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公开(公告)号：CN102574371A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080047609.4
申请日：2010-10-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B7/06 , B32B17/06 , B32B17/10 , B32B17/10293 , C03C3/062 , C03C3/122 , C03C3/19 , C03C8/08 , C03C8/24 , C03C27/10 , G02F1/1333 , G02F2001/133302 , H05B33/10 , Y10T156/10 , Y10T428/24967 , Y10T428/31601 , Y10T428/31612 , Y10T428/31645
Abstract: 本发明涉及一种玻璃层叠体。该玻璃层叠体具有：具有第1主表面与第2主表面的薄板玻璃基板；具有第1主表面与第2主表面的支承玻璃基板，该支承玻璃基板的第1主表面与上述薄板玻璃基板的第1主表面相对配置；树脂层，其形成在上述薄板玻璃基板与上述支承玻璃基板之间，固定在上述支承玻璃基板的第1主表面上，该树脂层以具有相对于上述薄板玻璃基板的第1主表面的可剥离性的方式与该薄板玻璃基板的第1主表面紧密接触；以及外框层，其含有玻璃类封接材料，在上述树脂层的周缘部的外侧通过烧结而形成。
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公开(公告)号：CN101946208A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200980105684.9
申请日：2009-02-19
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , C03C23/0025 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F1/72 , G21K2201/067
Abstract: 本发明提供一种使EUVL用光学部件的具有凹形缺陷的光学表面平滑的方法。本发明涉及一种使EUVL用光学部件的光学表面平滑的方法，其包括：用波长为250nm以下的准分子激光以0.5～2.0J/cm2的能量密度照射EUV光刻(EUVL)用光学部件的具有凹形缺陷的光学表面，所述光学部件由包含SiO2作为主要成分的含TiO2的石英玻璃材料制成。
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公开(公告)号：CN102150218B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN200980135762.X
申请日：2009-08-19
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G21K1/06 , C03C23/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B82Y40/00 , B82Y10/00 , C03C23/0025 , C03C2204/08 , G03F1/24 , G03F1/60 , G21K2201/067
Abstract: 本发明提供一种将EUVL用光学部件的具有凹陷缺陷点的光学面平滑化的方法。具体而言，本发明提供一种如下所述将EUVL用光学部件的光学面平滑化的方法，即，对含有TiO2且以SiO2为主成分的石英玻璃材料制的EUV光刻(EUVL)用光学部件的具有凹陷缺陷点的光学面，在水蒸气分压3.6mmHg以下的气氛中，以能量密度0.3～1.5J/cm2，照射以EUVL用光学部件的吸收系数为0.01μm-1以上的波长进行振荡的激光，从而将EUVL用光学部件的光学面平滑化。
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公开(公告)号：CN102300820B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201080006824.X
申请日：2010-02-01
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03C3/076 , C03C23/0025 , Y10T428/24273
Abstract: 本发明的课题是提供即使在层叠接合于硅晶片上后经过热处理也不易与硅晶片剥离的具有多个贯通孔的玻璃基板。满足下述条件的玻璃基板可解决上述课题：50℃～300℃的平均热膨胀系数为10×10-7/K以上50×10-7/K以下，具有多个锥角为0.1～20度的贯通孔，厚度为0.01mm以上5mm以下。
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公开(公告)号：CN102947239A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201180029589.2
申请日：2011-06-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C27/06 , C03C8/24 , G02F1/1339 , H05B33/04
CPC classification number: C03C8/24 , C03C8/04 , C03C27/06 , G02F1/1303 , G02F1/1339 , H01J9/261 , H01J11/48 , H01J2211/48 , H01J2329/867 , H01J2329/8675 , Y10T428/239
Abstract: 本发明提供在对两块玻璃基板间进行激光密封时，能够抑制玻璃基板及密封层产生裂纹或破裂等的电子器件。电子器件(1)具备第一玻璃基板(2)、第二玻璃基板(3)和在它们之间形成的密封层(6)。密封层(6)由含有密封玻璃、低膨胀填充材料和激光吸收材料的密封材料的熔融固着层构成。观察密封层(6)的截面时，存在于每单位面积的低膨胀填充材料和激光吸收材料的周长的和(流动性阻碍值)为0.7～1.3μm-1，并且，密封玻璃的面积比例乘以该密封玻璃的热膨胀系数而得的值、与低膨胀填充材料和激光吸收材料的面积比例的和乘以低膨胀填充材料的热膨胀系数而得的值的和(热膨胀值)为50～90×10-7/℃。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102066280A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201080002297.5
申请日：2010-04-01
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C27/06 , G02F1/1339 , G09F9/30 , H01J9/26 , H01J29/86
CPC classification number: H01J9/261 , C03C8/24 , C03C23/0025 , C03C27/10 , G02F1/1339 , G02F2001/133354 , H01J11/10 , H01J11/48
Abstract: 本发明提供即使在无法对整块玻璃基板加热的情况下也能良好地形成密封材料层的带密封材料层的玻璃构件的制造方法。将包含密封玻璃和激光吸收材料的密封材料与有机粘合剂混合而制成密封材料糊料，将该密封材料糊料以框状涂布在玻璃基板(2)的密封区域上。沿着框状的密封材料糊料的涂布层(8)照射激光(9)来选择性地对涂布层(8)加热，从而在除去涂布层(8)内的有机粘合剂的同时对密封材料进行烧成而形成密封材料层(7)。用该密封材料层(7)将两块玻璃基板之间密封。
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公开(公告)号：CN102574371B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201080047609.4
申请日：2010-10-12
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B7/06 , B32B17/06 , B32B17/10 , B32B17/10293 , C03C3/062 , C03C3/122 , C03C3/19 , C03C8/08 , C03C8/24 , C03C27/10 , G02F1/1333 , G02F2001/133302 , H05B33/10 , Y10T156/10 , Y10T428/24967 , Y10T428/31601 , Y10T428/31612 , Y10T428/31645
Abstract: 本发明涉及一种玻璃层叠体。该玻璃层叠体具有：具有第1主表面与第2主表面的薄板玻璃基板；具有第1主表面与第2主表面的支承玻璃基板，该支承玻璃基板的第1主表面与上述薄板玻璃基板的第1主表面相对配置；树脂层，其形成在上述薄板玻璃基板与上述支承玻璃基板之间，固定在上述支承玻璃基板的第1主表面上，该树脂层以具有相对于上述薄板玻璃基板的第1主表面的可剥离性的方式与该薄板玻璃基板的第1主表面紧密接触；以及外框层，其含有玻璃类封接材料，在上述树脂层的周缘部的外侧通过烧结而形成。
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公开(公告)号：CN101946208B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN200980105684.9
申请日：2009-02-19
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , C03C23/0025 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F1/72 , G21K2201/067
Abstract: 本发明提供一种使EUVL用光学部件的具有凹形缺陷的光学表面平滑的方法。本发明涉及一种使EUVL用光学部件的光学表面平滑的方法，其包括：用波长为250nm以下的准分子激光以0.5～2.0J/cm2的能量密度照射EUV光刻(EUVL)用光学部件的具有凹形缺陷的光学表面，所述光学部件由包含SiO2作为主要成分的含TiO2的石英玻璃材料制成。
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公开(公告)号：CN102844857A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201180019560.6
申请日：2011-04-14
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L23/15
CPC classification number: H01L23/15 , H01L21/4807 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , Y10T428/24273 , Y10T428/24298 , H01L2924/00
Abstract: 提供与现有的半导体器件贯通电极用的玻璃基板相比具有更加良好的强度的玻璃基板。本发明涉及玻璃基板，其特征在于，其为具有第1表面和第2表面，且具有从所述第1表面延伸到所述第2表面的贯通孔的半导体器件贯通电极用的玻璃基板，其中，所述第1表面和第2表面的至少一个进行了化学强化。
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公开(公告)号：CN101855939A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115346.9
申请日：2008-11-06
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H01L51/5268 , H01L51/56 , H01L2251/5346 , H01L2251/5361 , H01L2251/5392 , H05B33/10 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供提取效率最大提高到发射光的80％的有机LED元件，本发明提供一种透光性基板，包含：透光性玻璃基板；在所述玻璃基板上形成的包含玻璃的散射层，所述散射层包含对于透射光的至少一个波长具有第一折射率的基材、和分散在所述基材中并且具有与所述基材不同的第二折射率的许多散射物质；和在所述散射层上形成的、具有高于所述第一折射率的第三折射率的透光性电极，所述散射物质在所述散射层内的分布向所述透光性电极减少。
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