公开(公告)号：CN117976664A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202311761049.4

申请日：2023-12-20

Applicant: 中国科学院半导体研究所 ,  苏州旭创科技有限公司

Inventor： 曹克奇 ,  刘宇 ,  张心研 ,  陈佳 ,  林玮 ,  王健 ,  文花顺 ,  孙雨舟 ,  李明 ,  祝宁华

IPC: H01L23/66

Abstract: 本发明公开了一种高频器件封装组件和高频器件，高频器件封装组件包括高频连接器终端、传输线和高频芯片，传输线的第一侧面上设有信号传输电极，高频芯片的第一侧面上设有高频电极，传输线的第一侧面的一部分朝向高频连接器终端并通过倒装焊的方式使信号传输电极与高频连接器终端电连，传输线的第一侧面的另一部分朝向高频芯片的第一侧面并通过倒装焊的方式使信号传输电极与高频电极电连。本发明的高频器件封装组件使用倒装焊取代了金丝键合或金带键合，降低了封装过程引入的封装寄生参数对高频器件高频性能的影响，提高了对封装寄生参数的可控性，提升了封装后高频器件的带宽性能和工艺可靠性。

公开(公告)号：CN115524790A

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202211314776.1

申请日：2022-10-25

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 翟鲲鹏 ,  白金花 ,  张心研 ,  袁海庆 ,  王欣 ,  李明 ,  祝宁华

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124

Abstract: 本公开提供一种双平行狭缝波导模斑变换器及其制备方法，器件包括：衬底，埋氧层，形成于衬底上；芯片层，形成于埋氧层上；其中，芯片层上刻蚀有波导结构，从芯片层的一端到另一端，波导结构包括依次连接的周期光栅、过渡区和有源调制区，有源调制区中形成有双平行狭缝结构；周期光栅用于将光转化为垂直耦合出射，过渡区和有源调制区用于将波导结构中的光场模式转化为双狭缝波导模式。该双平行狭缝波导模斑变换器耦合效率高，耦合损耗低，并且器件尺寸小，易于封装。

公开(公告)号：CN115987396A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211588871.0

申请日：2022-12-09

Applicant: 中国科学院半导体研究所 ,  珠海光库科技股份有限公司

Inventor： 翟鲲鹏 ,  王欣 ,  吉贵军 ,  周赤 ,  郑耀国 ,  杨国亮 ,  郭丹丹 ,  张心研 ,  袁海庆 ,  白金花 ,  文花顺 ,  刘宇 ,  李明 ,  祝宁华

IPC: H04B10/50 ,  H04B10/516 ,  H04Q11/00 ,  G02B6/43 ,  G02B6/42

Abstract: 本公开提供一种基于光子引线键合的可编程集成光芯片，包括：基板；多功能器件单元，包括多种功能器件，所述多种功能器件集成于所述基板上并可通过可擦除的光子引线键合连接；电控模块，通过金丝引线能够与任意的功能器件进行连接，以实现光芯片的不同功能。所述多功能器件单元包括：激光器模块、调制器模块、放大器模块、探测器模块、光路由模块、光滤波模块、矩阵算法模块、波导模块，共同集成于所述基板上并通过可擦除的光子引线键合连接。

公开(公告)号：CN119481945A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411602289.4

申请日：2024-11-11

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 李明 ,  张心研 ,  刘宇 ,  白金花 ,  袁海庆 ,  曹克奇 ,  翟鲲鹏 ,  陈佳 ,  林玮 ,  于航 ,  陈潇楠

IPC: H01S5/026 ,  H04B10/50

Abstract: 本公开提供一种集成封装的光发射结构，包括：激光器芯片，用于产生连续光信号；萨格纳克环外腔结构，连接激光器芯片，用于将连续光信号分解为第一光信号和第二光信号，并将第一光信号反馈回激光器芯片，以对连续光信号的光谱进行调控，使线宽压窄，以及将第二光信号传输至调制器芯片；调制器芯片，连接萨格纳克环外腔结构，用于对第二光信号加载射频信号。

公开(公告)号：CN115951508A

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202211264491.1

申请日：2022-10-14

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 曹克奇 ,  刘宇 ,  陈少康 ,  张心研 ,  王健 ,  刘艺 ,  袁海庆 ,  白金花 ,  李明 ,  祝宁华

IPC: G02F1/01

Abstract: 本公开提供了一种光电子器件阵列封装结构，包括：电光调制器阵列芯片，多组行波电极在电光调制器阵列芯片上平行设置，行波电极的微波信号输入端和微波信号终端均为直线结构；多组传输线，与行波电极一一对应，为直线结构，沿行波电极的延伸方向设置于行波电极的微波信号输入端侧上方，与行波电极的微波信号输入端连接；多组匹配负载，与行波电极一一对应，为直线结构，沿行波电极的延伸方向设置于行波电极的微波信号终端上表面，与行波电极的微波信号终端连接。该光电子器件阵列封装结构避免了传输线弯曲造成的反射与损耗，且易于实现多通道阵列化集成，可满足高带宽和阵列化的小型电光调制器应用需求。

公开(公告)号：CN118011704A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410101809.7

申请日：2024-01-24

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林玮 ,  刘宇 ,  曹克奇 ,  张心研 ,  王健 ,  陈佳 ,  李明 ,  祝宁华

IPC: G02F1/35 ,  G02F1/365 ,  G02F1/01 ,  G02F1/03

Abstract: 提供了一种宽带可调谐低噪声电光频率梳产生装置。所述装置使用中心波长可调谐且线宽为kHz级别的超窄线宽激光器，并将产生的激光传输至偏振控制器中，随后进入偏振调制器及级联的电光调制器，使用正弦射频信号对偏振调制器进行调制，级联的电光调制器采用上一级射频信号经过倍频后的信号驱动，产生宽带、平坦度高的光频梳。通过“f‑2f’单元对产生的光频梳进行拍频，并将拍频后得到的信号通过反馈电路对调制信号进行调节，最终得到大带宽可调谐的电光频率梳。本公开能够实现梳齿频率间隔的宽范围调节，产生的光频梳中心波长稳定可调谐，具有谱线范围宽、梳齿数目多、梳距精确、相位噪声低等特点。

公开(公告)号：CN116131096A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202310126984.7

申请日：2023-02-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张心研 ,  刘宇 ,  翟鲲鹏 ,  陈少康 ,  曹克奇 ,  李明 ,  祝宁华

IPC: H01S5/10 ,  H01S5/14

Abstract: 本发明提供一种宽调谐窄线宽半导体激光器，其特征在于，包括：光增益模块，用于提供可调谐光波；光耦合模块，用于对所述光波进行耦合；外腔谐振模块，用于对所述耦合后的光波进行调节，得到窄线宽输出光。本发明提供一种宽调谐窄线宽半导体激光器利用微环谐振器与U形波导之间的Fano谐振和微环谐振器间的游标卡尺效应实现调谐功能，并利用马赫增德尔干涉仪对微环谐振器透射光谱中边模进行抑制，提高了波长选择性。实现输出激光的线宽压窄、频率稳定以及宽光谱范围的快速调谐。