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公开(公告)号：CN106808380A
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201710198820.X
申请日：2017-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24D13/14
CPC classification number: B24D13/14
Abstract: 本发明提供一种数控抛光盘及抛光工艺，涉及光学技术领域。数控抛光盘包括自上而下依次设置的金属盘架、金属盘面、柔性层和抛光模层，金属盘面、柔性层和抛光模层的中心位于同一直线。金属盘面和抛光模层紧贴柔性层设置，金属盘架可拆卸连接于金属盘面，数控抛光盘通过金属盘架连接于抛光机构。金属盘面开设有盘面开设有导流槽，导流槽的底部开设有贯穿柔性层和抛光模层的导流孔，使流动于金属盘面的抛光液通过导流槽和导流孔到达抛光模层的底部。如此，可以保证数控抛光盘盘底的抛光液有效地更新，可提高材料去除稳定性和数控抛光的确定性。
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公开(公告)号：CN106736996A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710198817.8
申请日：2017-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法，抛光工具包括转接部件、工具底座、粘弹性柔性介质、柔性介质厚度调节螺钉、橡胶囊和设置于所述橡胶囊表面的抛光模层。抛光工具通过转接部件连接于数控机床，工具底座为圆环状。柔性介质厚度调节螺钉可活动地内嵌于所述工具底座，橡胶囊盖合于所述工具底座，使工具底座、柔性介质调节螺钉与橡胶囊之间形成密封腔，密封腔内填充满粘弹性柔性介质。非球面元件表面波纹去除方法通过改变抛光工具中的粘弹性柔性介质的种类和厚度，既能够使抛光工具与待加工非球面元件的表面相吻合，又能够对非球面表面波纹进行去除。
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公开(公告)号：CN110788699B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN201911270844.7
申请日：2019-12-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供了抛光盘及抛光系统，涉及光学元件精密加工技术领域。一种抛光盘，抛光盘的内部具有用于储存抛光液的储存腔，抛光盘的抛光面开设有出液口，出液口通过设置于抛光盘内部的通道与储存腔连通。该抛光盘的储存腔内储存有抛光液，在抛光时，抛光盘的抛光层与元件紧密接触，同时抛光液通过出液口流出，实现抛光液在抛光时均匀分布在元件表面，避免多次停止抛光再喷洒抛光液，提高抛光效率。由于抛光液由储存腔经由出液口流出，使得不同出液口流出的抛光液量和压力大致相等，有助于元件表面的抛光液分布均匀。
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公开(公告)号：CN109531424B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN201910019569.5
申请日：2019-01-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B53/02
Abstract: 本发明提供一种可实现大口径平面抛光机的抛光盘高效高精度修整的包络式修整方法及其装置，首先选用较大的切削用量对抛光盘进行快速去除，去除表面大尺度的形状误差，使抛光盘的表面形状误差≤30μm；然后根据修整后的盘面形状来调节修整过程中Z轴的竖向补偿量，进一步提高抛光盘的形状精度到≤10μm；最后对抛光盘表面进行精细匀滑修整，并达到满足使用要求的形状精度。本发明基于超精密铣削原理，采用小口径式的修整盘对抛光盘进行修整，其运动方式结合了全口径式修整方法和小工具式修整方法的优点，实现了米级平面抛光盘的高精度修整，不仅提高了修整精度，也提高了修整效率，为大口径平面光学元件的面形收敛提供了一种有效的控制方法。
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公开(公告)号：CN111156235B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010095830.2
申请日：2020-02-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法。超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，旋转台设置在箱体内部，在旋转台上设置有支撑杆，在支撑杆上设置有背板，在背板上表面设置粘结胶点；在旋转台上设置有多个挡块，挡块的一端与背板侧面贴靠在一起，挡块的另一端与旋转台连接；驱动电机驱动旋转台匀速旋转；在箱体内部设置有散热器、加热器和风机，散热器与制冷机相连。本发明可以实现对超薄光学元件点胶上盘过程温度场的精确控制，防止加热及冷却时背板‑胶点‑元件系统温度不均匀造成的热应力，减轻超薄光学元件下盘后的不规则变形现象，从而提高超薄光学元件的面形加工精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107297685B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201710729924.9
申请日：2017-08-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B53/12
Abstract: 本发明提供一种可在较低加载压力条件下修正沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置。沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置，在固定背板和工作板之间设置有陶瓷加热板，在所述固定背板的上表面设置有球槽。本发明通过增加小工具的加热功能，从而提高小工具对沥青抛光盘形状误差的体积修正速度，体积修正速度可达0.1‑100mm3/min，并可在较低加载压力条件下进行，加载压力为2‑100KPa，从而改善小工具修正加工时的旋转平稳性。
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公开(公告)号：CN109187246B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201811253224.8
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种固结磨具硬度检测装置，包括：基座，基座上具有贯穿的操作空间；基座底部远离操作空间的位置安装有可升降高度支腿；水平推动机构，水平推动机构安装于基座顶部，且不覆盖操作空间；下压推动机构，下压推动机构竖直布置，可滑动于水平推动机构上，且其底部延伸至操作空间内；压头，压头安装于下压推动机构底部，且位于操作空间内可沿竖直方向和水平方向上移动；及控制器，控制器电性连接水平推动机构和下压推动机构。本发明还提供了一种检测方法，控制方便、噪音小，适合在光学加工现场高洁净环境下应用；控制器通过内部程序控制推动器工作，控制精确，测量精度高。
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公开(公告)号：CN114355616B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202210043834.5
申请日：2022-01-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明公开了用于深槽微加工的保形锐边平顶飞秒激光整形方法与装置；其中方法包括：采用扩束器对激光器发出的高斯光束进行扩充，获得扩充后的高斯光束；通过光束匀滑器将扩充后的高斯光束调整为超高斯平顶光束；采用硬边光阑对超高斯平顶光束进行切趾处理，获得矩形平顶光束；通过4f光学系统对矩形平顶光束进行等比例缩束成像，获得目标光斑；通过该方法能够有效解决飞秒激光加工中光束焦深短，光斑顶部光强不均匀，光斑边界过渡区较大的问题。
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公开(公告)号：CN111349885B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202010221589.3
申请日：2020-03-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置，应用于对反向行星式旋转镀膜工艺中遮蔽板的形状进行确定，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待镀膜点的初始膜厚，以及获取待镀膜元件的尺寸和镀膜设备的尺寸；根据所述待镀膜元件的尺寸和所述镀膜设备的尺寸确定出遮蔽板的多个待设定区域，以及每一待设定区域对应的多个待镀膜点；根据每一待设定区域对应的多个待镀膜点的初始膜厚，计算得到待镀膜点对应遮蔽板的展开角；根据所有的待镀膜点对应的展开角，确定目标遮蔽板。针对多个区域对应的待镀膜点分别确定出符合该区域镀膜点遮蔽要求的遮蔽板的展开角，从而得到针对该非圆形待镀膜元件设计的目标遮蔽板，保证膜厚控制的效果良好。
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公开(公告)号：CN113231964B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110563181.9
申请日：2021-05-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于及光学元件加工领域技术领域，提供了一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收，提高抛光液的稳定工作状态。
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