基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN108955995B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN201810865937.3

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;所述绝缘层位于基底的顶面;所述压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108827523A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201810864753.5

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测仪器技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器以其制备方法。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳;基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;绝缘层位于基底的顶面,且位于应力腔的正上方;压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;金属外壳安装在基底的顶面,并将绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内,在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本发明的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    一种金刚石薄膜深海温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107702821A

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201710957111.5

    申请日:2017-10-16

    CPC classification number: G01K13/02

    Abstract: 本发明公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器,包括一端密封的筒状金属耐压外壳,所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底,所述金刚石基底一侧设有温度响应元件,所述温度响应元件为双螺旋线状结构,所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线,所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层,所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触;所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料,同时公开了该温度传感器的制备方法,本发明所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。

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