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公开(公告)号：CN111133239A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880062388.4
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。
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公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN110730869A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN110709634A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880036391.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有：块状的阀体(30)；壳体(11)，其为筒状，其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构，该壳体与阀体(30)连接，自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸；以及保护构件(50)，其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接，用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。
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公开(公告)号：CN108351062B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201680062176.7
申请日：2016-10-26
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 将硬度比配管的硬度高且是接头的硬度以下的第1环和硬度比接头的硬度高的第2环被配管插通。配管被插通到紧固部件中，配管的前端被插入到接头的第1凹部中。通过将紧固部件的螺纹部与接头的螺纹部螺合，被夹持在设置于接头的第1凹部上的第1接触面与设置在紧固部件的第2凹部上的第2接触面之间的第1环及第2环被朝向第1接触面推压，通过咬入到配管中而将配管固定。进而，被第1环及第2环固定的配管在推压力下向接头侧移动，将设置在接头的设置面上的节流孔板用配管的前端向设置面侧推压。由此，在将配管与配置节流孔板的接头连接的情况下，能够在包括节流孔板的多个部位保持接头内的流路的密闭性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109952459A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201780069196.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。
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公开(公告)号：CN105570576B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201510702996.5
申请日：2015-10-26
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L23/032
Abstract: 接头部件(2、3)由内周形成为通路的圆筒状套管(11)和作为与其分开的另外部件的法兰(12)构成。在设置在法兰(12)中央部的贯通孔(12a)中插入套管(11)的一端部。在法兰(12)上设置有从法兰(12)的侧面通向贯通孔(12a)外周的切口(17)。
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公开(公告)号：CN106164549B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201680000963.9
申请日：2016-02-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16K31/122
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。
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公开(公告)号：CN108351062A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680062176.7
申请日：2016-10-26
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 将硬度比配管的硬度高且是接头的硬度以下的第1环和硬度比接头的硬度高的第2环被配管插通。配管被插通到紧固部件中，配管的前端被插入到接头的第1凹部中。通过将紧固部件的螺纹部与接头的螺纹部螺合，被夹持在设置于接头的第1凹部上的第1接触面与设置在紧固部件的第2凹部上的第2接触面之间的第1环及第2环被朝向第1接触面推压，通过咬入到配管中而将配管固定。进而，被第1环及第2环固定的配管在推压力下向接头侧移动，将设置在接头的设置面上的节流孔板用配管的前端向设置面侧推压。由此，在将配管与配置节流孔板的接头连接的情况下，能够在包括节流孔板的多个部位保持接头内的流路的密闭性。
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公开(公告)号：CN106164549A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201680000963.9
申请日：2016-02-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16K31/122
CPC classification number: F16K7/17 , F16K31/122 , F16K31/1221 , F16K31/1225
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。
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