，大幅减少了仿真工作量。本发明对于研究衬底温场与加热基座热功率密度场间内在联系及灵活调节衬底温度分布有重要意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103572239B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310575131.8
申请日：2013-11-15
Applicant: 清华大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了属于电子机械领域的一种提高偏心旋转磁控溅射系统的准直性方法，该方法为：1）在具有小面积运动磁控管的SIP溅射腔室外部贴近壁面处添加辅助磁极，并设置辅助磁极的布置方式，确定相关结构参数，使辅助磁极在SIP溅射腔室内部产生轴向磁场；2）根据磁控管的结构特征确定任一时刻辅助磁极的通电方式；3）根据磁控管的运动特性设置辅助磁极不同时刻的通电组合切换规律。本发明通过在SIP溅射腔室外添加辅助磁极，产生了与磁控管形状相匹配的轴向磁场，在不同时刻采用不同的通电组合，可对不同区域提供局部轴向磁场，提高了溅射粒子的离化率，提高了离子飞向基片的准直性，减少侧壁损失，改善对高深宽比图形的镀膜效果。
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公开(公告)号：CN103376176B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310251181.0
申请日：2013-06-21
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种测量静电卡盘的静电力的装置，包括：真空腔体、静电卡盘、测力传感器、动力装置和测距传感器。具体而言，所述静电卡盘设在所述真空腔体内；所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测力传感器适于连接晶片；所述动力装置设在所述真空腔体上，且所述动力装置与所述测力传感器相连；所述测距传感器设在所述真空腔体内。根据本发明实施例的测量静电卡盘的静电力的装置，可以获得更加完整精确的数据。在采用静电卡盘生产集成电路的过程中，可以有效的调节静电力，从而提高生产效率和质量。
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公开(公告)号：CN103966550A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410154930.2
申请日：2014-04-17
Abstract: 本发明公开了一种用于薄膜沉积工艺的装置，包括：外壳；多孔喷淋头，多孔喷淋头设在外壳内并将外壳内部间隔出位于多孔喷淋头上方的第一腔室和位于多孔喷淋头下方的第二腔室；第一导向叶片，第一导向叶片可旋转地设在第一腔室内的上部；第二导向叶片，第二导向叶片设在第一腔室内并邻近多孔喷淋头设置，第二导向叶片可绕竖直方向旋转；以及升降座。根据本发明的用于薄膜沉积工艺的装置，通过在外壳内部增设第一和第二导向叶片，使进入到第一腔室内的流体先后经过第一导向叶片和第二导向叶片，进行两次混气和调速后，以预定的速度和方向通过喷淋头孔、由多孔喷淋头流出，进入到第二腔室内，从而提高了晶片表面流场的均匀性，加快了沉积速率。
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