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公开(公告)号:CN106795619A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201480082002.8
申请日:2014-09-17
Abstract: 本发明提供一种不仅充分地改善低摩擦性与耐磨损性的并存而且也改善耐碎片性(耐缺损性)或耐剥离性的被覆膜及其制造方法以及PVD装置。一种被覆膜,被覆在基材的表面上,并且形成有在通过明视场TEM图像对截面进行观察时在相对于基材垂直的方向上相连呈柱状的硬质碳层,硬质碳层是使用PVD法而形成,在利用拉曼分光法对硬质碳层进行测定时,拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1~6。本发明的被覆膜的制造方法及装置使用电弧式PVD法,以将基材温度维持于250℃~400℃的方式控制偏向电压、电弧电流、加热器温度和/或炉内压力,并且一面使基材自转和/或公转一面在基材的表面上被覆硬质碳膜。
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公开(公告)号:CN114466950A
公开(公告)日:2022-05-10
申请号:CN202080068880.X
申请日:2020-09-30
Applicant: 日本活塞环株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供具有示出恒定且稳定的抗削性和耐磨损性、并且耐剥离性(密合性)优异的包覆膜的滑动构件、及该包覆膜。其解决方法是滑动构件(10),其在基材(11)上的滑动面(16)上具有包覆膜(1),在通过明视野TEM图像观察包覆膜(1)的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层(B)和相对地由白色表示的白色硬质碳层(W)的重复单元在厚度方向(Y)上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的合计厚度,在相邻的黑色硬质碳层B和白色硬质碳层(W)中,白色硬质碳层(W)的硬度比黑色硬质碳层(B)高,白色硬质碳层(W)的[sp2/(sp2+sp3)]比比黑色硬质碳层(B)大。
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公开(公告)号:CN105765274B
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201580002751.X
申请日:2015-01-30
Applicant: 日本活塞环株式会社
CPC classification number: C23C14/0605 , C23C14/025 , C23C14/32 , C23C28/322 , C23C28/343 , C23C28/347 , F16J9/26
Abstract: 本发明的课题在于,提供一种活塞环及其制造方法,该活塞环具有耐磨损性和初期磨合性优异的硬质碳膜。而且,通过活塞环(10)解决上述课题,该活塞环(10)具有形成于活塞环基材(1)的至少外周滑动面(11)上的硬质碳膜(4),该硬质碳膜(4)通过使电子能量损失谱法(EELS)与透射电子显微镜(TEM)组合的TEM-EELS光谱法测量的sp2成分比为40%以上且80%以下的范围内,且氢含量为0.1原子%以上且5原子%以下的范围内,显现于表面的大颗粒量以面积比例计为0.1%以上且10%以下的范围内。硬质碳膜(4)形成于在低速成膜条件下形成于活塞环基材(1)侧的硬质碳基底膜(3)上,硬质碳基底膜(3)以形成硬质碳膜(4)时的电弧电流值的80%以下的电弧电流值形成。
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公开(公告)号:CN103403409B
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201280010250.2
申请日:2012-02-27
Applicant: 日本活塞环株式会社
Abstract: 一种活塞环,其为内燃机用第二压力环,为了提供耐磨损性优异且能以低成本形成,该内燃机用的第二压力环以外周面形状为锥形面且径向截面形状成为矩形环、刮油环及钩形环的任一种而形成,并具有活塞环基材(10)和设于其的至少外周滑动面(14)上的硬质覆盖膜(20)。活塞环基材(10)由维氏硬度Hv350~550的碳钢材或低合金钢构成,外周滑动面(14)形成为从活塞环基材(10)的上端朝向下端逐渐向外侧伸出的锥形状,且形成为锥形状的外周滑动面(14)的外缘端部(16)和从外缘端部(16)朝向轴向的下端逐渐向内侧缩径的曲面与环下面(12)平行的下端面或与下端部相接的虚拟线之间的轴向的长度形成为0.01~0.30mm。
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公开(公告)号:CN105765274A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:CN201580002751.X
申请日:2015-01-30
Applicant: 日本活塞环株式会社
CPC classification number: C23C14/0605 , C23C14/025 , C23C14/32 , C23C28/322 , C23C28/343 , C23C28/347 , F16J9/26
Abstract: 本发明的课题在于,提供一种活塞环及其制造方法,该活塞环具有耐磨损性和初期磨合性优异的硬质碳膜。而且,通过活塞环(10)解决上述课题,该活塞环(10)具有形成于活塞环基材(1)的至少外周滑动面(11)上的硬质碳膜(4),该硬质碳膜(4)通过使电子能量损失谱法(EELS)与透射电子显微镜(TEM)组合的TEM-EELS光谱法测量的sp2成分比为40%以上且80%以下的范围内,且氢含量为0.1原子%以上且5原子%以下的范围内,显现于表面的大颗粒量以面积比例计为0.1%以上且10%以下的范围内。硬质碳膜(4)形成于在低速成膜条件下形成于活塞环基材(1)侧的硬质碳基底膜(3)上,硬质碳基底膜(3)以形成硬质碳膜(4)时的电弧电流值的80%以下的电弧电流值形成。
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公开(公告)号:CN114466950B
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202080068880.X
申请日:2020-09-30
Applicant: 日本活塞环株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供具有示出恒定且稳定的抗削性和耐磨损性、并且耐剥离性(密合性)优异的包覆膜的滑动构件、及该包覆膜。其解决方法是滑动构件(10),其在基材(11)上的滑动面(16)上具有包覆膜(1),在通过明视野TEM图像观察包覆膜(1)的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层(B)和相对地由白色表示的白色硬质碳层(W)的重复单元在厚度方向(Y)上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的合计厚度,在相邻的黑色硬质碳层B和白色硬质碳层(W)中,白色硬质碳层(W)的硬度比黑色硬质碳层(B)高,白色硬质碳层(W)的[sp2/(sp2+sp3)]比比黑色硬质碳层(B)大。
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公开(公告)号:CN108368602B
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN201680073541.4
申请日:2016-12-16
Abstract: 提供一种技术,其为PVD法,却可将耐久性优异的厚膜的硬质碳膜成膜,并且可使经成膜的硬质碳膜的耐碎片性与耐磨损性并存,并且可改善低摩擦性与耐剥离性。一种被覆膜,其为被覆于基材的表面上的被覆膜,且在利用明视场TEM图像观察截面时,在厚度方向上交替层叠有相对地以白显示的白色的硬质碳层、与以黑显示的黑色的硬质碳层且具有超过1μm且50μm以下的总膜厚,并且白色的硬质碳层具有在厚度方向上呈扇状成长的区域。一种被覆膜的制造方法,其为使用PVD法在基材的表面上将所述被覆膜成膜的制造方法。一种PVD装置,其为所述的被覆膜的制造方法中使用的电弧式物理气相沉积装置。一种活塞环,其至少在外周滑动面上具有所述的被覆膜。
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公开(公告)号:CN107587107A
公开(公告)日:2018-01-16
申请号:CN201710817318.2
申请日:2014-02-27
Applicant: 日本活塞环株式会社
Abstract: 本发明提供一种活塞环,其具有能够容易地在同一批次内形成,不会产生层间剥离,初始融合性及耐磨性优异的硬质碳被膜。一种硬质碳被膜,其形成于活塞环基材的至少外周滑动面上,实质上不含氢,所述硬质碳被膜利用使电子能量损失谱法(EELS)与透射型电子显微镜(TEM)组合成的TEM-EELS光谱法测定的sp2成分比为40%~80%,含有的大颗粒的硬质碳被膜表面的面积比为0.1%~10.0%。
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公开(公告)号:CN104903631B
公开(公告)日:2017-10-10
申请号:CN201480003731.X
申请日:2014-02-27
Applicant: 日本活塞环株式会社
CPC classification number: F16J9/28 , C23C14/0605 , C23C14/325 , F16J9/26
Abstract: 本发明提供一种活塞环,其具有能够容易地在同一批次内形成,不会产生层间剥离,初始融合性及耐磨性优异的硬质碳被膜。一种硬质碳被膜,其形成于活塞环基材的至少外周滑动面上,实质上不含氢,所述硬质碳被膜利用使电子能量损失谱法(EELS)与透射型电子显微镜(TEM)组合成的TEM‑EELS光谱法测定的sp2成分比为40%~80%,含有的大颗粒的硬质碳被膜表面的面积比为0.1%~10.0%。
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公开(公告)号:CN110770362B
公开(公告)日:2022-03-22
申请号:CN201880040572.9
申请日:2018-06-15
Abstract: 本发明的课题是提供具有示出一定且稳定的抗削性和耐磨损性、并且耐剥离性(密合性)优异的包覆膜的滑动构件、及该包覆膜。其解决方法是滑动构件(10),其在基材(11)的滑动面(16)具有由硬质碳层形成的包覆膜(1),上述包覆膜(1)如下所述地构成:通过明视野TEM图像观察包覆膜(1)的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层(B)和相对地由白色表示的白色硬质碳层(W)的重复单元在厚度方向上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的厚度,包覆膜(1)具有设置于基材侧的倾斜区域(2)和设置于滑动构件(10)的表面侧的均质区域(3),在上述倾斜区域(2),重复单元中的白色硬质碳层(W)的厚度在厚度方向上逐渐变大,在上述均质区域(3),重复单元中的白色硬质碳层(W)的厚度在厚度方向上相同或大致相同,从而解决了上述问题。
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