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公开(公告)号：CN102439844B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201180001810.3
申请日：2011-03-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种MEMS振荡器，包括：振荡部，该振荡部具备包括MEMS谐振器和放大器的反馈型振荡电路、和自动增益控制器，该自动增益控制器接收来自放大器的输出并基于该输出的电平按照将来自放大器的输出的电平确保为固定的方式控制放大器的增益，该振荡部将来自放大器的输出作为原振荡信号来输出；和修正部，输入原振荡信号，根据原振荡信号生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，修正部从振荡部输入不同于原振荡信号的、包括与MEMS谐振器的增益相关的信息在内的信息信号，并基于信息信号修正原振荡信号的频率来生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出。
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公开(公告)号：CN102449906B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201180002256.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , B81B3/00 , B81B7/0077 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H9/2447
Abstract: 本发明的MEMS元件具有：在包括基板(1)、封装薄膜(7)、在垂直于基板(1)的表面的方向上隔着间隙而具有相互重叠的区域的、梁状结构体的可动部(3)和电极(5)；以及在基板1和封装薄膜(7)之间具有隔着电极(5)而形成的第一和第二空腔，其中，在垂直于基板表面的方向上，在可动部3侧中将空腔设为第一空腔(9)，将另一个空腔设为第二空腔时，在平行于基板表面的方向上，将第一空腔(9)与电极(5)接触的侧壁(A)的内侧表面(a)配置成比第二空腔(10)与侧壁(B)的电极(5)接触的内侧表面(b)更靠内侧，从而即使从封装薄膜(7)的外侧施加了机械应力，可动部(3)和电极(5)也不会碰撞。
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公开(公告)号：CN102668358B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201080058299.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N1/08
Abstract: 本发明提供一种振动发电器，能够省略/简化从被可动地保持的基板的布线。该振动发电器包括：第1基板；第1电极，其配置在第1基板的下面，包括保持电荷的膜；第2基板，其与第1基板分离，且与第1基板的下面对置地进行配置；第2电极，其按照与第1电极相对置的方式配置在第2基板的上面；第3电极，其配置在第1基板的上面，包括保持电荷的膜；第3基板，其与第1基板分离，且与第1基板的上面对置地进行配置；和第4电极，其按照与第3电极相对置的方式配置在第3基板的下面，第1电极具有的保持电荷的膜、第3电极具有的保持电荷的膜保持不同极性的电荷，还包括恢复力发生部件，该恢复力发生部件在没有外力作用于第1基板时将第1基板保持在规定位置，在外力作用于第1基板使得第1基板相对于第2基板移动时提供使第1基板返回至规定位置的恢复力。
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公开(公告)号：CN102959851B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280001754.8
申请日：2012-05-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H02N1/08
CPC classification number: H02N1/08
Abstract: 本发明的振动发电器由第1基板(102)、被配置为与其对置的第2基板(103)、形成于第1基板上的第1电极(104L、104R)、第1电极(106)、形成于第2基板上的第2电极(105L、105R)、第2电极(107)构成，在第1电极以及第2电极保持同极性的电荷，按照在第1基板(102)处于静止过程中或振动过程中时对第1电极(104L(104R))的重心和第2电极(105L(105R))的重心进行连接线段与从第2电极(105L(105R))的重心起平行于第2基板的主表面而延伸且向着静止状态的第1电极(104L(104R))延伸的射线所形成的角度不超过55度的方式，第1基板振动。
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公开(公告)号：CN102439844A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201180001810.3
申请日：2011-03-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种MEMS振荡器，包括：振荡部，该振荡部具备包括MEMS谐振器和放大器的反馈型振荡电路、和自动增益控制器，该自动增益控制器接收来自放大器的输出并基于该输出的电平按照将来自放大器的输出的电平确保为固定的方式控制放大器的增益，该振荡部将来自放大器的输出作为原振荡信号来输出；和修正部，输入原振荡信号，根据原振荡信号生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，修正部从振荡部输入不同于原振荡信号的、包括与MEMS谐振器的增益相关的信息在内的信息信号，并基于信息信号修正原振荡信号的频率来生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102227868A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201080003350.3
申请日：2010-06-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H02N1/08
Abstract: 本发明提供振动发电器、振动发电装置以及搭载振动发电装置的通信装置。该振动发电装置具备振动发电器(200)、整流电路桥(205)、输出控制电路(201)、负载电路(202)、频率检测电路(204)，通过检测振动发电器(200)的频率，与频率相应地控制输出控制电路(101)的阻抗，从而能够高效地取出振动发电装置(200)的发电电力。
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公开(公告)号：CN101228691B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200680026521.8
申请日：2006-08-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/17 , H03H3/02 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/0514 , H03H9/13 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H2003/025 , Y10T29/42
Abstract: 压电谐振器具备：由压电薄膜构成的压电体层(101)；第一电极(102)，形成在压电体层(101)的一个主面上，并且其断面具有将与压电体层(101)相接的一侧作为长边的台形形状；及第二电极(103)，形成在压电体层(101)的另一个主面上，并且其断面具有将与压电体层(101)相接的一侧作为长边的台形形状。
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公开(公告)号：CN100566154C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200680021599.0
申请日：2006-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/0004 , H03H9/0207 , H03H9/02157 , H03H9/564
Abstract: 在平衡-不平衡型多模薄膜弹性波谐振器滤波器(100)中，第1下部电极(102)的面积，与第2及第3下部电极(104、106)和将第2及第3下部电极(104、106)分离的区域的合计面积大致相等。第1上部电极(103)的面积，与第2及第3上部电极(105、107)和将第2及第3上部电极(105、107)分离的区域的合计面积大致相等。第3下部电极(106)与第2上部电极(105)、以及第3上部电极(107)与第2下部电极(104)分别对置地配置。第2下部电极(104)的一部分与第2上部电极(105)的一部分对置地配置。
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公开(公告)号：CN100563101C
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200680023789.6
申请日：2006-06-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 在基板部(40)与第2支承部(20)之间设有第1支承部(30)。该第1支承部(30)通过由具有比压电体(11)及基板部(40)高的声阻抗的材料形成的膜、或者由Q值比压电体(11)及基板部(40)小的材料形成的膜等构成。通过该第1支承部(30)的插入，从第2支承部(20)朝向基板部(40)的振动的大半被反射(箭头(a))，并且防止从第2支承部(20)向基板部(40)传递的振动被基板部(40)的底面反射而向振动部(10)的方向返回(箭头(b))。
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公开(公告)号：CN100508385C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200410078531.9
申请日：2004-09-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/171 , H03H9/568
Abstract: 本发明提出了一种能够有效的抑制寄生分量并具有优良的频率特性的改良的薄膜体声波谐振器，包括：一层压电薄膜和一对将压电薄膜插入在其中的电极。压电薄膜包括从由一对电极和压电薄膜所构成的谐振器部分的周围的至少部分区域向外延伸的外围区域。该外围区域包括，在其至少部分区域中，包括用于阻尼声波的声阻尼区域。其中，直接位于声阻尼区域下的任何元件都具有比谐振器部分的一对电极中的下电极更粗糙的表面，在压电薄膜中，声阻尼区域采用与不是声阻尼区域的任何区域相同的材料构成，该声阻尼区域具有比不是声阻尼区域的任何区域都低的可结晶性。
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