一种半导体工艺产线设备配置方法及装置

    公开(公告)号:CN115994457B

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202310285804.X

    申请日:2023-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种半导体工艺产线设备配置方法及装置,方法具体包括如下步骤:构建半导体工艺产线的数据库,并对数据库设置使用权限;基于数据库使用权限,确定工艺制程路线;根据确定的工艺制程路线,给出设备配置清单;结合设备配置清单,通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备,给出目标设备集,并配置目标设备的生产能力和可用率;基于半导体工艺产线的评价策略,确定目标设备的数量,完成半导体工艺产线设备配置。本发明可对半导体工艺产线进行智能设备选型、产线优化评价以及跨平台联动,形成更科学、更合理和更全面的半导体生产线建设项目数据,且提高半导体制造过程的运作效率。

    一种半导体工艺产线设备配置方法及装置

    公开(公告)号:CN115994457A

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202310285804.X

    申请日:2023-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种半导体工艺产线设备配置方法及装置,方法具体包括如下步骤:构建半导体工艺产线的数据库,并对数据库设置使用权限;基于数据库使用权限,确定工艺制程路线;根据确定的工艺制程路线,给出设备配置清单;结合设备配置清单,通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备,给出目标设备集,并配置目标设备的生产能力和可用率;基于半导体工艺产线的评价策略,确定目标设备的数量,完成半导体工艺产线设备配置。本发明可对半导体工艺产线进行智能设备选型、产线优化评价以及跨平台联动,形成更科学、更合理和更全面的半导体生产线建设项目数据,且提高半导体制造过程的运作效率。

    一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置

    公开(公告)号:CN116976541A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202311226918.3

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 本发明公开了一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置,方法具体包括如下步骤:基于平板显示的生产工艺,获取储料单元清单及搬运轨道组件清单;根据储料单元的进货口类型及搬运轨道组件类型,给出由各个储料单元形成的物料搬运可行路径清单,并构建加权有向图;结合加权有向图,并融合获取的路径权重、路径长度及物料运输设备参数,对物料搬运可行路径清单进行寻优分析;根据寻优分析结果,确定平板显示生产线的物料搬运路径。针对平板显示生产线自动化物料搬运中各个储料单元之间路径过多,难以计算出合适路径的问题,给出了构建加权有向图,结合适应平板显示生产线的寻优策略,筛选确定最佳路径的寻优方案。

    一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置

    公开(公告)号:CN116976541B

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202311226918.3

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 本发明公开了一种用于平板显示生产线的物料搬运路径寻优方法及装置,方法具体包括如下步骤:基于平板显示的生产工艺,获取储料单元清单及搬运轨道组件清单;根据储料单元的进货口类型及搬运轨道组件类型,给出由各个储料单元形成的物料搬运可行路径清单,并构建加权有向图;结合加权有向图,并融合获取的路径权重、路径长度及物料运输设备参数,对物料搬运可行路径清单进行寻优分析;根据寻优分析结果,确定平板显示生产线的物料搬运路径。针对平板显示生产线自动化物料搬运中各个储料单元之间路径过多,难以计算出合适路径的问题,给出了构建加权有向图,结合适应平板显示生产线的寻优策略,筛选确定最佳路径的寻优方案。

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