公开(公告)号：CN110536775A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201880025797.7

申请日：2018-05-17

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 中濑惠介

IPC: B24B37/26 ,  B24B37/00 ,  B24B37/12 ,  B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其具备基材、和配置于该基材上的树脂部，该树脂部单独或与上述基材共同构成凹凸图案，上述凹凸图案为具有研磨面的多个凸部排列而成的图案，在上述基材表面的每单位面积(1cm2)中，对上述凸部施加500g/cm2的研磨压力时的上述研磨面的总面积为0.05～0.8cm2，凸部的斜边与底边所成的角θ为5～60°。

公开(公告)号：CN108349062A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063033.8

申请日：2016-10-25

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  栗原浩 ,  柏田太志 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨材料，其具有以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物中的树脂。

公开(公告)号：CN108349062B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201680063033.8

申请日：2016-10-25

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  栗原浩 ,  柏田太志 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨材料，其具有以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物中的树脂。

公开(公告)号：CN109195745B

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201780033152.3

申请日：2017-05-29

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  柏田太志 ,  山田龙也 ,  楢田洋祐 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其包含以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物的树脂，具有沿所述针织物的面方向切剖而形成的剖面作为研磨面。

公开(公告)号：CN110536775B

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN201880025797.7

申请日：2018-05-17

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 中濑惠介

IPC: B24B37/26 ,  B24B37/00 ,  B24B37/12 ,  B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其具备基材、和配置于该基材上的树脂部，该树脂部单独或与上述基材共同构成凹凸图案，上述凹凸图案为具有研磨面的多个凸部排列而成的图案，在上述基材表面的每单位面积(1cm2)中，对上述凸部施加500g/cm2的研磨压力时的上述研磨面的总面积为0.05～0.8cm2，凸部的斜边与底边所成的角θ为5～60°。

公开(公告)号：CN109195745A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780033152.3

申请日：2017-05-29

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  柏田太志 ,  山田龙也 ,  楢田洋祐 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其包含以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物的树脂，具有沿所述针织物的面方向切剖而形成的剖面作为研磨面。