公开(公告)号：CN102484091A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080039824.X

申请日：2010-08-02

Applicant: 村田自动化机械有限公司

Inventor： 小约瑟夫·约翰·法图拉 ,  弗鲁芒·伊利耶夫·杰亚诺夫 ,  帕布洛·冈萨雷斯 ,  罗伯特·卡尔松 ,  约翰·布鲁克斯·格林 ,  凯文·特索

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B66C17/04 ,  B65G1/04

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B66C1/663 ,  B66C11/06 ,  B66C17/04 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 一种运输机构，该运输机构构造成在制造设施中的缓冲器内运输工件承载器，该运输机构包括：运输机，该运输机构造成在两个轨道上行进，其中，该运输机包括：(i)平带提升机构，该平带提升机构构造成使一个或多个工件承载器升起和下降；以及(ii)抓持器机构，该抓持器机构构造成捕捉和释放一个或多个工件承载器。

公开(公告)号：CN102324397A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110283427.3

申请日：2007-06-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山本雄一 ,  山口忠之 ,  杂贺康仁 ,  山田善章

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/67225 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/7075 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67733 ,  Y10S414/135

Abstract: 本发明涉及衬底处理系统以及衬底搬送方法。衬底处理系统（100）具有主搬送线（20）和副搬送线（30），该主搬送线（20）是在系统的整体中进行晶片的搬送以及与各处理部的衬底交接的第一自动衬底搬送线，该副搬送线（30）是进行在光刻处理部（1a）内的晶片的搬送的第二自动衬底搬送线。副搬送线（30）设置成与主搬送线（20）独立的搬送系统，OHT（31）围绕形成为环状的副搬送线（30）移动，向光刻处理部（1a）内的各处理装置搬送晶片，在与各处理装置之间进行晶片的交接。

公开(公告)号：CN101041398B

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200710004224.X

申请日：2007-01-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 张珉九

IPC: B65G37/00 ,  B65G35/00 ,  B65G1/04 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供了一种沿轨道行进以传输并装载和/或卸载工件的传输系统，所述传输系统包括传输装置和一个或多个缓冲装置。所述传输装置设置有主体单元，以沿轨道行进；滑动单元，与主体单元结合以在传输位置和存储位置之间相对于主体单元相对移动；起重单元，与滑动单元结合以上下移动工件。所述缓冲装置设置在传输装置的行进路径的旁侧以支撑位于存储位置的工件，并设置有支撑部分，用于当滑动单元在传输位置和存储位置之间移动时支撑滑动单元。

公开(公告)号：CN101844672A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010157292.1

申请日：2010-03-17

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 小黑敬介 ,  藤田心裕 ,  竹本祐也

IPC: B65G35/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67715 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736

Abstract: 本发明提供一种物品搬送设备，该物品搬送设备不导致构成的复杂化和成本的提高，能够迅速地搬送物品，能够谋求搬送能力的提高。作为行走路径(S)，在第1连结路径之外，另外设置第2连结路径(27)，该第2连结路径的一端部连接到相对于主路径(20)而配置在一侧的副路径(21)，另一端连接到相对于主路径(20)而配置在另一侧的副路径(21)，途中部分横断主路径(20)，物品搬送车(3)构成为，能够沿着第2连结路径(27)从相对于主路径(20)而配置在一侧的副路径(21)通过作为与主路径(20)的连接处的交叉部(K)，并行走至相对于主路径(20)而配置在另一侧的副路径(21)。

公开(公告)号：CN101680084A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880018087.8

申请日：2008-05-09

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 罗伯特·Z·巴克拉克 ,  阿维·泰普曼 ,  亚历山大·S·波尔亚克

IPC: C23C16/00

CPC classification number: B25J15/0052 ,  B25J15/0226 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

Abstract: 本发明大致包含可用于自动化大量(high volume)批次工件制造体系的设备，包含在每小时可生产1,000或更多工件的高产率工厂体系中进行工件操作以及工件处理。这些工件可以堆叠供给至平行阵列形式提供给该设备使用。此外，这些工件可以阵列至阵列的批次传送方式在制造体系间进行传送。这些工件可以平行至平行的批次传送方式在制造体系间进行传送。机器化运作可在机器臂装置之间、机器臂装置与处理设备之间和处理设备内进行。

公开(公告)号：CN101456487A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200810185722.3

申请日：2008-12-08

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 加藤进

IPC: B65G47/74 ,  B65G49/00 ,  B66C11/00 ,  B66C7/00

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67775

Abstract: 本发明提供一种悬挂式暂存货架，在屋顶上以固定的间隔安装第1支撑部件，由第1支撑部件支撑下方具有水平开口的滑轨，在滑轨上安装第2支撑部件，在其下端设置用于载置物品的搁板。通过使第2支撑部件沿着滑轨滑动，能够移设悬挂式暂存货架。

公开(公告)号：CN101412463A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200810169049.4

申请日：2008-10-20

Applicant: 日本阿西斯特技术株式会社

Inventor： 村田正直 ,  山路孝

IPC: B65G1/00 ,  B65G1/137 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 一种暂时保管货物的保管库、保管库组及带保管库搬运系统，能以简单的构成而效率很好地把货物出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运，其中，该货物收纳例如半导体元件制造用的各种基板。与搬运车(2)之间进行货物(3)的出入库的保管库(10)具备：可从搬运车或向搬运车移载货物的端口；可收纳或载置货物的多个货架部分(15)；可在多个货架部分和端口间以及多个货架部分的互相间移动货物的驱动单元(19)；以及按以下方式控制驱动单元的控制单元(20)，即，在使货物从多个货架部分向端口移动的场合，先使其向作为多个货架部分之一的预出库用货架部分移动，将其在该预出库用货架部分暂时收纳或载置之后，使货物从预出库用货架部分向端口移动。

公开(公告)号：CN101181957A

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN200710186921.1

申请日：2007-11-13

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 吉田充 ,  乾吉隆

IPC: B65G1/04 ,  B65G37/00 ,  B65G35/00 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/68707

Abstract: 物品输送设备，具有：移动体，沿移动路径移动，并具有物品保持部；物品保管用的物品支承体，可在物品交接位置和物品保管位置之间改变位置；操作部，设置在移动体上用于在物品保管位置与物品交接位置之间变换操作物品支承体；被操作体，被支承为可在远近方向上接近停止在物品移载部位的移动体的接近位置、和远离停止在物品移载部位处的移动体的分离位置之间自如移动，并且在接近位置处将物品支承体操作到物品保管位置并在分离位置处将物品支承体操作到上述物品交接位置；引导部，在操作机构进行上述突出动作时，在前后方向上将操作部引导到相对于被操作体的正确操作位置。

公开(公告)号：CN101151197A

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN200680010374.5

申请日：2006-03-27

Applicant: 亚仕帝科技股份有限公司

Inventor： 村田正直

IPC: B65G1/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67294 ,  B65G2201/0297 ,  G06Q10/06 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68707

Abstract: 以低成本、简单并具有高度可靠性地管理被输送物体，该被输送物体在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送。具有无线通信功能的ID卡20安装在所有载体18上，并且ID读/写单元25安装在一些输送设备10中。此外，相对于ID卡20，载体ID根据连接到ID读/写单元25的MCS4的指令被读或写，以便通过载体ID管理单元4a管理载体ID。

公开(公告)号：CN1983547A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200610147095.5

申请日：2006-11-14

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 杰弗里·P·吉福德 ,  本杰明·R·惠勒 ,  乌尔迪斯·齐明斯 ,  戴维·平克尼

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明涉及一种用于半导体制造设备中晶片盒输送的改进装置和方法。本发明包括具有通信系统和控制系统的导引车辆以及具有用于从设备中的站台传送和接收晶片盒的机构的拖车。该拖车连接到导引车辆上并具有用于晶片盒输送的隔间，但比导引车辆具有较少的部件。因此，本发明减少了制造成本，但使得晶片盒输送能力加倍。