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公开(公告)号:CN100417993C
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200580000295.1
申请日:2005-03-22
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
IPC: G02F1/1343 , H01L21/20 , C23C14/14
Abstract: 本发明的课题是提供具备透明电极层和Al合金电极层的薄膜电路中即使不具备所谓的覆盖层,也能够实现透明电极层和Al合金电极层的直接接合的接合结构。本发明的具备透明电极层和与该透明电极层直接接合的Al合金电极层的液晶显示元件的接合结构的特征是,Al合金电极层中分散了具有-1.2V~-0.6V的范围内的氧化还原电位的析出物。
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公开(公告)号:CN100428367C
公开(公告)日:2008-10-22
申请号:CN200580000338.6
申请日:2005-02-15
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C22C21/00 , H01B1/023 , H01L21/283 , H01L23/53219 , H01L2924/0002 , H05K1/09 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于提供适用于进行500℃以上的高温热处理的低温加工的多晶硅薄膜晶体管的、高耐热和低电阻率特性良好的铝合金配线材料及靶材。所述铝合金配线材料及靶材是含有镍、钴、碳的铝合金配线材料及靶材,其特征在于,假设镍含量的原子百分比为X at%,钴含量的原子百分比为Y at%,碳含量的原子百分比为Z at%,满足0.5at%≤X≤3.0at%、4.0at%≤X+Y≤7.0at%、0.1at%≤Z≤0.5at%的关系,其余由铝构成。
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公开(公告)号:CN101090985A
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200680001532.0
申请日:2006-03-30
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
IPC: C22C21/00 , H01B1/02 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: H01L23/53219 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本申请的发明提供在具备薄膜晶体管及透明电极层的显示器件中,能够与ITO或IZO等的透明电极层直接接合,同时还能够与n+-Si等半导体层直接接合的Al系合金布线材料。本申请的发明的Al合金布线材料中,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.00.05≤Y≤11.0Y+0.25X≥1.0Y+1.15X≤11.5。
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公开(公告)号:CN1788322A
公开(公告)日:2006-06-14
申请号:CN200580000338.6
申请日:2005-02-15
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C22C21/00 , H01B1/023 , H01L21/283 , H01L23/53219 , H01L2924/0002 , H05K1/09 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于提供适用于进行500℃以上的高温热处理的低温加工的多晶硅薄膜晶体管的、高耐热和低电阻率特性良好的铝合金配线材料及靶材。所述铝合金配线材料及靶材是含有镍、钴、碳的铝合金配线材料及靶材,其特征在于,假设镍含量的原子百分比为Xat%,钴含量的原子百分比为Yat%,碳含量的原子百分比为Zat%,满足0.5at%≤X≤3.0at%、4.0at%≤X+Y≤7.0at%、0.1at%≤Z≤0.5at%的关系,其余由铝构成。
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公开(公告)号:CN100564560C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200680001532.0
申请日:2006-03-30
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
IPC: C22C21/00 , H01B1/02 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: H01L23/53219 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本申请的发明提供在具备薄膜晶体管及透明电极层的显示器件中,能够与ITO或IZO等的透明电极层直接接合,同时还能够与n+-Si等半导体层直接接合的Al系合金布线材料。本申请的发明的Al合金布线材料中,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.0;0.05≤Y≤11.0;Y+0.25X≥1.0;Y+1.15X≤11.5。
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公开(公告)号:CN1774666A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200580000295.1
申请日:2005-03-22
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
IPC: G02F1/1343 , G09F9/30 , G09F9/35 , H01L21/3205 , H01L21/768
Abstract: 本发明的课题是提供具备透明电极层和Al合金电极层的薄膜电路中即使不具备所谓的覆盖层,也能够实现透明电极层和Al合金电极层的直接接合的接合结构。本发明的具备透明电极层和与该透明电极层直接接合的Al合金电极层的液晶显示元件的接合结构的特征是,Al合金电极层中分散了具有-1.2V~-0.6V的范围内的氧化还原电位的析出物。
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