包括二维材料结构的装置及形成该二维材料结构的方法

    公开(公告)号:CN106328708B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN201610102164.4

    申请日:2016-02-24

    Abstract: 本发明涉及包括二维材料结构的装置及形成该二维材料结构的方法。其中一种晶体管包括:基板;包括基本上垂直地排列在基板上的至少一层的二维材料结构,使得所述至少一层的边缘在基板上并且所述至少一层基本上垂直于基板延伸;源电极和漏电极,连接到二维材料结构的相反端;栅绝缘层,在源电极和漏电极之间的二维材料结构上;和在栅绝缘层上的栅电极。所述至少一层的每个包括具有二维晶体结构的半导体。

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