一种利用湿法刻蚀制作熔石英衬底曲线型光栅元件的方法

    公开(公告)号:CN116626793A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310599730.7

    申请日:2023-05-25

    Abstract: 本发明公开了一种利用湿法刻蚀制作熔石英衬底曲线型光栅元件的方法,包括:对熔石英衬底进行清洗;对清洗后的熔石英衬底表面涂覆光敏性有机材料膜层;在涂覆有光敏性有机材料膜层的熔石英衬底表面曝光显影,产生光栅图像;进行湿法刻蚀,将曝光显影产生的光栅图像转移到熔石英衬底上,得到熔石英衬底光栅;对熔石英衬底光栅进行清洗,去除湿法刻蚀后熔石英衬底光栅表面残留的光敏性有机材料膜层材料,得到熔石英衬底曲线型光栅元件。本发明的方法可制作无亚表面缺陷的熔石英衬底光栅元件,进而提升熔石英衬底光栅元件的抗激光损伤性能,延长光栅元件使用寿命,降低熔石英衬底光栅元件使用成本。

    一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法

    公开(公告)号:CN107571273A

    公开(公告)日:2018-01-12

    申请号:CN201710963796.4

    申请日:2017-10-17

    Abstract: 一种大口径光学元件精密洁净装配的自动化抓取装置与方法,装置由可重构的末端执行器、操控机械臂、计算机控制单元、任务管理软件及工艺数据库系统、扫码识别器以及电气辅助支持系统等组成。其中末端执行器装置采用了真空吸附方式,包括法兰联接盘、中央主轴单元、支撑杆系、移动滑块单元、吸盘阵列单元、视频跟踪系统等。进行精密光学元件的抓取与装配操作时,扫码识别出零件号,自动检索出元件的适用工艺并按照指令流程调整末端执行器的构型,操控末端执行器实现对光学元件的精准抓取与稳定吸附,移动机械臂将元件放置到指定工位,完成装配操作后机械臂携带末端执行器归复原位。本发明可满足大口径光学元件精密洁净自动化装配的工程需求。

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