物理量测定装置及其制造方法、以及物理量测定元件

    公开(公告)号:CN109154531A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201780022928.1

    申请日:2017-04-13

    Abstract: 提供一种使接合层的接合温度降低到不影响半导体芯片动作的温度,确保半导体芯片和基台的绝缘性的物理量测定装置。包括:基台(隔膜(14b));基于作用于基台的应力来测定物理量的半导体芯片(应变检测元件(30));将半导体芯片接合到基台的接合层(20)。接合层(20)具有:接合于半导体芯片的第一接合层(21);接合于基台的第二接合层(22);配置于第一接合层(21)和第二接合层(22)之间的绝缘基材(23)。第一接合层(21)及第二接合层(22)包含玻璃。第一接合层(21)的热膨胀系数为第二接合层(22)的热膨胀系数以下,第二接合层(22)的软化点为半导体芯片的耐热温度以下,第一接合层(21)的软化点为第二接合层(22)的软化点以下。

    物理量测定装置及其制造方法、以及物理量测定元件

    公开(公告)号:CN109154531B

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN201780022928.1

    申请日:2017-04-13

    Abstract: 提供一种使接合层的接合温度降低到不影响半导体芯片动作的温度,确保半导体芯片和基台的绝缘性的物理量测定装置。包括:基台(隔膜(14b));基于作用于基台的应力来测定物理量的半导体芯片(应变检测元件(30));将半导体芯片接合到基台的接合层(20)。接合层(20)具有:接合于半导体芯片的第一接合层(21);接合于基台的第二接合层(22);配置于第一接合层(21)和第二接合层(22)之间的绝缘基材(23)。第一接合层(21)及第二接合层(22)包含玻璃。第一接合层(21)的热膨胀系数为第二接合层(22)的热膨胀系数以下,第一接合层(21)的软化点为半导体芯片的耐热温度以下,第二接合层(22)的软化点为第一接合层(21)的软化点以下。

    热式流量计
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106461441B

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201580028619.6

    申请日:2015-05-25

    Abstract: 在通过周期信号的频率来表示空气的流量的热式流量计中,在抑制高频噪声的同时,避免由频率变化引起的输出信号的波形异常。本发明的热式流量计具备并联连接了的多个开关元件,根据表示流量的周期信号的频率变化而使开关元件间的延迟幅度变化。

    热式流量计
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106461441A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580028619.6

    申请日:2015-05-25

    Abstract: 在通过周期信号的频率来表示空气的流量的热式流量计中,在抑制高频噪声的同时,避免由频率变化引起的输出信号的波形异常。本发明的热式流量计具备并联连接了的多个开关元件,根据表示流量的周期信号的频率变化而使开关元件间的延迟幅度变化。

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