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公开(公告)号：CN103146974A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310102061.4
申请日：2013-03-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种靶材用钼铌合金板的制备方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉按照5～15：85～95的质量比混合得到混合粉，将该混合粉压成合金坯，然后进行烧结，烧结过程中通入氢气进行保护，当烧结温度到1000℃保温2～3小时，再升温到1700℃保温2～3小时，然后升温到1950℃保温8～10小时，最终烧结成合金坯状，再经过1200～1400℃高温煅造后在1500～1600℃下轧制成板材即可。本发明提供了一种成本低廉，质量等各方面能满足要求的靶材用钼铌合金板的新方法，产品主要应用于平板显示器等领域。
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公开(公告)号：CN103146974B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310102061.4
申请日：2013-03-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种靶材用钼铌合金板的制备方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉按照5～15：85～95的质量比混合得到混合粉，将该混合粉压成合金坯，然后进行烧结，烧结过程中通入氢气进行保护，当烧结温度到1000℃保温2～3小时，再升温到1700℃保温2～3小时，然后升温到1950℃保温8～10小时，最终烧结成合金坯状，再经过1200～1400℃高温煅造后在1500～1600℃下轧制成板材即可。本发明提供了一种成本低廉，质量等各方面能满足要求的靶材用钼铌合金板的新方法，产品主要应用于平板显示器等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103143710B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310102230.4
申请日：2013-03-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B22F3/16
Abstract: 本发明涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明提供了一种成本低廉，但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法，主要应用于平板显示器等领域。
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公开(公告)号：CN103708812A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310681363.1
申请日：2013-12-12
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: C04B35/01 , C04B35/453 , C04B35/622
Abstract: 本发明涉及一种溅射用IGZO氧化物靶材的制备方法。其特点是，包括如下步骤：（1）将原料In2O3、Ga2O3和ZnO按原子比1:0.5～1.5:0.5～1.5比例混合；（2）将得到的混合料湿法球磨12-18h；（3）将球磨后的混合料装入模具中，保持压力1MPa～2MPa，保压时间1小时～3小时；（4）将得到的胚块在10℃～20℃时干燥5-7天；（5）将胚块在1200℃～1450℃烧结，保温180～300min，冷却后即可得到溅射用IGZO氧化物靶材。本发明提供了一种成本低廉，质量等各方面能满足要求的制取IGZO靶胚的制备方法，可以制备形状复杂、尺寸大、密度均匀的IGZO基氧化物坯体。
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公开(公告)号：CN103143710A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310102230.4
申请日：2013-03-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B22F3/16
Abstract: 本发明涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明提供了一种成本低廉，但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法，主要应用于平板显示器等领域。
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公开(公告)号：CN105177513A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510228169.7
申请日：2015-05-07
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
CPC classification number: Y02P10/295
Abstract: 本发明涉及半导体用高纯钽靶材的粉末冶金制备方法，尤其是一种用粉末冶金法制备高性能钽靶材的方法。其特点是，包括如下步骤：(1)将要烧结的钽粉末装入模具中；(2)将模具放入电火花烧结炉中对粉末进行放电等离子烧结；(3)烧结结束后，冷却至不超过160℃后出炉，脱模；(4)对得到的钽靶坯机械加工成所需尺寸即可。采用本发明的方法可以得到粒度均匀、无织构的内部组织，提高靶材性能，本发明方法还具有烧结温度低，可快速烧结出致密钽靶材，靶材内部晶粒均匀细小，无择优取向等特点。
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公开(公告)号：CN105133020A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510512843.4
申请日：2015-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
Abstract: 一种粉末合成法制备钽、铌及其合金单晶的方法，制备过程主要包括：将钽铌及其合金粉末装入模具中；将模具装入电火花烧结炉中施加一定的压力，对粉末进行电火花烧结；烧结完后，炉温降至100℃以下出炉，取出烧结块去除表皮即为钽铌及其合金单晶。该方法具有工艺流程短、操作简单、单晶制备速度快等优点。
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