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公开(公告)号：CN101796481A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200880105071.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 罗伯特·Z·巴克拉克 , 蔡容基 , 崔寿永 , 尼古拉斯·G·J·德弗里 , 雅科夫·埃尔格 , 埃里克·A·恩格尔哈特 , 米歇尔·R·弗赖 , 查尔斯·盖伊 , 帕里斯·霍金斯 , 乔伊·胡 , 詹姆斯·克雷格·亨特 , 潘查拉·N·坎卡纳拉 , 李利伟 , 温·胡·罗 , 丹尼·卡姆·托恩·鲁 , 方·梅 , 斯蒂芬·P·墨菲 , 斯鲁杰尔·帕特尔 , 马修·J·B·桑德斯 , 阿萨夫·施莱辛格 , 盛殊然 , 苏杰发 , 杰弗里·S·沙利文 , 戴维·坦纳 , 特雷莎·特罗布里奇 , 布赖斯·沃克 , 约翰·M·怀特 , 泰·K·王
IPC: G06F7/10 , H01L31/06 , H01L21/4763
CPC classification number: H01L21/67236 , B23K26/364 , B26F3/002 , B26F3/004 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , C03B33/03 , C03B33/033 , H01L21/67132 , H01L21/67712 , H01L21/67715 , H01L21/67721 , H01L21/67727 , H01L21/6776 , H01L31/022425 , H01L31/03921 , H01L31/0504 , H01L31/075 , H02S50/00 , H02S50/10 , Y02E10/548 , Y02P40/57 , Y10T29/49002 , Y10T29/49355 , Y10T29/5196 , Y10T29/53113 , Y10T29/5313 , Y10T29/5317 , Y10T29/53187 , Y10T29/53365 , Y10T29/53417 , Y10T225/10 , Y10T225/325 , Y10T225/329
Abstract: 本发明涉及利用适以在形成太阳能电池的处理中执行一或多个步骤的处理模块来形成光电装置或太阳能电池的系统。自动化太阳能电池工厂一般配置有用来形成太阳能电池的自动化处理模块和自动化设备。此自动化太阳能电池工厂因此大致包含一基板接收模块，用来接收基板；一或多个吸收层沉积群集工具，具有至少一个处理腔室可沉积含硅层在基板表面上；一或多个背接触沉积腔室；一或多个材料移除腔室；太阳能电池封装装置；热压釜模块；自动化接线箱附接模块；和一或多个质量确保模块，适以测试及合格化已完全形成的太阳能电池装置。
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公开(公告)号：CN101541486A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000176.X
申请日：2008-08-29
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 罗伯特·Z·巴克拉克 , 蔡用起 , 崔寿永 , 尼古拉斯·G·J·德弗里 , 雅科夫·埃尔格 , 埃里克·A·恩格尔哈特 , 米歇尔·R弗赖 , 查尔斯·盖伊 , 帕里斯·霍金斯 , 乔伊·胡 , 詹姆斯·克雷格·亨特 , 潘查拉·N·坎卡纳拉 , 李利伟 , 温·胡·罗 , 丹尼·卡姆·托恩·鲁 , 方·梅 , 斯蒂芬·P·墨菲 , 斯鲁杰尔·帕特尔 , 马修·J·B·桑德斯 , 阿萨夫·施莱辛格 , 舒然·沈 , 苏杰发 , 杰弗里·S·沙利文 , 戴维·坦纳 , 特雷莎·特罗布里奇 , 布赖斯·沃克 , 约翰·M·怀特 , 泰·K·王
Abstract: 本发明一般涉及到划分定位在自动化太阳能器件制造系统内的划分模块。该太阳能电池器件制造系统适合于接收单个大基板和由该单个大基板形成多个硅薄膜太阳能电池器件。
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公开(公告)号：CN102246336A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200980149929.8
申请日：2009-12-09
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 瑟奇·洛帕汀 , 克里斯多佛·S·拉齐克 , 罗伯特·Z·巴克拉克
CPC classification number: H01M10/052 , B82Y30/00 , H01M4/0428 , H01M4/13 , H01M4/139 , H01M4/366 , H01M4/663 , H01M4/667 , H01M4/70 , H01M10/0562 , H01M10/0565 , H01M10/0585
Abstract: 一种锂离子电池芯，由沉积的薄膜层形成并且包括高表面积三维电池结构。高表面积三维电池结构包括沉积至导电基材的表面上的富勒烯混合材料以及沉积至富勒烯混合材料上的共形金属层。富勒烯混合材料是由富勒烯“洋葱状物”的链所组成并以纳米碳管连接以在导电基材上形成高表面积层并且具有“三维”表面。共形金属层作为锂离子电池中的活性阳极材料且也具有高表面积，因而形成高表面积阳极。锂离子电池芯也包含离子电解质-隔膜层、活性阴极材料层以及用于阴极的金属集流体，各沉积为共形薄膜。
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公开(公告)号：CN102224628A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN200980147106.1
申请日：2009-11-19
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 瑟奇·洛帕汀 , 罗伯特·Z·巴克拉克
IPC: H01M10/04 , H01M10/0525 , H01G9/042 , C23C2/00 , C23C2/14
CPC classification number: C25D5/022 , C25D1/003 , C25D5/08 , C25D7/00 , C25D17/00 , C25D17/10 , H01M4/0438 , Y02E60/13
Abstract: 本文所述实施例大体上是关于电化学电池或电容器的电极结构，特别是有关制造可靠又具成本效益的电化学电池或电容器的立体(3D)电极纳米结构的设备和方法，其中该立体(3D)电极纳米结构具备延长的使用寿命、较低的生产成本和改善的工艺性能。
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公开(公告)号：CN102257583A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201080003666.2
申请日：2010-02-09
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 瑟奇·D·洛帕汀 , 德米特里·A·布列夫诺夫 , 艾瑞克·卡萨范特 , 罗伯特·Z·巴克拉克
IPC: H01G4/005
CPC classification number: C25D5/18 , H01G11/26 , H01G11/30 , H01G11/50 , H01G11/86 , H01M4/0438 , H01M4/0452 , H01M4/1395 , Y02E60/13
Abstract: 本文描述的实施例一般涉及到用于形成在能量存储装置中使用的电极结构的方法和设备。更具体地，本文描述的实施例涉及到用于表征在形成用于能量存储装置的高容量电极结构中使用的纳米材料的方法和设备。在一个实施例中，提供用于形成用于能量存储装置的电极结构的工艺。该工艺包括通过扩散限制沉积工艺以第一电流密度在基板上方沉积柱形金属结构，测量柱形金属结构的电容以确定柱形金属结构的表面积，和在柱形金属结构上方以大于第一电流密度的第二电流密度沉积三维多孔金属结构。
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公开(公告)号：CN101680084A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880018087.8
申请日：2008-05-09
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 罗伯特·Z·巴克拉克 , 阿维·泰普曼 , 亚历山大·S·波尔亚克
IPC: C23C16/00
CPC classification number: B25J15/0052 , B25J15/0226 , H01L21/67236 , H01L21/67276 , H01L21/67715 , H01L21/67721 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67742 , H01L21/67748
Abstract: 本发明大致包含可用于自动化大量(high volume)批次工件制造体系的设备，包含在每小时可生产1,000或更多工件的高产率工厂体系中进行工件操作以及工件处理。这些工件可以堆叠供给至平行阵列形式提供给该设备使用。此外，这些工件可以阵列至阵列的批次传送方式在制造体系间进行传送。这些工件可以平行至平行的批次传送方式在制造体系间进行传送。机器化运作可在机器臂装置之间、机器臂装置与处理设备之间和处理设备内进行。
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公开(公告)号：CN100466160C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN03821719.8
申请日：2003-09-11
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 罗伯特·Z·巴克拉克 , 温德尔·T·布伦尼格
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67748 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/67742 , Y10S414/135 , Y10S414/137 , Y10S414/14
Abstract: 一种处理大面积基板的系统与方法。在一实施例中，处理系统包括一传送反应室，其中此传送反应室具有至少一处理反应室以及基板台架系统与其耦接。台架系统包括负载阻隔反应室以及热处理站，其中此负载阻隔反应室具有第一端耦接至传送反应室，且热处理站耦接至负载阻隔反应室的第二端。负载阻隔机械手臂位于负载阻隔反应室中，以利在热处理站与负载阻隔反应室之间进行传送。
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公开(公告)号：CN1729552A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03821719.8
申请日：2003-09-11
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 罗伯特·Z·巴克拉克 , 温德尔·T·布伦尼格
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67748 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/67742 , Y10S414/135 , Y10S414/137 , Y10S414/14
Abstract: 一种处理大面积基板的系统与方法。在一实施例中，处理系统包括一传送反应室，其中此传送反应室具有至少一处理反应室以及基板台架系统与其耦接。台架系统包括负载阻隔反应室以及热处理站，其中此负载阻隔反应室具有第一端耦接至传送反应室，且热处理站耦接至负载阻隔反应室的第二端。负载阻隔机械手臂位于负载阻隔反应室中，以利在热处理站与负载阻隔反应室之间进行传送。
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