一种钼合金靶材的制作方法

    公开(公告)号:CN103143710B

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201310102230.4

    申请日:2013-03-27

    Abstract: 本发明涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是,包括如下步骤:首先将钼粉和铌粉装入模具中混合,其中按重量计Mo粉:Nb粉=5~15:85~95,然后将模具放入烧结炉中升温至900~1100℃,保温60~180分钟,然后升温至1900~2200℃,保温60~180分钟,升温过程中通入氢气进行保护,在升温的同时开始加压,压力为1~3吨,当温度到达1850~2000℃时,升压到4~7吨,在2000~2200℃时保压4~7吨,直到保温结束,保温结束后降温降压,然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明提供了一种成本低廉,但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法,主要应用于平板显示器等领域。

    一种钼合金靶材的制作方法

    公开(公告)号:CN103143710A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310102230.4

    申请日:2013-03-27

    Abstract: 本发明涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是,包括如下步骤:首先将钼粉和铌粉装入模具中混合,其中按重量计Mo粉:Nb粉=5~15:85~95,然后将模具放入烧结炉中升温至900~1100℃,保温60~180分钟,然后升温至1900~2200℃,保温60~180分钟,升温过程中通入氢气进行保护,在升温的同时开始加压,压力为1~3吨,当温度到达1850~2000℃时,升压到4~7吨,在2000~2200℃时保压4~7吨,直到保温结束,保温结束后降温降压,然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明提供了一种成本低廉,但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法,主要应用于平板显示器等领域。

    一种管状陶瓷靶材的压力注浆成型模具

    公开(公告)号:CN204844461U

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201420758737.5

    申请日:2014-12-05

    Abstract: 本实用新型涉及一种管状陶瓷靶材的压力注浆成型模具。其特点是:包括下模底座(2),在该下模底座(2)上设有圆筒状的上模(1),在该上模(1)内的下模底座(2)上设有管状的中空模框(3),在该中空模框(3)上开有排水孔(6),而在该中空模框(3)的外壁与上模(1)的内壁之间留有间隙从而容纳浆料,并且在该中空模框(3)的外壁上还覆盖有滤层(4);在前述的上模(1)上开有压力注浆口(5)。本实用新型提供了一种管状陶瓷靶材的压力注浆成型模具,具有模具构造简单、制备的陶瓷靶材素坯密度高等优点,脱模方便,不会出现粘模现象,尤其是可消除陶瓷靶材素坯表面的龟裂纹现象,素坯烧结后无气孔。

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