基板处理系统、基板翻转装置和方法

    公开(公告)号:CN108666232A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201710193707.2

    申请日:2017-03-28

    Applicant: 雷仲礼

    Inventor: 雷仲礼

    Abstract: 本申请公开了一种基板翻转装置及翻转方法,此外,本申请还公开了一种基板处理系统。在该基板处理系统内设置有翻转室,该翻转室内设置有基板翻转装置。当基板的一个表面处理完成后,该基板由传送室内的基板传送装置传送至翻转室,利用翻转室内的基板翻转装置可以在真空环境下实现基板的翻转,翻转后,再由传送室内的基板传送装置传送至工艺反应室,对基板的另一表面进行处理,完成基板正、背两面上的处理。如此,通过本申请提供的基板处理系统无需将基板传送至系统外进行翻转,通过其包括的翻转室以及翻转室内的基板翻转装置就能够使得基板在基板处理系统内完成翻转,因此,通过本申请提供的基板处理系统能够提高基板加工效率,减少基板污染几率。

    光电转换装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105723521B

    公开(公告)日:2018-01-23

    申请号:CN201480062323.1

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种吸光率高且能够提高发电效率的量子点层以及太阳能电池。光电转换层(1)具备具有多个量子点(3)以及包围该量子点(3)的阻挡部(4)的含量子点层(5),在含量子点层(5)的厚度方向的剖面,提取在含量子点层(5)的表面(7)侧在平面方向上相邻排列的3个量子点(3、3a),在描绘了连结位于两侧的2个量子点(3)的表面(7)侧的端部的直线(L)时,位于中央的量子点(3a)从直线向表面(7)侧突出了该位于中央的量子点(3a)的直径的1/2以上。由此能够得到光探测层(17)中的吸光率高且发电效率高的光电转换层(1)以及使用了该光电转换层的光电转换装置。

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