公开(公告)号：CN118591874A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202380015927.X

申请日：2023-01-27

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 帕特里克·G·布莱琳 ,  谢尔盖·G·别洛斯托茨基 ,  蒂莫西·S·托马斯 ,  乔尔·霍林斯沃思 ,  拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  穆罕默德·瓦希迪

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明描述了一种晶片卡盘组件，其包含具有一或多个等离子体电极的平台以及射频(RF)组件，射频(RF)组件包含电耦合至一或多个等离子体电极的至少一个RF导体。该至少一个RF导体包含杆，其杆尖耦合至该一或多个等离子体电极，以及其杆柄机械性地耦合至具有中空内部的热扼流器。该杆包含第一导电材料且具有第一宽度和第一长度。热扼流器包含第二导电材料且具有第二宽度和第二长度；且第二宽度等于或大于第一宽度。

公开(公告)号：CN118648097A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202380019410.8

申请日：2023-01-24

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 斯蒂芬·托平 ,  帕特里克·G·布莱琳 ,  谢尔盖·格奥尔吉耶维奇·别洛斯托茨基 ,  拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  蒂莫西·斯科特·托马斯 ,  穆罕默德·瓦希迪 ,  行则崎山 ,  大卫·弗伦奇 ,  米纳克斯·马穆努鲁 ,  阿施施·索拉卜 ,  普拉莫德·苏布拉莫尼姆 ,  诺亚·埃利奥特·贝克

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 提供静电卡盘(ESC)装置和方法。ESC可具有一或更多个卡盘电极以及围绕卡盘电极的阻断电极。阻断电极可减少使用ESC执行的半导体处理操作中的不均匀性。在某些实现方案中，阻断电极位于卡盘电极下方。