公开(公告)号：CN102544221B

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201210019094.8

申请日：2012-01-20

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 侯云 ,  黄志明 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  张雷博 ,  周炜 ,  张琰 ,  褚君浩

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法。其中包括：衬底的清洗，薄膜的生长，电极的制备。其特征在于采用湿化学法制备Mn-Co-Ni-O薄膜，选取醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍为原料，以冰醋酸作溶剂，分别配制导电类型是n和p的前驱体溶液，然后使用匀胶机和快速退火炉来制备薄膜材料。采用本方法制备的探测器可以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

公开(公告)号：CN102593242A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210019112.2

申请日：2012-03-22

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 侯云 ,  黄志明 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  张雷博 ,  周炜 ,  张琰 ,  褚君浩

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明提供了一种基于Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法，其中包括：衬底的清洗，薄膜的生长，电极的制备。其特征在于采用湿化学法制备Mn-Co-Ni-O薄膜，选取醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍为原料，以冰醋酸作溶剂，分别配制导电类型是n和p的前驱体溶液，然后使用匀胶机和快速退火炉来制备薄膜材料。采用本方法制备的探测器可以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

公开(公告)号：CN102593228A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210019370.0

申请日：2012-04-20

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 侯云 ,  黄志明 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  张雷博 ,  周炜 ,  张琰 ,  褚君浩

IPC: H01L31/068 ,  H01L31/032

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 本发明提供了一种基于Pt/Ti/SiO2/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器。其特征在于，其中包括：一Pt/Ti/SiO2/Si衬底；一导电类型为n型的Mn-Co-Ni-O薄膜；一导电类型为p型的Mn-Co-Ni-O薄膜；在导电类型为p型Mn-Co-Ni-O薄膜部分膜面上制作顶电极，同时刻蚀薄膜直到露出部分Pt/Ti/SiO2/Si衬底的表面导电层作为底电极。制备出pn结，产生光生伏特效应，以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

公开(公告)号：CN102544137A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201210019369.8

申请日：2012-01-20

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 侯云 ,  黄志明 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  张雷博 ,  周炜 ,  张琰 ,  褚君浩

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/032 ,  H01L31/103

Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器。其特征在于，其中包括：一蓝宝石衬底；一导电类型为n型的Mn-Co-Ni-O薄膜；一导电类型为p型的Mn-Co-Ni-O薄膜；在导电类型为p型Mn-Co-Ni-O薄膜部分膜面上制作顶电极，同时刻蚀薄膜到露出部分导电类型为n型的Mn-Co-Ni-O薄膜，并在此部位制作底电极。制备出pn结，产生光生伏特效应，以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

公开(公告)号：CN102544221A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201210019094.8

申请日：2012-01-20

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 侯云 ,  黄志明 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  张雷博 ,  周炜 ,  张琰 ,  褚君浩

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法。其中包括：衬底的清洗，薄膜的生长，电极的制备。其特征在于采用湿化学法制备Mn-Co-Ni-O薄膜，选取醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍为原料，以冰醋酸作溶剂，分别配制导电类型是n和p的前驱体溶液，然后使用匀胶机和快速退火炉来制备薄膜材料。采用本方法制备的探测器可以实现紫外-可见-红外宽波段探测。

公开(公告)号：CN102679948A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210086674.9

申请日：2012-03-28

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 舒嵘 ,  徐卫明 ,  杨孟 ,  张琰

IPC: G01C3/00

Abstract: 本发明公开了一种消除高重频激光测距脉冲混叠的方法，可用于扩展高重频激光测距仪的作用范围。本发明通过采用选通开关，使得高重频主波脉冲序列中不同位置的主波脉冲进入不同的测时电路，用于触发测时距离的计时器；对于不同的测时电路，根据其接收到的主波的测距范围，在接收到主波后设置一段屏蔽的时间间隔，屏蔽掉非该主波的回波；该方法能扩展的作用范围和激光重频相关，理论最大值是激光重频的整数倍，倍数等于激光发射脉冲被分路的数目；这种消除高重频激光测距脉冲混叠的方法，不仅可以用硬件方式实现，也可以采用软件方式实现，使用全波形记录发射激光和接收激光的测距仪，再采用软件的方法分析处理。