公开(公告)号：CN102731346A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210103577.6

申请日：2012-04-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  吉田勋 ,  山下裕子

IPC: C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  C07C381/12 ,  C07C25/02 ,  C07C17/00 ,  C07D333/46 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C25/18 ,  C07C303/32 ,  C07C309/06 ,  C07C309/07 ,  C07C309/12 ,  C07C309/19 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  C07D333/46 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供一种盐、光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C17二价饱和烃基，L2和L3各自表示单键或其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C6二价饱和烷基，环W1和环W2各自表示C3-C36烃环，R1和R2各自表示氢原子或C1-C6烷基，R3表示C1-C6烷基，t表示0至2的整数，并且Z+表示有机抗衡离子。

公开(公告)号：CN101955453A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010234016.0

申请日：2010-07-12

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  山下裕子

IPC: C07C381/12 ,  C07C53/10 ,  C07C61/135 ,  C07C62/24 ,  C07D333/76 ,  C07C63/08 ,  C07C63/36 ,  C08F220/18 ,  C08F220/38 ,  C08F212/14 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/066 ,  C07C62/22 ,  C07C63/08 ,  C07C69/63 ,  C07C69/712 ,  C07C69/753 ,  C07C69/757 ,  C07C205/57 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  C07D333/76 ,  C08F8/12 ,  C08F12/24 ,  C08F20/38 ,  C08F28/02 ,  C08F28/06 ,  C08F212/14 ,  C08F220/18 ,  C09D125/18 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/38 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123 ,  C08F12/22 ,  C08F2220/1883 ,  C08F2220/1891 ,  C08F220/20 ,  C08F2220/283 ,  C08F220/38

Abstract: 一种如通式(I-Pb)所示的盐：其中XPb表示单键或-O-；RPb表示单键等；YPb表示可聚合的基团；ZPb表示有机基团；XPc表示单键或C1-C4亚烷基；以及RPc表示可具有一个以上取代基的C1-C10脂肪烃基等。

公开(公告)号：CN101955454A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010234021.1

申请日：2010-07-12

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  山下裕子

IPC: C07C381/12 ,  C07C57/04 ,  C07C69/54 ,  C07C63/64 ,  C07D333/76 ,  C07D333/46 ,  C07C25/18 ,  C08F220/18 ,  C08F120/06 ,  C08F122/16 ,  C08F212/14 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C08F22/02 ,  C07C25/18 ,  C07C57/03 ,  C07C57/28 ,  C07C63/64 ,  C07C63/66 ,  C07C69/54 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  C08F20/38 ,  C08F32/08 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/30 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 一种如式(I-Pa)所示的盐：其中XPa代表单键或C1-C4亚烷基，RPa代表单键、C4-C36二价脂环烃基或C6-C36二价芳香烃基，其中所述二价脂环烃基中的一个以上亚甲基可用-O-或-CO-替代，YPa代表可聚合的基团，以及ZPa+代表有机阳离子。

公开(公告)号：CN102117013A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN201010623818.0

申请日：2010-12-31

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山下裕子 ,  安藤信雄

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供了一种光刻胶组合物，其包含：包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：其中Q1和Q2独立地表示氟原子等，U表示C1-C20二价烃基等，X1表示-O-CO-等，A+表示有机反荷离子，其中R51、R52、R53和R54独立地表示C1-C20烷基等，A11表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。

公开(公告)号：CN102023479A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010276810.1

申请日：2010-09-07

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 釜渊明 ,  山下裕子

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  C07C211/63 ,  C07C62/06 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C61/135 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物，包含：树脂，其含有衍生自具有酸敏基团的化合物的结构单元，且其不溶或难溶于碱性水溶液但在酸的作用下变得可溶于碱性水溶液，产酸剂，和式(I′)表示的化合物：其中R51、R52、R53和R54各自独立地代表C1-C8烷基，A11代表可含有1个或更多个杂原子且具有1个或更多个取代基的C3-C36二价饱和环烃基，或者可含有1个或更多个杂原子且具有1个或更多个取代基的C6-C20二价芳烃基。