公开(公告)号：CN103295896A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310180448.1

申请日：2007-02-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·马耀 ,  M·杨 ,  A·巴拉克里希纳 ,  P·凯里 ,  D·詹宁斯 ,  S·莫法特 ,  W·谢弗 ,  A·N·雷纳 ,  T·N·托马斯 ,  A·M·亨特

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/26506 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/268 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/823418 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/66659

Abstract: 本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和／或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭（hyper-abrupt）掺杂剂浓度的区域。

公开(公告)号：CN103295896B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310180448.1

申请日：2007-02-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·马耀 ,  M·杨 ,  A·巴拉克里希纳 ,  P·凯里 ,  D·詹宁斯 ,  S·莫法特 ,  W·谢弗 ,  A·N·雷纳 ,  T·N·托马斯 ,  A·M·亨特

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/26506 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/268 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/823418 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/66659

Abstract: 本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和／或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭（hyper-abrupt）掺杂剂浓度的区域。

公开(公告)号：CN101395712B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200780008142.0

申请日：2007-02-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·马耀 ,  M·杨 ,  A·巴拉克里希纳 ,  P·凯里 ,  D·詹宁斯 ,  S·莫法特 ,  W·谢弗 ,  A·N·雷纳 ,  T·N·托马斯 ,  A·M·亨特

IPC: H01L21/76

CPC classification number: H01L21/26506 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/268 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/823418 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/66659

Abstract: 本发明一般描述用来在衬底的预期区域上执行退火处理的一种或多种设备及多种方法。在一个实施例中，传送一定量的能量至衬底表面以优先熔化衬底的某些预期区域，以去除先前处理步骤造成的不需要的损害，而使掺杂剂更均匀地分布在衬底的各个区域内，和/或活化衬底的各个区域。因为掺杂剂原子在衬底的熔化区内的扩散速率以及溶解度增加，所以该优先熔化处理使这些掺杂剂可更均匀地分布在熔化区内。因而熔化区的创建容许：1)这些掺杂剂原子更均匀地重新分布，2)去除先前处理步骤中所造成的缺陷，以及3)形成具有超陡峭(hyper-abrupt)掺杂剂浓度的区域。