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公开(公告)号：CN111670492A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201980011311.9
申请日：2019-01-28
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 帕特里克·布莱琳 , 蒂莫西·S·托马斯 , 拉梅什·钱德拉斯哈兰 , 文森特·布克哈特
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H02N13/00 , B23Q3/15
Abstract: 一种静电衬底卡盘带有衬底背面清扫，以防止偶然的背面沉积，并提供散热，以防止或减轻密封件失效。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117488282A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311230692.4
申请日：2018-08-31
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: C23C16/505
Abstract: 将射频源与等离子体处理系统的衬底支撑件连接的热阻流杆包含具有第一接头与第二接头的管状构件，第一接头用于连接至与衬底支撑件耦合的RF杆，第二接头用于连接至与RF源耦合的RF带。管状区段在第一与第二接头之间延伸。第一接头具有锥形末端区域以及切口，该锥形末端区域在朝向管状区段的方向上从第一接头的内表面倾斜至外表面，所述切口从第一接头的终端延伸指定距离。管状区段的外表面具有螺纹区域，该螺纹区域用于与环状盖部进行螺纹啮合，该环状盖部安装在第一接头之上并且在与第一接头的锥形末端区域接触时减小第一接头的内径。
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公开(公告)号：CN111052299B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201880057283.X
申请日：2018-08-31
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 将射频源与等离子体处理系统的衬底支撑件连接的热阻流杆包含具有第一接头与第二接头的管状构件，第一接头用于连接至与衬底支撑件耦合的RF杆，第二接头用于连接至与RF源耦合的RF带。管状区段在第一与第二接头之间延伸。第一接头具有锥形末端区域以及切口，该锥形末端区域在朝向管状区段的方向上从第一接头的内表面倾斜至外表面，所述切口从第一接头的终端延伸指定距离。管状区段的外表面具有螺纹区域，该螺纹区域用于与环状盖部进行螺纹啮合，该环状盖部安装在第一接头之上并且在与第一接头的锥形末端区域接触时减小第一接头的内径。
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公开(公告)号：CN111052299A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201880057283.X
申请日：2018-08-31
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 将射频源与等离子体处理系统的衬底支撑件连接的热阻流杆包含具有第一接头与第二接头的管状构件，第一接头用于连接至与衬底支撑件耦合的RF杆，第二接头用于连接至与RF源耦合的RF带。管状区段在第一与第二接头之间延伸。第一接头具有锥形末端区域以及切口，该锥形末端区域在朝向管状区段的方向上从第一接头的内表面倾斜至外表面，所述切口从第一接头的终端延伸指定距离。管状区段的外表面具有螺纹区域，该螺纹区域用于与环状盖部进行螺纹啮合，该环状盖部安装在第一接头之上并且在与第一接头的锥形末端区域接触时减小第一接头的内径。
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公开(公告)号：CN111670492B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN201980011311.9
申请日：2019-01-28
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 帕特里克·布莱琳 , 蒂莫西·S·托马斯 , 拉梅什·钱德拉斯哈兰 , 文森特·布克哈特
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H02N13/00 , B23Q3/15
Abstract: 一种静电衬底卡盘带有衬底背面清扫，以防止偶然的背面沉积，并提供散热，以防止或减轻密封件失效。
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公开(公告)号：CN118591874A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202380015927.X
申请日：2023-01-27
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 帕特里克·G·布莱琳 , 谢尔盖·G·别洛斯托茨基 , 蒂莫西·S·托马斯 , 乔尔·霍林斯沃思 , 拉梅什·钱德拉塞卡拉 , 穆罕默德·瓦希迪
IPC: H01L21/687 , H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明描述了一种晶片卡盘组件，其包含具有一或多个等离子体电极的平台以及射频(RF)组件，射频(RF)组件包含电耦合至一或多个等离子体电极的至少一个RF导体。该至少一个RF导体包含杆，其杆尖耦合至该一或多个等离子体电极，以及其杆柄机械性地耦合至具有中空内部的热扼流器。该杆包含第一导电材料且具有第一宽度和第一长度。热扼流器包含第二导电材料且具有第二宽度和第二长度；且第二宽度等于或大于第一宽度。
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