公开(公告)号：CN119698494A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202380059419.1

申请日：2023-08-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 克里斯多夫·马修·琼斯 ,  亚伦·德宾 ,  泰迪亚斯·班福德 ,  约翰·福尔登·斯顿夫 ,  保罗·C·莱曼利 ,  布莱斯·以赛亚·埃德蒙森 ,  约瑟夫·R·阿贝尔

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/448 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52

Abstract: 一种包含流量控制部件模块、液体流量控制器和汽化器模块的模块化蒸气输送系统，流量控制部件模块包含第一入口端口和第二入口端口，液体流量控制器耦合至流量控制部件模块的出口端口，且汽化器模块耦合至液体流量控制器的出口端口。

公开(公告)号：CN115698375A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180043441.8

申请日：2021-10-08

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 施瑞拉姆·瓦桑特·巴帕特 ,  潘卡杰·甘希亚姆·拉姆纳尼 ,  布莱恩·约瑟夫·威廉姆斯 ,  克里斯多夫·马修·琼斯 ,  柯蒂斯·W·贝利 ,  埃米尔·德拉佩 ,  纳格拉杰·尚卡尔

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/509

Abstract: 在一些示例中，无面板喷头包含：包括背板的主体，该主体没有面板或充气室；气体供应杆，其使得气体能进入喷头；以及阻流板，其被支撑在邻近背板或气体供应杆处。无面板喷头还可以包含用于在背板或气体供应杆中的阻流板空腔中支撑阻流板的至少一个支撑元件。

公开(公告)号：CN119744433A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202380059809.9

申请日：2023-08-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 克里斯多夫·马修·琼斯 ,  亚伦·德宾 ,  亚伦·布莱克·米勒 ,  保罗·C·莱曼利 ,  布赖斯·以赛亚·埃德蒙森 ,  约瑟夫·R·阿贝尔

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种装置包含：喷头，其包含圆盘和与该圆盘耦合的主干；以及调整器，其与该主干耦合。该调整器包含：衔接器，其包含加热器插件；以及流体管线，其靠近该加热器插件，其中该加热器插件从该衔接器的顶部表面经由该衔接器中的第一空腔延伸至该主干中的第二空腔中。该衔接器还包含波纹管，其包含凸缘，其中该波纹管经由该凸缘与该衔接器耦合。