一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备

    公开(公告)号:CN119666717A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411875662.3

    申请日:2024-12-19

    Abstract: 本申请提供一种硅‑金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备,涉及材料腐蚀传感器领域。硅‑金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器包括阴阳极模块和空腔结构模块;所述阴阳极模块包括第一衬底和设置在所述第一衬底表面的、各自独立的金属阳极和金属阴极;所述空腔结构模块包括第二衬底,所述第二衬底设置有凹陷部和用于与测试环境大气连通的通孔,所述凹陷部自所述第二衬底的第一侧向相对的第二侧延伸,通孔自第二侧的表面延伸至所述凹陷部的底部;所述第二侧的表面与所述第一衬底的表面抵接,且所述金属阴极和所述金属阳极设置在所述凹陷部内。本申请提供的传感器,灵敏度、可靠性和一致性好。

    一种基于MEMS的材料腐蚀电化学测量传感器及其制备方法和材料腐蚀电化学测量设备

    公开(公告)号:CN119666718A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411875685.4

    申请日:2024-12-19

    Abstract: 本申请提供一种基于MEMS的材料腐蚀电化学测量传感器及其制备方法和材料腐蚀电化学测量设备,涉及材料腐蚀传感器技术领域。该传感器包括:工作电极‑辅助电极模块,包括第一硅衬底、工作电极和辅助电极,第一硅衬底设置有凹陷部,工作电极设置在凹陷部的内壁一侧和底部,辅助电极设置在凹陷部的内壁的相对另一侧和底部,工作电极、辅助电极和凹陷部形成容置空间;参比电极模块,包括第二硅衬底和参比电极,参比电极设置在第二硅衬底的一侧且形成凸起部,第二硅衬底开设通孔;凸起部设置在容置空间内,第一硅衬底和第二硅衬底固定连接。本申请提供的传感器,能够实现材料服役失效评价过程中腐蚀数据原位实时高通量在线采集及挖掘分析。

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