流路组件以及阀装置
    54.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111295544B

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN201880071418.8

    申请日:2018-10-24

    Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件,功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54),流路构件(52)具有凿紧部(52e_c),凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化,以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力,对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封,弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。

    致动器、阀、以及半导体制造装置

    公开(公告)号:CN110730870B

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201880037585.0

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备:致动器(20)以及阀杆(26),该制动器(20)具备:壳体,在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g);第一、第二活塞(31、34),在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c),设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2),通过驱动流体进行驱动;以及环状的第一、第二密封部件(33、36),具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B),并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭;该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动,能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。

    流体控制装置和流体控制装置的制造方法

    公开(公告)号:CN112997031A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201980071903.X

    申请日:2019-10-18

    Abstract: 提供一种流体控制装置和流体装置的制造方法,该流体控制装置在不减少流体的供给流量的情况下实现了进一步的小型化、集成化,也削减了组装工时。流体控制装置具有:接头块(20),其划定在上表面开口的流体流路,并且在底面侧具有卡合部;支承构件(50),其利用引导部(55)允许接头块(20)向长度方向的移动并且将该接头块(20)约束于该支承构件(50)的上表面;以及流体设备,其固定于接头块(20)的上表面,在该流体控制装置中,在支承构件(50)以柱塞(500)的顶端部从支承构件的上表面突出的方式设置一个以上的柱塞(500),在接头块的底面设有凹部,该凹部与所述柱塞(500)的顶端部卡合,由此,对接头块(20)的长度方向上的位置进行定位。

    阀、阀的阀芯单元的更换方法以及阀的组装方法

    公开(公告)号:CN112673204A

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN201980058334.5

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 提供一种能够容易地更换阀芯单元的技术。利用握把(8)产生的驱动力使杆(4)、嵌合圈部件(5)以及阀芯单元向阀座(2d)侧移动,通过按压更换环(7),更换环(7)一边缩径一边在阀盖(3)内移动,并且成为自由状态而向凸缘部(13B)落下,利用握把(8)产生的驱动力,使杆(4)、嵌合圈部件(5)、阀芯单元(10)以及更换环(7)向阀座(2d)侧的相反侧移动,从而使更换环(7)的上表面(7B)与阀盖(3)的下表面(3C)抵接,并且,在使凸缘部(13B)与更换环(7)抵接的状态下,利用握把(8)的驱动力,仅使杆(4)以及嵌合圈部件(5)向阀座(2d)侧的相反侧移动,通过连结部件(11)的连结槽(11c)使连结环(6)扩径,而构成为阀芯单元(10)从杆(4)脱离。

    阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法

    公开(公告)号:CN112469934A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201980049272.1

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本发明提供一种能够改善密封性能、小型化并且更加稳定地控制较大的流量的阀装置。所述阀装置具有:阀体(2);筒状构件(3),其设于收纳凹部(23)内且与第1流路(21)连通;阀座(48),其由筒状构件(3)支承;密封构件(49),其介于收纳凹部(23)的底面的第1流路(21)的开口周围与筒状构件(3)的下端部之间;环状板(11),其气密或液密地固定于在阀体(2)的收纳凹部(23)的内周面形成的环状的支承部(24)且气密或液密地固定于在筒状构件(3)的外周面形成的环状的支承部(37),具有与第2流路(22)连通的多个开口,且具有挠性;以及隔膜(41),其通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22)之间的连通以及切断。

    阀装置
    59.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111919053A

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201880091000.3

    申请日:2018-03-09

    Abstract: 本发明提供能够更加简单地对打开阀时的流量进行调整的阀装置。阀装置(1)具有:阀体(10),在其内部形成有第1流路(12)以及第2流路(13);阀芯(20),其通过关闭第1流路的开口而将第1流路和第2流路切断,并且通过打开第1流路的开口而使第1流路和第2流路连通;操作构件(40),其使阀芯在关闭开口的闭位置与打开开口的开位置之间移动;以及调整致动器(100),其限定操作构件的开位置,并且具有由根据电场的变化而发生变形的化合物形成的电驱动材料,通过电驱动材料的变形而使所限定的开位置发生变化。

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